公开(公告)号：US08215151B2

公开(公告)日：2012-07-10

申请号：US12490573

申请日：2009-06-24

申请人： Firas N. Sammoura ,  William Sawyer ,  Kuang L. Yang

发明人： Firas N. Sammoura ,  William Sawyer ,  Kuang L. Yang

IPC分类号： G01P21/00

CPC分类号： B81C99/0045

摘要： A MEMS stiction testing method applies a first electrical signal to a MEMS device having two opposing surfaces to cause the two opposing surfaces to make physical contact. The two opposing surfaces produce a second electrical signal when in physical contact. The method then substantially mitigates the first electrical signal after detecting that the second electrical signal has reached a prescribed maximum value.

摘要翻译： MEMS静态测试方法将第一电信号应用于具有两个相对表面的MEMS器件，以使两个相对表面进行物理接触。 当物理接触时，两个相对表面产生第二电信号。 然后，该方法在检测到第二电信号已经达到规定的最大值之后基本上减轻第一电信号。

公开(公告)号：US20080003779A1

公开(公告)日：2008-01-03

申请号：US11857720

申请日：2007-09-19

申请人： William Sawyer

发明人： William Sawyer

IPC分类号： H01L21/30

CPC分类号： B81B7/0048 ,  B81B2203/0307

摘要： A method for producing Microelectromechanical Systems (MEMS) and related devices using Silicon-On-Insulator (SOI) wafer includes providing an SOI wafer, performing a mesa etch to at least partially define the MEMS device, bonding the SOI wafer to an interposer by direct boding, removing the handle layer of the SOI wafer, removing the oxide layer of the SOI wafer, and further etching the device layer of the SOI wafer to define the MEMS device. A structure manufactured according to the above described processes includes an interposer comprising an SOI wafer and a MEMS device mounted on the interposer. The MEMS device comprises posts extending from a silicon plate. The MEMS device is directly mounted to the interposer by bonding the posts of the MEMS device to the device layer of the interposer.

摘要翻译： 使用绝缘体上硅（SOI）晶片制造微机电系统（MEMS）和相关器件的方法包括提供SOI晶片，执行台面蚀刻以至少部分限定MEMS器件，通过直接将SOI晶片连接到插入器 去除SOI晶片的手柄层，去除SOI晶片的氧化物层，并进一步蚀刻SOI晶片的器件层以限定MEMS器件。 根据上述工艺制造的结构包括内插器，其包括安装在插入件上的SOI晶片和MEMS器件。 MEMS器件包括从硅板延伸的柱。 MEMS器件通过将MEMS器件的柱结合到插入器的器件层而直接安装到插入器。

公开(公告)号：US20080015107A1

公开(公告)日：2008-01-17

申请号：US11827559

申请日：2007-07-12

申请人： Mohamed Elmasry ,  William Sawyer

发明人： Mohamed Elmasry ,  William Sawyer

IPC分类号： B41M5/20

CPC分类号： B41M5/3372 ,  B41M5/3375 ,  B41M5/41 ,  B41M5/42 ,  B41M5/423 ,  B41M5/426 ,  B41M5/44 ,  B41M2205/12 ,  B41M2205/40

摘要： The present teachings provide thermosensitive recording compositions which are useful for preparing thermosensitive recording media for displaying images. The thermosensitive recording media can include a substrate, a thermosensitive recording composition, and a topcoat. Methods of preparing and using the thermosensitive recording media also are disclosed.

摘要翻译： 本发明提供热敏记录组合物，其可用于制备用于显示图像的热敏记录介质。 热敏记录介质可以包括底物，热敏记录组合物和面漆。 还公开了制备和使用热敏记录介质的方法。

公开(公告)号：US20070062283A9

公开(公告)日：2007-03-22

申请号：US10970067

申请日：2004-10-21

申请人： Marc Weinberg ,  Anthony Kourepenis ,  William Sawyer ,  Jeffrey Borenstein ,  James Connelly ,  Amy Duwel ,  Christopher Lento ,  James Cousens

发明人： Marc Weinberg ,  Anthony Kourepenis ,  William Sawyer ,  Jeffrey Borenstein ,  James Connelly ,  Amy Duwel ,  Christopher Lento ,  James Cousens

IPC分类号： G01P15/08

CPC分类号： H01L21/6835 ,  G01C19/5719 ,  H01L2924/19041 ,  H01L2924/30105 ,  H01L2924/3025

摘要： A method for reducing errors in a tuning fork gyroscope includes determining a first distance, gt, between an upper sense plate and a proof mass and a second distance, gb, between a lower sense plate and the proof mass. The method further includes applying a first voltage, Vt, to the upper sense plate and a second voltage, Vb, to the lower sense plate, wherein the ratio of the first voltage and the second voltage is a function of the first distance and the second distance.

摘要翻译： 一种用于减少音叉陀螺仪中的误差的方法包括确定上感测板和检测质量之间的第一距离g i，以及第二距离g b， 在下感测板和检测质量之间。 所述方法还包括向所述下感测板施加第一电压V sub至所述上感测板，并将第二电压V SUB施加到所述下感测板，其中， 第一电压和第二电压是第一距离和第二距离的函数。

公开(公告)号：US20060014358A1

公开(公告)日：2006-01-19

申请号：US11231103

申请日：2005-09-20

申请人： William Sawyer ,  Jeffrey Borenstein

发明人： William Sawyer ,  Jeffrey Borenstein

IPC分类号： H01L21/76

CPC分类号： B81C1/00182 ,  B81C1/00579 ,  B81C3/001 ,  B81C2201/0191

摘要： The invention provides a general fabrication method for producing MicroElectroMechanical Systems (MEMS) and related devices using Silicon-On-Insulator (SOI) wafer. The method includes providing an SOI wafer that has (i) a handle layer, (ii) a dielectric layer, and (iii) a device layer, wherein a mesa etch has been made on the device layer of the SOI wafer, providing a substrate, wherein a pattern has been etched onto the substrate, bonding the SOI wafer and the substrate together, removing the handle layer of the SOI wafer, removing the dielectric layer of the SOI wafer, then performing a structural etch on the device layer of the SOI wafer to define the device.

摘要翻译： 本发明提供了使用绝缘体上硅（SOI）晶片生产微电子机械系统（MEMS）和相关器件的一般制造方法。 该方法包括提供SOI晶片，其具有（i）手柄层，（ii）电介质层和（iii）器件层，其中在SOI晶片的器件层上进行台面蚀刻，提供衬底 其中图案已被蚀刻到衬底上，将SOI晶片和衬底接合在一起，去除SOI晶片的手柄层，去除SOI晶片的电介质层，然后对SOI的器件层进行结构蚀刻 晶圆来定义设备。

公开(公告)号：US08495949B2

公开(公告)日：2013-07-30

申请号：US12704831

申请日：2010-02-12

申请人： Ian Tinkler ,  Mary Carter ,  William Sawyer ,  Richard Pasquini

发明人： Ian Tinkler ,  Mary Carter ,  William Sawyer ,  Richard Pasquini

IPC分类号： A23F5/26

CPC分类号： A47J31/46 ,  A47J31/32 ,  A47J31/3676

摘要： A apparatus for forming a beverage using a beverage formation device. Opening of a brew chamber may automatically enable the provision of beverage precursor liquid from a reservoir to a heating tank that is used (heated or not) to form a beverage. For example, opening of the brew chamber may cause a valve to be opened or otherwise permit flow of beverage precursor liquid from the reservoir to the heating tank. The valve may open simultaneously and automatically with a brew chamber lid, and may close when the brew chamber lid is closed.

摘要翻译： 一种使用饮料形成装置形成饮料的装置。 冲泡室的打开可以自动地将饮料前体液体从贮存器提供到加热罐（加热或不加热）以形成饮料。 例如，冲泡室的打开可能导致阀打开或者允许将饮料前体液体从储存器流动到加热箱。 阀门可以同时自动打开一个冲泡室盖，当冲泡室盖关闭时可能关闭。

公开(公告)号：US20110200726A1

公开(公告)日：2011-08-18

申请号：US12704831

申请日：2010-02-12

申请人： Ian Tinkler ,  Mary Sarich ,  William Sawyer ,  Richard Pasquini

发明人： Ian Tinkler ,  Mary Sarich ,  William Sawyer ,  Richard Pasquini

IPC分类号： A47J31/44 ,  A47J31/00 ,  A23F5/26

CPC分类号： A47J31/46 ,  A47J31/32 ,  A47J31/3676

摘要： A method and apparatus for forming a beverage using a beverage formation device. Opening of a brew chamber may automatically enable the provision of beverage precursor liquid from a reservoir to a heating tank that is used (heated or not) to form a beverage. For example, opening of the brew chamber may cause a valve to be opened or otherwise permit flow of beverage precursor liquid from the reservoir to the heating tank. The valve may open simultaneously and automatically with a brew chamber lid, and may close when the brew chamber lid is closed.

摘要翻译： 一种使用饮料形成装置形成饮料的方法和装置。 冲泡室的打开可以自动地将饮料前体液体从贮存器提供到加热罐（加热或不加热）以形成饮料。 例如，冲泡室的打开可能导致阀打开或者允许将饮料前体液体从储存器流动到加热箱。 阀门可以同时自动打开一个冲泡室盖，当冲泡室盖关闭时可能关闭。

公开(公告)号：US20070099410A1

公开(公告)日：2007-05-03

申请号：US11262863

申请日：2005-10-31

申请人： William Sawyer ,  Jonathan Bernstein

发明人： William Sawyer ,  Jonathan Bernstein

IPC分类号： H01L21/44 ,  H01L21/4763

CPC分类号： B81C1/00269 ,  B81C3/001 ,  B81C2203/019 ,  B81C2203/036

摘要： A method of bonding two substrates in MEMS applications includes depositing a first metal in a bonding area on a first substrate, depositing a second metal, which is different from the first metal, in a bonding area on a second substrate, place the first substrate and the second substrate together such that the deposited first metal on the first substrate is aligned and in contact with the deposited second metal on the second substrate, and annealing the first metal and second metal to form an intermetallic bond between the first substrate and the second substrate.

摘要翻译： 在MEMS应用中结合两个基板的方法包括在第一基板上的接合区域中沉积第一金属，在第二基板上的接合区域中沉积与第一金属不同的第二金属，将第一基板和 所述第二衬底一起使得所述第一衬底上沉积的第一金属对准并且与所述第二衬底上沉积的第二金属接触，并且对所述第一金属和第二金属退火以在所述第一衬底和所述第二衬底之间形成金属间键 。

公开(公告)号：US20050081631A1

公开(公告)日：2005-04-21

申请号：US10970067

申请日：2004-10-20

申请人： Marc Weinberg ,  Anthony Kourepenis ,  William Sawyer ,  Jeffrey Borenstein ,  James Connelly ,  Amy Duwel ,  Christopher Lento ,  James Cousens

发明人： Marc Weinberg ,  Anthony Kourepenis ,  William Sawyer ,  Jeffrey Borenstein ,  James Connelly ,  Amy Duwel ,  Christopher Lento ,  James Cousens

IPC分类号： B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G01C19/5719 ,  H01L21/683 ,  G01P15/08

CPC分类号： H01L21/6835 ,  G01C19/5719 ,  H01L2924/19041 ,  H01L2924/30105 ,  H01L2924/3025

摘要： A method for reducing errors in a tuning fork gyroscope includes determining a first distance, gt, between an upper sense plate and a proof mass and a second distance, gb, between a lower sense plate and the proof mass. The method further includes applying a first voltage, Vt, to the upper sense plate and a second voltage, Vb, to the lower sense plate, wherein the ratio of the first voltage and the second voltage is a function of the first distance and the second distance.

摘要翻译： 一种用于减少音叉陀螺仪中的误差的方法包括确定上感测板和检测质量之间的第一距离g i，以及第二距离g b， 在下感测板和检测质量之间。 所述方法还包括向所述下感测板施加第一电压V sub至所述上感测板，并将第二电压V SUB施加到所述下感测板，其中， 第一电压和第二电压是第一距离和第二距离的函数。

公开(公告)号：US20090320557A1

公开(公告)日：2009-12-31

申请号：US12490573

申请日：2009-06-24

申请人： Firas N. Sammoura ,  William Sawyer ,  Kuang L. Yang

发明人： Firas N. Sammoura ,  William Sawyer ,  Kuang L. Yang

IPC分类号： G01N19/02

CPC分类号： B81C99/0045

摘要： A MEMS stiction testing method applies a first electrical signal to a MEMS device having two opposing surfaces to cause the two opposing surfaces to make physical contact. The two opposing surfaces produce a second electrical signal when in physical contact. The method then substantially mitigates the first electrical signal after detecting that the second electrical signal has reached a prescribed maximum value.

摘要翻译： MEMS静态测试方法将第一电信号应用于具有两个相对表面的MEMS器件，以使两个相对表面进行物理接触。 当物理接触时，两个相对表面产生第二电信号。 然后，该方法在检测到第二电信号已经达到规定的最大值之后基本上减轻第一电信号。