公开(公告)号：US06560011B2

公开(公告)日：2003-05-06

申请号：US10151509

申请日：2002-05-20

申请人： Yung-Ho Chuang ,  David Shafer ,  Bin-Ming B. Tsai ,  J. Joseph Armstrong

发明人： Yung-Ho Chuang ,  David Shafer ,  Bin-Ming B. Tsai ,  J. Joseph Armstrong

IPC分类号： G02B1708

CPC分类号： G03F7/7065 ,  G02B13/12 ,  G02B13/22 ,  G02B17/08 ,  G02B17/0808 ,  G02B17/0812 ,  G02B17/0852 ,  G02B17/0856 ,  G02B17/0892 ,  G02B21/16 ,  G03F1/84 ,  G03F7/70225 ,  G03F7/70275 ,  G03F7/70616

摘要： A system for multiple mode imaging is disclosed. The catadioptric system has an NA greater than 0.65, and preferably greater than 0.9, highly corrected for low and high order monochromatic aberrations. The system employs unique illumination entrances and optics to collect reflected, diffracted, and scattered light over a range of angles. Multiple imaging modes are possible by varying the illumination geometry and apertures at the pupil plane. Illumination can enter the catadioptric optical system using an auxiliary beamsplitter or mirror, or through the catadioptric elements at any angle from 0 to 85 degrees from vertical. The system may employ a relayed pupil plane, used to select different imaging modes, provide simultaneous operation of different imaging modes, Fourier filtering, and other pupil shaping operations.

摘要翻译： 公开了一种用于多模式成像的系统。 反折射系统对于低阶和高阶单色像差具有高于0.65，优选大于0.9的NA。 该系统采用独特的照明入口和光学器件在一定范围的角度收集反射，衍射和散射光。 通过改变光瞳面上的照明几何形状和孔径，可以实现多种成像模式。 照明可以使用辅助分光镜或镜子进入反折射光学系统，或者通过反射折射元件以垂直方向从0到85度的角度进入反折射光学系统。 该系统可以采用中继的光瞳平面，用于选择不同的成像模式，提供不同成像模式，傅立叶滤波和其他光瞳成形操作的同时操作。

公开(公告)号：US06717746B2

公开(公告)日：2004-04-06

申请号：US10152290

申请日：2002-05-22

申请人： Alexander Epple ,  Helmut Beierl

发明人： Alexander Epple ,  Helmut Beierl

IPC分类号： G02B1708

CPC分类号： G02B17/0892 ,  G02B13/143 ,  G02B13/22 ,  G02B17/08 ,  G03F7/70225 ,  G03F7/70275

摘要： A catadioptric projection lens configured for imaging a pattern arranged in an object plane (2) onto an image plane (4) while creating a single, real, intermediate image (3) has a catadioptric first section (5) having a concave mirror (6) and a beam-deflection device (7), and a dioptric second section (8) that commences after the beam-deflection device. The system is configured such that the intermediate image follows the first lens (17) of the dioptric section (8) and is preferably readily accessible. Arranging the intermediate image both between a pair of lenses (17, 21) of the dioptric section and at a large distance behind the final reflective surface of the beam-deflection device helps to avoid imaging aberrations.

摘要翻译： 一种反射折射投影透镜，被配置用于将形成在物平面（2）中的图案成像到图像平面（4）上同时创建单个实际中间图像（3），具有反射折射率第一部分（5），其具有凹面镜 ）和光束偏转装置（7）以及在光束偏转装置之后开始的屈光度第二部分（8）。 该系统构造成使得中间图像跟随折射部分（8）的第一透镜（17），并且优选地容易接近。 在光束偏转装置的最终反射表面之后的较远的距离处，将折射部分的一对透镜（17,21）之间的中间图像排列有助于避免成像像差。

公开(公告)号：US06483638B1

公开(公告)日：2002-11-19

申请号：US09571109

申请日：2000-05-15

申请人： David R. Shafer ,  Yung-Ho Chuang ,  Bin-Ming B. Tsai

发明人： David R. Shafer ,  Yung-Ho Chuang ,  Bin-Ming B. Tsai

IPC分类号： G02B1708

CPC分类号： G02B17/0896 ,  G02B17/023 ,  G02B17/0808 ,  G02B17/0812 ,  G02B17/0856 ,  G02B17/086 ,  G02B17/0892 ,  G02B21/16 ,  G03F1/84 ,  G03F7/70225 ,  G03F7/70275 ,  G03F7/70616 ,  G03F7/7065

摘要： An ultra-broadband ultraviolet (UV) catadioptric imaging microscope system with wide-range zoom capability. The microscope system, which comprises a catadioptric lens group and a zooming tube lens group, has high optical resolution in the deep UV wavelengths, continuously adjustable magnification, and a high numerical aperture. The system integrates microscope modules such as objectives, tube lenses and zoom optics to reduce the number of components, and to simplify the system manufacturing process. The preferred embodiment offers excellent image quality across a very broad deep ultraviolet spectral range, combined with an all-refractive zooming tube lens. The zooming tube lens is modified to compensate for higher-order chromatic aberrations that would normally limit performance.

摘要翻译： 超宽带紫外（UV）反折射成像显微镜系统，具有广泛的变焦能力。 包括反射折射透镜组和变焦管透镜组的显微镜系统在深UV波长，连续可调放大倍数和高数值孔径中具有高的光学分辨率。 该系统集成了诸如目标，管镜和变焦光学的显微镜模块，以减少部件数量，并简化系统制造过程。 优选实施例在非常广泛的深紫外光谱范围内提供优异的图像质量，与全折射变焦管透镜组合。 变焦管镜头被修改以补偿通常会限制性能的高阶色差。

公开(公告)号：US06392822B1

公开(公告)日：2002-05-21

申请号：US09679267

申请日：2000-10-04

申请人： Tomowaki Takahashi

发明人： Tomowaki Takahashi

IPC分类号： G02B1708

CPC分类号： G02B17/0892 ,  G02B17/08 ,  G03F7/70225 ,  G03F7/70275

摘要： An optical imaging system especially for microlithography includes a first imaging system forming an intermediate image of an object, and a second imaging system forming, on a surface, an image of the intermediate image. A reflective surface directs light from the first imaging system to the second imaging system. An aspherical corrective optical surface is located at or near the location of the intermediate image for correcting aberrations such as high-order distortion, aberrations due to accumulation of manufacturing tolerances, and spherical aberration. The first imaging system comprises a positive power refractive element and a concave mirror. The second imaging system comprises refractive elements and no concave mirror.

摘要翻译： 特别是用于微光刻的光学成像系统包括形成物体的中间图像的第一成像系统和在中间图像的表面上形成表面的第二成像系统。 反射表面将来自第一成像系统的光引导到第二成像系统。 非球面校正光学表面位于中间图像的位置处或附近，用于校正诸如高阶失真，由于制造公差的累积造成的像差和球面像差等像差。 第一成像系统包括正功率折射元件和凹面镜。 第二成像系统包括折射元件和无凹面镜。