公开(公告)号：US20160370699A1

公开(公告)日：2016-12-22

申请号：US15182510

申请日：2016-06-14

申请人： QUALCOMM Incorporated

发明人： Xiangdong CHEN ,  Hyeokjin Bruce LIM ,  Ohsang KWON ,  Mickael MALABRY ,  Jingwei ZHANG ,  Raymond George STEPHANY ,  Haining YANG ,  Kern RIM ,  Stanley Seungchul SONG ,  Mukul GUPTA ,  Foua VANG

IPC分类号： G03F1/70 ,  G06F17/50

CPC分类号： G03F1/70 ,  G03F7/70433 ,  G03F7/70466 ,  G06F17/5068

摘要： In an aspect of the disclosure, a method, a computer-readable medium, and an apparatus for assigning feature colors for a multiple patterning process are provided. The apparatus receives integrated circuit layout information including a set of features and an assigned color of a plurality of colors for each feature of a first subset of features of the set of features. In addition, the apparatus performs color decomposition on a second subset of features to assign colors to features in the second subset of features. The second subset of features includes features in the set of features that are not included in the first subset of features with an assigned color.

摘要翻译： 在本公开的一个方面，提供了一种方法，计算机可读介质和用于分配多个图案化处理的特征颜色的装置。 该装置接收集成电路布局信息，该信息包括一组特征的集合，以及针对特征集合的第一特征集的每个特征的多种颜色的分配颜色。 另外，该装置对特征的第二子集执行颜色分解，以将颜色分配给第二特征子集中的特征。 特征的第二子集包括不包括在具有分配颜色的特征的第一子集中的特征集合中的特征。