公开(公告)号：US09132447B2

公开(公告)日：2015-09-15

申请号：US13864527

申请日：2013-04-17

Applicant: The Regents of the University of Michigan

Inventor： Stephen R. Forrest ,  Fan Yang ,  Richard Lunt

IPC: C23C16/00 ,  B05D1/00 ,  C23C14/12 ,  C23C14/22 ,  C23C14/24 ,  H01L51/00 ,  B05D7/00 ,  H01L51/56

CPC classification number: B05D1/60 ,  B05D3/002 ,  B05D7/52 ,  B05D7/56 ,  C23C14/12 ,  C23C14/228 ,  C23C14/24 ,  C23C14/243 ,  H01L51/0008 ,  H01L51/001 ,  H01L51/56

Abstract: The invention provides apparatus and methods for organic continuum vapor deposition of organic materials on large area substrates.

Abstract translation: 本发明提供了有机材料在大面积基板上的有机连续蒸气沉积的装置和方法。

公开(公告)号：US20160001320A1

公开(公告)日：2016-01-07

申请号：US14850477

申请日：2015-09-10

Applicant: The Regents of The University of Michigan

Inventor： Stephen R. Forrest ,  Fan Yang ,  Richard Lunt

IPC: B05D1/00 ,  H01L51/00 ,  B05D3/00

CPC classification number: B05D1/60 ,  B05D3/002 ,  B05D7/52 ,  B05D7/56 ,  C23C14/12 ,  C23C14/228 ,  C23C14/24 ,  C23C14/243 ,  H01L51/0008 ,  H01L51/001 ,  H01L51/56

Abstract: The invention provides apparatus and methods for organic continuum vapor deposition of organic materials on large area substrates.

公开(公告)号：US20130305990A1

公开(公告)日：2013-11-21

申请号：US13864527

申请日：2013-04-17

Applicant: The Regents of the University of Michigan

Inventor： Stephen R. Forrest ,  Fan Yang ,  Richard Lunt

IPC: B05D1/00

CPC classification number: B05D1/60 ,  B05D3/002 ,  B05D7/52 ,  B05D7/56 ,  C23C14/12 ,  C23C14/228 ,  C23C14/24 ,  C23C14/243 ,  H01L51/0008 ,  H01L51/001 ,  H01L51/56

Abstract: The invention provides apparatus and methods for organic continuum vapor deposition of organic materials on large area substrates.

Abstract translation: 本发明提供了有机材料在大面积基板上的有机连续蒸气沉积的装置和方法。