公开(公告)号：US20060150909A1

公开(公告)日：2006-07-13

申请号：US10515084

申请日：2003-05-26

申请人： Stephan Behle ,  Andreas Luttringhaushenkel ,  Gregor Arnold ,  Mathias Bicker ,  Marten Walther

发明人： Stephan Behle ,  Andreas Luttringhaushenkel ,  Gregor Arnold ,  Mathias Bicker ,  Marten Walther

IPC分类号： C23C16/00

CPC分类号： C23C16/4409 ,  B05D1/62 ,  B08B7/00 ,  B08B9/426 ,  B29C49/421 ,  B29C2049/4221 ,  B29C2791/001 ,  B65D23/02 ,  B65G29/00 ,  B65G2201/0244 ,  C03C17/005 ,  C08J9/0004 ,  C08J2300/14 ,  C23C14/046 ,  C23C14/505 ,  C23C14/56 ,  C23C16/045 ,  C23C16/401 ,  C23C16/4412 ,  C23C16/455 ,  C23C16/458 ,  C23C16/50 ,  C23C16/511 ,  C23C16/54 ,  H01J37/32733

摘要： A coating apparatus is provided for simplifying the introduction and removal of workpieces into and from a reactor for plasma coating and to increase the throughput. The coating apparatus has a reactor with a moveable sleeve part and a base element, at least one sealed coating chamber being defined between sleeve part and base element when the latter two parts are fitted onto one another. The coating apparatus also has a device for introducing electromagnetic energy into the at least one coating chamber. The reactor has at least two coating places.

摘要翻译： 提供了一种涂布装置，用于简化进入和离开用于等离子体涂覆的反应器的工件的引入和移除并提高生产量。 涂覆装置具有具有可移动套筒部分和基部元件的反应器，当后两个部件彼此装配时，至少一个密封涂覆室限定在套筒部分和基部元件之间。 该涂覆装置还具有用于将电磁能引入到至少一个涂覆室中的装置。 反应器至少有两个涂层位置。