公开(公告)号：US08836915B2

公开(公告)日：2014-09-16

申请号：US13403798

申请日：2012-02-23

申请人： Pieter Mulder ,  Jan Willem Cromwijk ,  Jimmy Matheus Wilhelmus Van De Winkel ,  Marjan Leonardus Catharina Hoofman ,  Ferdinand Bernardus Johannus Wilhelmus Maria Hendriks

发明人： Pieter Mulder ,  Jan Willem Cromwijk ,  Jimmy Matheus Wilhelmus Van De Winkel ,  Marjan Leonardus Catharina Hoofman ,  Ferdinand Bernardus Johannus Wilhelmus Maria Hendriks

IPC分类号： G03B27/42 ,  G03B27/52 ,  G03F7/20

CPC分类号： G03F7/70341

摘要： An immersion lithographic apparatus is disclosed having a projection system configured to direct a patterned beam of radiation onto a substrate and a liquid handling system configured to supply and confine immersion liquid to a space defined between the projection system and a substrate, or a substrate table, or both. A controller is provided to adjust an angle of a lower surface of the liquid handling system relative to the top surface of the substrate during motion of the substrate and/or substrate table relative to the liquid handling system dependent upon a position of the substrate and/or substrate table relative to the liquid handling system and/or a direction of relative movement between the substrate and/or substrate table and the liquid handling system.

摘要翻译： 公开了一种浸没式光刻设备，其具有被配置为将图案化的辐射束引导到衬底上的投影系统，以及液体处理系统，其配置成将浸没液体供应并限制在所述投影系统和衬底或衬底台之间限定的空间中， 或两者。 提供控制器，用于在衬底和/或衬底台相对于液体处理系统的运动期间相对于衬底的顶表面调整液体处理系统的下表面的角度，取决于衬底的位置和/ 或衬底台相对于液体处理系统和/或衬底和/或衬底台和液体处理系统之间的相对运动的方向。

公开(公告)号：US20070140756A1

公开(公告)日：2007-06-21

申请号：US11314686

申请日：2005-12-21

申请人： Martin Callis ,  Riley Brede ,  Pieter Mulder ,  John Poxon ,  Ian Pitts ,  Nicholas Baxter

发明人： Martin Callis ,  Riley Brede ,  Pieter Mulder ,  John Poxon ,  Ian Pitts ,  Nicholas Baxter

IPC分类号： G03G15/20

CPC分类号： G03G15/2025 ,  G03G2215/2093

摘要： A fuser apparatus includes first and second rolls rotatably mounted parallel to an in contact with each other to form a nip through which print media with a toner image thereon is passed to fuse the image to the print media. A cleaning system is provided for cleaning one of the rolls, such as the fuser roll. The cleaning system includes a rotatably mounted cleaning roll, an outer surface thereof including a pile. A flicker bar is arranged to detach toner from the pile.

摘要翻译： 定影装置包括平行于彼此接触的可旋转地安装的第一和第二辊，以形成辊隙，通过该辊隙，通过该辊隙将通过其上的调色剂图像的打印介质熔合到打印介质。 提供清洁系统以清洁辊之一，例如定影辊。 清洁系统包括可旋转地安装的清洁辊，其外表面包括桩。 闪烁杆布置成从桩上分离调色剂。

公开(公告)号：US07869722B2

公开(公告)日：2011-01-11

申请号：US11944031

申请日：2007-11-21

申请人： Derek John Milton ,  Stuart John Handley ,  Tim Spink ,  Julian Derek Morrison ,  Pieter Mulder

发明人： Derek John Milton ,  Stuart John Handley ,  Tim Spink ,  Julian Derek Morrison ,  Pieter Mulder

IPC分类号： G03G21/00 ,  G03G15/00

CPC分类号： G03G21/0011

摘要： A toner dam maintenance process and system model the amount of toner mass at a toner cleaner blade, and apply a corrective procedure, such as insertion of a paperless copy into the print job mid-job or immediately prior to cycle out, to replenish the toner mass at the cleaner blade to maintain lubrication and reduce cleaning failure. The modeling includes contributing factors toward toner dam input and output, including untransferred toner, cycle-in/cycle-out bands, untransferred background, and leakage of toner from the cleaner blade. One or several threshold can be reached to cause one or more different corrective actions to take place. The action may be adding or skipping a pitch to insert a corrective maintenance pattern without transfer.

摘要翻译： 调色剂坝维护过程和系统对调色剂清洁器刀片上的调色剂质量的量进行建模，并且应用校正过程，例如将中间作业中的无纸复印件插入打印作业或在循环之前，以补充调色剂 清洁刀片上的质量保持润滑并减少清洁失效。 该建模包括对调色剂坝输入和输出的贡献因素，包括未转印的调色剂，循环进/出料带，未转印背景以及来自清洁器叶片的调色剂泄漏。 可以达到一个或多个阈值以导致发生一个或多个不同的校正动作。 该动作可能是添加或跳过音调以插入校正维护模式而无需转移。

公开(公告)号：US20070140718A1

公开(公告)日：2007-06-21

申请号：US11314847

申请日：2005-12-21

申请人： Pieter Mulder ,  Martin Callis ,  John Poxon ,  Riley Brede ,  Ian Pitts ,  Nicholas Baxter

发明人： Pieter Mulder ,  Martin Callis ,  John Poxon ,  Riley Brede ,  Ian Pitts ,  Nicholas Baxter

IPC分类号： G03G15/20

CPC分类号： G03G15/2053 ,  G03G15/2042

摘要： A fusing apparatus includes a fuser roll and a pressure roll which define a nip therebetween. Two heating elements heat the fuser roll. One of the heating elements is configured for heating a first portion of the fuser roll while a second of the heating elements is configured for heating a second portion of the fuser roll. The second portion of the fuser roll is axially spaced from the first portion. A temperature sensing system monitors a temperature of the fuser roll in a first location and monitors a temperature of the fuser roll in a second location which is axially spaced from the first location. A control system determines an amount of power to supply to the first heating element as a function of the monitored temperatures at the first and second axially spaced locations and determines an amount of power to supply to the second heating element as a function of the monitored temperatures at the first and second axially spaced locations.

摘要翻译： 定影装置包括定影辊和在其间限定辊隙的压力辊。 两个加热元件加热定影辊。 加热元件中的一个被配置用于加热定影辊的第一部分，而第二加热元件被配置用于加热定影辊的第二部分。 定影辊的第二部分与第一部分轴向间隔开。 温度感测系统在第一位置监测定影辊的温度，并且在与第一位置轴向间隔开的第二位置中监测定影辊的温度。 控制系统根据第一和第二轴向间隔位置处监测到的温度确定供应给第一加热元件的功率量，并确定供应给第二加热元件的功率的量作为监测温度的函数 在第一和第二轴向间隔的位置。

公开(公告)号：US09036127B2

公开(公告)日：2015-05-19

申请号：US12423528

申请日：2009-04-14

申请人： Clemens Johannes Gerardus Van den Dungen ,  Nicolaas Franciscus Koppelaars ,  Martinus Hendrikus Antonius Leenders ,  Paulus Martinus Maria Liebregts ,  Johannes Catharinus Hubertus Mulkens ,  Erik Henricus Egidius Catharina Eummelen ,  Marcel Beckers ,  Richard Moerman ,  Cédric Désiré Grouwstra ,  Danny Maria Hubertus Philips ,  Remko Jan Peter Verhees ,  Pieter Mulder ,  Evert Van Vliet

发明人： Clemens Johannes Gerardus Van den Dungen ,  Nicolaas Franciscus Koppelaars ,  Martinus Hendrikus Antonius Leenders ,  Paulus Martinus Maria Liebregts ,  Johannes Catharinus Hubertus Mulkens ,  Erik Henricus Egidius Catharina Eummelen ,  Marcel Beckers ,  Richard Moerman ,  Cédric Désiré Grouwstra ,  Danny Maria Hubertus Philips ,  Remko Jan Peter Verhees ,  Pieter Mulder ,  Evert Van Vliet

IPC分类号： G03F7/20

CPC分类号： G03F7/70866 ,  G03F7/70341

摘要： An immersion lithographic apparatus is disclosed that includes a fluid supply system configured to supply a fluid, the fluid supply system having a chamber with a plurality of inlet holes in a first side wall and a plurality of outlet holes in a second side wall, the first side wall facing the second side wall, wherein the inlet holes direct fluid entering the chamber in a direction towards areas of the second side wall between the plurality of outlet holes.

摘要翻译： 公开了一种浸没式光刻设备，其包括被配置为供应流体的流体供应系统，所述流体供应系统具有在第一侧壁中具有多个入口孔的腔室和在第二侧壁中的多个出口孔，所述第一 面向第二侧壁的侧壁，其中入口孔引导流体沿朝向多个出口孔之间的第二侧壁的区域的方向进入腔室。

公开(公告)号：US08638417B2

公开(公告)日：2014-01-28

申请号：US13085069

申请日：2011-04-12

申请人： Danny Maria Hubertus Philips ,  Daniel Jozef Maria Direcks ,  Clemens Johannes Gerardus Van Den Dungen ,  Maikel Adrianus Cornelis Schepers ,  Paul Petrus Joannes Berkvens ,  Marcus Johannes Van Der Zanden ,  Pieter Mulder

发明人： Danny Maria Hubertus Philips ,  Daniel Jozef Maria Direcks ,  Clemens Johannes Gerardus Van Den Dungen ,  Maikel Adrianus Cornelis Schepers ,  Paul Petrus Joannes Berkvens ,  Marcus Johannes Van Der Zanden ,  Pieter Mulder

IPC分类号： G03B27/52 ,  G03B27/42

CPC分类号： G03F7/70341 ,  Y10T137/86292

摘要： A fluid handling structure configured to supply immersion liquid to a space defined between a projection system and a facing surface facing the fluid handling structure is disclosed. An undersurface of the fluid handling structure has a supply opening configured to supply fluid toward the facing surface, a plurality of extraction openings configured to remove fluid from between the fluid handling structure and the facing surface, and a protrusion between the supply opening and the extraction openings.

摘要翻译： 公开了一种流体处理结构，其被配置为将浸没液体供应到在投影系统和面向流体处理结构的相对表面之间限定的空间中。 流体处理结构的下表面具有供给开口，其构造成朝向相对表面供应流体;多个提取开口，其构造成从流体处理结构和相对表面之间移除流体;以及在供给开口和提取物之间的突起 开口

公开(公告)号：US20080273906A1

公开(公告)日：2008-11-06

申请号：US12172293

申请日：2008-07-14

申请人： Scott M. Potter ,  John Poxon ,  Pieter Mulder

发明人： Scott M. Potter ,  John Poxon ,  Pieter Mulder

IPC分类号： G03G15/20

CPC分类号： G03G15/2057 ,  G03G15/2042

摘要： A roll useful in fusing marking material to a print sheet includes a coating disposed on at least a portion of the inner surface thereof. A lamp disposed inside the roll supplies radiant energy to the inner surface. The coating changes its absorptivity (such as color) as desired, to obtain specific desired temperatures at different portions of the roll. The coating can be thermochromic, changing its absorptivity in response to local temperature; or electrochromic, changing its absorptivity in response to an external electrical stimulus.

摘要翻译： 用于将标记材料熔合到印刷纸上的卷包括设置在其内表面的至少一部分上的涂层。 设置在辊内的灯向内表面提供辐射能。 涂层根据需要改变其吸收性（例如颜色），以在辊的不同部分获得特定的所需温度。 涂层可以是热变色的，响应于局部温度改变其吸收率; 或电致变色，响应于外部电刺激改变其吸收率。

公开(公告)号：US20070140754A1

公开(公告)日：2007-06-21

申请号：US11314253

申请日：2005-12-21

申请人： John Poxon ,  Scott Potter ,  Pieter Mulder

发明人： John Poxon ,  Scott Potter ,  Pieter Mulder

IPC分类号： G03G15/20

CPC分类号： G03G15/2025 ,  G03G2221/0005

摘要： A fuser system includes first and second nip rolls, rotably mounted parallel to and in contact with each other to form a nip through which print media with a toner image thereon is passed to fuse the image to the print media. A cleaning web system is provided for cleaning one of the nip rolls of unfused toner. The cleaning web system includes first and second rotatable web rolls. A web extends between the first and second web rolls and contacts the first nip roll. A drive system is operatively coupled with one or both of the first and second web rolls for advancing the web in a first direction and thereafter in a second direction opposite the first direction.

摘要翻译： 定影器系统包括第一和第二夹持辊，可旋转地安装成彼此平行并且彼此接触以形成辊隙，通过该辊隙通过其上具有调色剂图像的打印介质将图像熔合到打印介质。 提供清洁网系统用于清洁未熔合的调色剂的夹辊之一。 清洁网系统包括第一和第二可旋转卷筒纸卷。 纸幅在第一和第二卷筒纸之间延伸并且接触第一压合辊。 驱动系统可操作地与第一和第二卷筒纸辊中的一个或两个操作地联接，用于沿第一方向推进卷筒纸，然后在与第一方向相反的第二方向上推进卷筒纸。

公开(公告)号：US09618835B2

公开(公告)日：2017-04-11

申请号：US13017700

申请日：2011-01-31

申请人： Daniel Jozef Maria Direcks ,  Erik Henricus Egidius Catharina Eummelen ,  Clemens Johannes Gerardus Van Den Dungen ,  Maikel Adrianus Cornelis Schepers ,  Sergei Shulepov ,  Pieter Mulder ,  David Bessems ,  Marco Baragona

发明人： Daniel Jozef Maria Direcks ,  Erik Henricus Egidius Catharina Eummelen ,  Clemens Johannes Gerardus Van Den Dungen ,  Maikel Adrianus Cornelis Schepers ,  Sergei Shulepov ,  Pieter Mulder ,  David Bessems ,  Marco Baragona

IPC分类号： G03B27/52

CPC分类号： G03B27/52

摘要： In a liquid confinement structure of an immersion lithographic apparatus an elongate continuous opening forms an outlet for supplying liquid to a space beneath the projection system. The elongate slit forms a region of high shear and pressure gradient that deflects bubbles away from the image field.

公开(公告)号：US08259283B2

公开(公告)日：2012-09-04

申请号：US12408392

申请日：2009-03-20

申请人： Daniël Jozef Maria Direcks ,  Nicolaas Rudolf Kemper ,  Paulus Martinus Maria Liebregts ,  Ronald Van Der Ham ,  Wilhelmus Franciscus Johannes Simons ,  Danny Maria Hubertus Philips ,  Gert-Jan Gerardus Johannes Thomas Brands ,  Koen Steffens ,  Han Henricus Aldegonda Lempens ,  Marcus Johannes Van Der Zanden ,  Pieter Mulder

发明人： Daniël Jozef Maria Direcks ,  Nicolaas Rudolf Kemper ,  Paulus Martinus Maria Liebregts ,  Ronald Van Der Ham ,  Wilhelmus Franciscus Johannes Simons ,  Danny Maria Hubertus Philips ,  Gert-Jan Gerardus Johannes Thomas Brands ,  Koen Steffens ,  Han Henricus Aldegonda Lempens ,  Marcus Johannes Van Der Zanden ,  Pieter Mulder

IPC分类号： G03B27/52 ,  G03B27/42

CPC分类号： G03B27/52 ,  G03F7/70341

摘要： An immersion lithographic apparatus is described in which a droplet removal device removes droplets from the substrate, e.g. during exposures, using an angled flow of gas from a gas knife.

摘要翻译： 描述了一种浸没式光刻设备，其中液滴去除装置从基板去除液滴。 在曝光期间，使用来自气刀的倾斜流动的气体。