公开(公告)号：US20070254235A1

公开(公告)日：2007-11-01

申请号：US11380731

申请日：2006-04-28

申请人： ROBERT ALLEN ,  PHILLIP BROCK ,  CARL LARSON ,  DANIEL SANDERS ,  RATNAM SOORIYAKUMARAN ,  LINDA SUNDBERG ,  HOA TRUONG ,  GREGORY WALLRAFF

发明人： ROBERT ALLEN ,  PHILLIP BROCK ,  CARL LARSON ,  DANIEL SANDERS ,  RATNAM SOORIYAKUMARAN ,  LINDA SUNDBERG ,  HOA TRUONG ,  GREGORY WALLRAFF

IPC分类号： G03C1/00

CPC分类号： G03F7/2041 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/0757

摘要： Resist compositions that can be used in immersion lithography without the use of an additional topcoat are disclosed. The resist compositions comprise a photoresist polymer, at least one photoacid generator, a solvent; and a self-topcoating resist additive. A method of forming a patterned material layer on a substrate using the resist composition is also disclosed.

摘要翻译： 公开了可用于浸没式光刻中而不使用另外的顶涂层的抗蚀剂组合物。 抗蚀剂组合物包含光致抗蚀剂聚合物，至少一种光致酸产生剂，溶剂; 和自 - 面漆抗蚀剂添加剂。 还公开了使用抗蚀剂组合物在衬底上形成图案化材料层的方法。

公开(公告)号：US20070254236A1

公开(公告)日：2007-11-01

申请号：US11380744

申请日：2006-04-28

申请人： ROBERT ALLEN ,  PHILLIP BROCK ,  CARL LARSON ,  RATNAM SOORIYAKUMARAN ,  LINDA SUNDBERG ,  HOA TRUONG

发明人： ROBERT ALLEN ,  PHILLIP BROCK ,  CARL LARSON ,  RATNAM SOORIYAKUMARAN ,  LINDA SUNDBERG ,  HOA TRUONG

IPC分类号： G03C1/00

CPC分类号： G03F7/11 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0752 ,  G03F7/2041 ,  Y10S430/108 ,  Y10S430/111

摘要： A topcoat material for application on top of a photoresist material is disclosed. The topcoat material comprises an acid-inert compound. The topcoat material also comprises a polymer or an oligomer or a cage structure which shows negligible intermixing with the imaging layer and is soluble in aqueous base developer. A method of forming a patterned material layer on a substrate and a coated substrate comprising the topcoat material is also disclosed.

摘要翻译： 公开了一种用于施加在光致抗蚀剂材料上的面漆材料。 面漆材料包含酸惰性化合物。 面漆材料还包括聚合物或低聚物或保持架结构，其与成像层混合可忽略，并且可溶于碱性显影液。 还公开了在基材上形成图案化材料层的方法和包含面漆材料的涂布基材。

公开(公告)号：US20070254237A1

公开(公告)日：2007-11-01

申请号：US11380782

申请日：2006-04-28

申请人： ROBERT ALLEN ,  PHILLIP BROCK ,  SEAN BURNS ,  DARIO GOLDFARB ,  DAVID MEDEIROS ,  DIRK PFEIFFER ,  MATT PINNOW ,  RATNAM SOORIYAKUMARAN ,  LINDA SUNDBERG

发明人： ROBERT ALLEN ,  PHILLIP BROCK ,  SEAN BURNS ,  DARIO GOLDFARB ,  DAVID MEDEIROS ,  DIRK PFEIFFER ,  MATT PINNOW ,  RATNAM SOORIYAKUMARAN ,  LINDA SUNDBERG

IPC分类号： G03C1/00

CPC分类号： G03F7/091 ,  G03F7/11 ,  G03F7/2041

摘要： Disclosed is a topcoat composition comprising a polymer having a dissolution rate of at least 1500 Å/second in an aqueous alkaline developer, and at least one solvent. The topcoat composition can be used to coat a photoresist layer on a material layer on a substrate, for example, a semiconductor chip. Also disclosed is a method of forming a pattern in the material layer of the coated substrate.

摘要翻译： 公开了一种面漆组合物，其包含在含水碱性显影剂中溶解速率至少为1500埃的聚合物和至少一种溶剂。 面漆组合物可用于在基板上的材料层上涂覆光致抗蚀剂层，例如半导体芯片。 还公开了在涂覆的基材的材料层中形成图案的方法。

公开(公告)号：US1510816A

公开(公告)日：1924-10-07

申请号：US63057223

申请日：1923-04-07

申请人： ROBERT ALLEN

发明人： ROBERT ALLEN

IPC分类号： F16J9/06

CPC分类号： F16J9/061

公开(公告)号：US20070163800A1

公开(公告)日：2007-07-19

申请号：US11608320

申请日：2006-12-08

申请人： WILLIAM CLARK ,  JOSEPH DELLAGALA ,  ROBERT ALLEN ,  MICHAEL RUBERA

发明人： WILLIAM CLARK ,  JOSEPH DELLAGALA ,  ROBERT ALLEN ,  MICHAEL RUBERA

IPC分类号： H01B7/00

CPC分类号： H01B11/06 ,  H01B11/04

摘要： A cable that provides reduced alien crosstalk between similar twisted pairs in cables that are in close proximity to one another and/or crosstalk between twisted pairs of the cable. In one example, a cable includes a first twisted pair of insulated conductors, a second twisted pair of insulated conductors, a shaped separator positioned so as to separate the first twisted pair from the second twisted pair, and a jacket disposed about the first and second twisted pairs and the separator, wherein the shaped separator comprises a central arm and at least one enlarged portion disposed at a first end of the central arm.

摘要翻译： 一种电缆，其在彼此非常接近的电缆中的类似双绞线和/或电缆的双绞线之间的串扰提供了减少的外来串扰。 在一个示例中，电缆包括第一双绞线绝缘导体，第二双绞线绝缘导体，定位成将第一双绞线与第二双绞线分开的成形分隔器，以及围绕第一和第二 双绞线和分离器，其中成形分离器包括中心臂和设置在中心臂的第一端处的至少一个扩大部分。

公开(公告)号：US1475773A

公开(公告)日：1923-11-27

申请号：US38449520

申请日：1920-05-26

申请人： ROBERT ALLEN

发明人： ROBERT ALLEN

IPC分类号： F16J9/06

CPC分类号： F16J9/061

公开(公告)号：US1464056A

公开(公告)日：1923-08-07

申请号：US36270420

申请日：1920-03-02

申请人： ROBERT ALLEN

发明人： ROBERT ALLEN

IPC分类号： B25B27/12

CPC分类号： B25B27/12 ,  Y10T29/536

公开(公告)号：US2856557A

公开(公告)日：1958-10-14

申请号：US54065955

申请日：1955-10-14

申请人： ROBERT ALLEN

发明人： ROBERT ALLEN

IPC分类号： H01J23/20

CPC分类号： H01J23/20

公开(公告)号：US1475772A

公开(公告)日：1923-11-27

申请号：US36270720

申请日：1920-03-02

申请人： ROBERT ALLEN

发明人： ROBERT ALLEN

IPC分类号： F16J9/06

CPC分类号： F16J9/061 ,  F16J9/06

公开(公告)号：US1415422A

公开(公告)日：1922-05-09

申请号：US36270620

申请日：1920-03-02

申请人： ROBERT ALLEN

发明人： ROBERT ALLEN

IPC分类号： F16J1/16

CPC分类号： F16J1/16 ,  Y10T403/32901