Electroosmotic pump using nanoporous dielectric frit
    2.
    发明授权
    Electroosmotic pump using nanoporous dielectric frit 失效
    使用纳米多孔介质玻璃料的电渗泵

    公开(公告)号:US07667319B2

    公开(公告)日:2010-02-23

    申请号:US11012519

    申请日:2004-12-15

    IPC分类号: H01L23/34

    CPC分类号: F04B17/00 F04B19/006

    摘要: An electroosmotic pump may be fabricated using semiconductor processing techniques with a nanoporous open cell dielectric frit. Such a frit may result in an electroosmotic pump with better pumping capabilities.

    摘要翻译: 可以使用具有纳米多孔开孔电介质玻璃料的半导体加工技术制造电渗泵。 这种玻璃料可能导致具有更好泵送能力的电渗泵。