公开(公告)号：US08115808B2

公开(公告)日：2012-02-14

申请号：US12215115

申请日：2008-06-25

申请人： Wolfgang Fricke ,  Klaus Rinn ,  Slawomir Czerkas

发明人： Wolfgang Fricke ,  Klaus Rinn ,  Slawomir Czerkas

IPC分类号： H04N7/18

CPC分类号： G01B11/03 ,  G01B21/042

摘要： A coordinate measuring machine is disclosed having an orientor automatically orienting a substrate associated therewith. A control and computing unit is further associated with the coordinate measuring machine, so that self-calibration may be performed on the basis of at least two different and automatically set orientations of the substrate.

摘要翻译： 公开了一种坐标测量机，其具有自动定向与其相关联的衬底的定向器。 控制和计算单元进一步与坐标测量机相关联，使得可以基于至少两个不同且自动设置的基板取向进行自校准。

公开(公告)号：US20090002486A1

公开(公告)日：2009-01-01

申请号：US12215115

申请日：2008-06-25

申请人： Wolfgang Fricke ,  Klaus Rinn ,  Slawomir Czerkas

发明人： Wolfgang Fricke ,  Klaus Rinn ,  Slawomir Czerkas

IPC分类号： H04N7/18

CPC分类号： G01B11/03 ,  G01B21/042

摘要： A coordinate measuring machine is disclosed having an orientor automatically orienting a substrate associated therewith. A control and computing unit is further associated with the coordinate measuring machine, so that self-calibration may be performed on the basis of at least two different and automatically set orientations of the substrate.

摘要翻译： 公开了一种坐标测量机，其具有自动定向与其相关联的衬底的定向器。 控制和计算单元进一步与坐标测量机相关联，使得可以基于至少两个不同且自动设置的基板取向进行自校准。

公开(公告)号：US08149383B2

公开(公告)日：2012-04-03

申请号：US12219000

申请日：2008-07-21

申请人： Slawomir Czerkas

发明人： Slawomir Czerkas

IPC分类号： G03B27/42

CPC分类号： G01B21/045 ,  G01B11/03

摘要： A method for determining the lateral correction as a function of the substrate topology and/or the geometry of the substrate holder is disclosed. The substrate is placed on a measuring stage traversable in the X coordinate direction and Y coordinate direction, which carries the substrate to be measured. The substrate is supported on at least three support points which define a plane. An apparatus is provided for determining the position of a plurality of positions on the surface of the substrate in the in the X, Y and Z coordinate directions. The substrate is tiltable about an axis parallel to the X/Y plane, to enable the substrate to be measured in a tilted position.

摘要翻译： 公开了一种用于确定横向校正作为衬底拓扑和/或衬底保持器的几何形状的函数的方法。 将基板放置在能够在X坐标方向和Y坐标方向上横穿的测量台，该坐标方向承载待测量的基板。 衬底被支撑在限定平面的至少三个支撑点上。 提供了一种用于在X，Y和Z坐标方向上确定基板表面上的多个位置的位置的装置。 基板可以围绕平行于X / Y平面的轴线倾斜，以使基板能够在倾斜位置被测量。

公开(公告)号：US20090033894A1

公开(公告)日：2009-02-05

申请号：US12219000

申请日：2008-07-21

申请人： Slawomir Czerkas

发明人： Slawomir Czerkas

IPC分类号： G03B27/68

CPC分类号： G01B21/045 ,  G01B11/03

摘要： A method for determining the lateral correction as a function of the substrate topology and/or the geometry of the substrate holder is disclosed. The substrate is placed on a measuring stage traversable in the X coordinate direction and Y coordinate direction, which carries the substrate to be measured. The substrate is supported on at least three support points which define a plane. An apparatus is provided for determining the position of a plurality of positions on the surface of the substrate in the in the X, Y and Z coordinate directions. The substrate is tiltable about an axis parallel to the X/Y plane, to enable the substrate to be measured in a tilted position.

摘要翻译： 公开了一种用于确定横向校正作为衬底拓扑和/或衬底保持器的几何形状的函数的方法。 将基板放置在能够在X坐标方向和Y坐标方向上横穿的测量台，该坐标方向承载待测量的基板。 衬底被支撑在限定平面的至少三个支撑点上。 提供了一种用于在X，Y和Z坐标方向上确定基板表面上的多个位置的位置的装置。 基板可以围绕平行于X / Y平面的轴线倾斜，以使基板能够在倾斜位置被测量。

公开(公告)号：US20090153875A1

公开(公告)日：2009-06-18

申请号：US12197410

申请日：2008-08-25

申请人： Slawomir Czerkas

发明人： Slawomir Czerkas

IPC分类号： G01B11/03 ,  F28D21/00

CPC分类号： G01B11/005 ,  G01B11/03 ,  H01L21/67207 ,  H01L21/67259

摘要： The invention relates to a coordinate measuring machine (1) and a method for adapting the temperature of substrates. The coordinate measuring machine (1) includes at least one measurement table (20) movable in the X-coordinate direction and in the Y-coordinate direction, a measurement objective (9) and a camera (10) for determining the positions of the structures (3) on the substrate (2). There is further provided an interferometer (24) for determining the positions of the measurement objective (9) and the measurement table (20). The entire system is enclosed by a housing (50) forming a climatic chamber, in which there are further provided a magazine (32) for substrates (2), a loading station (35) for substrates (2) and a transport means (38) transporting the substrates (2) between the loading station (35), the magazine (32) and/or the measurement table (20).

摘要翻译： 本发明涉及一种坐标测量机（1）和一种适应基片温度的方法。 坐标测量机（1）包括至少一个可沿X坐标方向和Y坐标方向移动的测量台（20），用于确定结构位置的测量目标（9）和照相机（10） （3）在基板（2）上。 还提供了一种用于确定测量目标（9）和测量表（20）的位置的干涉仪（24）。 整个系统由形成气候室的壳体（50）包围，其中还设置有用于基板（2）的料盒（32），用于基板（2）的装载站（35）和输送装置（38） ）在所述装载站（35），所述仓（32）和/或所述测量台（20）之间传送所述基板（2）。

公开(公告)号：US20100302555A1

公开(公告)日：2010-12-02

申请号：US12799362

申请日：2010-04-23

申请人： Hans-Artur Boesser ,  Slawomir Czerkas

发明人： Hans-Artur Boesser ,  Slawomir Czerkas

IPC分类号： G01B11/02

CPC分类号： G01B11/005 ,  G01B21/047

摘要： A metrology system (1) and a method for determining low order errors are disclosed. At least one measurement objective (9) for the determination of the position of structures (3) on a substrate (2) is provided. The substrate (2) to be measured rests in a support on three points of support (52). The support exhibits an opening (53) for measuring the substrate (2). At least two marks (54) are provided on the support for the mask (2) in such a way that the marks (54) are capturable with the measurement objective (9) by moving the measurement table (20). Furthermore the substrate (2) in the support does not screen the marks (54) on the support.

摘要翻译： 公开了一种计量系统（1）和确定低阶误差的方法。 提供了用于确定衬底（2）上的结构（3）的位置的至少一个测量目标（9）。 要测量的基板（2）支撑在三个支撑点（52）上。 支撑件具有用于测量基板（2）的开口（53）。 在用于掩模（2）的支撑件上设置至少两个标记（54），使得通过移动测量台（20）可以通过测量物镜（9）捕获标记（54）。 此外，支撑件中的基板（2）不会屏蔽支撑件上的标记（54）。

公开(公告)号：US07826068B2

公开(公告)日：2010-11-02

申请号：US12147974

申请日：2008-06-27

申请人： Slawomir Czerkas

发明人： Slawomir Czerkas

IPC分类号： G01B11/24

CPC分类号： G01B21/045 ,  G03F1/84

摘要： A method for correcting the measured values of positions of structures (3) on a substrate (2) resulting from bending of a substrate (2) is disclosed. A plurality of geometric parameters of the substrate (2) are determined. A plurality of physical parameters of the substrate (2) are determined. A degree of bending is calculated individually for each substrate (2) on the basis of the obtained geometric parameters, the physical parameters and the position of the support points (40). The measured position data of the structures (3) on the substrate (2) is corrected with the aid of each individually calculated degree of bending.

摘要翻译： 公开了一种用于校正由于基板（2）的弯曲而导致的基板（2）上的结构（3）的位置的测量值的方法。 确定衬底（2）的多个几何参数。 确定基板（2）的多个物理参数。 基于获得的几何参数，物理参数和支撑点（40）的位置，针对每个基板（2）分别计算弯曲程度。 借助于每个单独计算的弯曲度来校正衬底（2）上的结构（3）的测量位置数据。

公开(公告)号：US20090030639A1

公开(公告)日：2009-01-29

申请号：US12147974

申请日：2008-06-27

申请人： Slawomir Czerkas

发明人： Slawomir Czerkas

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： G01B21/045 ,  G03F1/84

摘要： A method for correcting the measured values of positions of structures (3) on a substrate (2) resulting from bending of a substrate (2) is disclosed. A plurality of geometric parameters of the substrate (2) are determined. A plurality of physical parameters of the substrate (2) are determined. A degree of bending is calculated individually for each substrate (2) on the basis of the obtained geometric parameters, the physical parameters and the position of the support points (40). The measured position data of the structures (3) on the substrate (2) is corrected with the aid of each individually calculated degree of bending.

摘要翻译： 公开了一种用于校正由于基板（2）的弯曲而导致的基板（2）上的结构（3）的位置的测量值的方法。 确定衬底（2）的多个几何参数。 确定基板（2）的多个物理参数。 基于获得的几何参数，物理参数和支撑点（40）的位置，针对每个基板（2）分别计算弯曲程度。 借助于每个单独计算的弯曲度来校正衬底（2）上的结构（3）的测量位置数据。