公开(公告)号：WO2015191257A1

公开(公告)日：2015-12-17

申请号：PCT/US2015/031659

申请日：2015-05-20

申请人： GENERAL ELECTRIC COMPANY

发明人： ROCKSTROH, Todd, Jay ,  GRAY, Daniel, Curtis ,  CHEVERTON, Mark, Allen ,  OSTROVERKHOV, Victor, Petrovich

IPC分类号： B22F3/105 ,  B29C67/00 ,  B23K26/08

CPC分类号： B23K26/342 ,  B22F3/1055 ,  B22F2003/1056 ,  B23K26/0648 ,  B23K26/0676 ,  B23K26/083 ,  B23K26/705 ,  B29C64/153 ,  B33Y10/00 ,  B33Y30/00 ,  B33Y40/00 ,  Y02P10/295

摘要： A method of creating an article of manufacture, the method comprising: (a) directing multiple laser beams to a single galvanometer; and, (b) dynamically repositioning the multiple laser beams in counterpart paths using the single galvanometer to shine the multiple laser beams on and melt a first powder material and, upon solidification of the melted first powder material, forming a first series of duplicate three dimensional structures, where each of the multiple laser beams is used to form at least one of the first series of duplicate three dimensional structures.

摘要翻译： 一种制造制品的方法，所述方法包括：（a）将多个激光束引导到单个电流计; 并且（b）使用单个电流计动态地重新定位对应路径中的多个激光束以将多个激光束照射并熔化第一粉末材料，并且在熔化的第一粉末材料凝固时，形成第一系列的三维重复 结构，其中每个多个激光束用于形成第一系列重复三维结构中的至少一个。

公开(公告)号：WO2011159539A3

公开(公告)日：2012-04-19

申请号：PCT/US2011039706

申请日：2011-06-09

申请人： IPG PHOTONICS CORP ,  GAPONTSEV VALENTIN ,  FOMIN VALENTIN

发明人： GAPONTSEV VALENTIN ,  FOMIN VALENTIN

IPC分类号： H01S3/067

CPC分类号： H01S3/005 ,  B23K26/043 ,  B23K26/066 ,  B23K26/705 ,  G02B6/4225 ,  G02B6/4296 ,  H01S3/067

摘要： The present disclosure relates to a modular fiber laser system operative to controllably guide a beam which is launched from a feeding fiber into a process fiber so that the high-aperture component is coupled and guided in cladding of the process fiber, and a low-aperture component is coupled into the core of the fiber. The laser system further has a reflective element configured with light-reflecting and light-transmitting portions. The high-aperture component at least partially decouples from the cladding into the core so that the core radiates the high-aperture and low-aperture components. The high-aperture component is incident upon the light-reflecting portion and backreflected into the process fiber so that a sensor array, which is located between the feeding and process fibers, detects the reflected light. The laser system further includes an adjustment system operatively connected to the sensor array and configured to displace the fibers relative to one another to an alignment position after the sensor array detects a maximum signal of the reflected high-aperture component.

摘要翻译： 本公开涉及一种模块化光纤激光器系统，其可操作地将从馈送光纤发射的光束可控地引导到工艺光纤中，使得高光圈分量在工艺光纤的包层中耦合和引导，而低光圈 组件耦合到光纤的核心。 激光系统还具有配置有光反射和透光部分的反射元件。 高开口部件至少部分地从包层分离到芯中，使得芯辐射高孔径和低孔径分量。 高孔径分量入射到光反射部分并反射到工艺光纤中，使得位于进给光纤和处理光纤之间的传感器阵列检测反射光。 激光系统还包括可操作地连接到传感器阵列并且被配置为在传感器阵列检测到反射的高孔径分量的最大信号之后将纤维相对于彼此移位到对准位置的调节系统。

公开(公告)号：WO2012041346A1

公开(公告)日：2012-04-05

申请号：PCT/EP2010/005971

申请日：2010-09-30

申请人： WAVELIGHT GMBH ,  GORSCHBOTH, Claudia ,  WOELFEL, Mathias ,  HEIMISCH, Richard ,  DONITZKY, Christof ,  KITTELMANN, Olaf ,  DEISINGER, Thomas ,  ROBL, Gerhard ,  VOGLER, Klaus ,  STARIGK, Martin

发明人： GORSCHBOTH, Claudia ,  WOELFEL, Mathias ,  HEIMISCH, Richard ,  DONITZKY, Christof ,  KITTELMANN, Olaf ,  DEISINGER, Thomas ,  ROBL, Gerhard ,  VOGLER, Klaus ,  STARIGK, Martin

IPC分类号： B23K26/03 ,  B23K26/08 ,  B23K26/42 ,  B23K26/40 ,  B23K26/06 ,  H01S3/00 ,  G01M11/02 ,  A61F9/008

CPC分类号： G01J1/4257 ,  A61F9/0084 ,  A61F2009/00855 ,  B23K26/705 ,  B23K2203/32 ,  B23K2203/50

摘要： Es wird ein Verfahren zum Prüfen einer zur Abgabe gepulster fokussierter Laserstrahlung eingerichteten Lasereinrichtung (10) vorgeschlagen, deren Fokusposition (18) sowohl in als auch quer zur Ausbreitungsrichtung der Laserstrahlung verstellbar ist. Die Lasereinrichtung umfasst ein für die Laserstrahlung transparentes Kontaktelement (30) mit einer Anlagefläche (34) zur Anlage eines zu bearbeitenden Objekts. Im Rahmen des Verfahrens wird ein zumindest in einem Bearbeitungsbereich für die Laserstrahlung transparentes Testobjekt (36) an die Anlagefläche des Kontaktelements angelegt. Sodann wird Laserstrahlung in das an der Anlagefläche anliegende Testobjekt eingestrahlt und dabei die Fokusposition nach Maßgabe eines vorgegebenen Testmusters bewegt, um dauerhafte Bearbeitungsstrukturen in dem Testobjekt zu erzeugen.

摘要翻译： 所以建议检查用于递送脉冲聚焦激光辐射的激光装置（10）的已建立的方法，所述焦点位置（18）是在两者并且横向于激光辐射的传播方向可调节的。 的激光器装置包括一个透明的激光辐射接触元件（30）具有接触表面（34）用于调节的对象进行处理。 至少在用于激光辐射（36）的处理区域的透明测试对象应用于过程中的接触元件的接触面。 然后激光辐射在移动的同时按照预定的测试模式的焦点位置，以产生在测试对象永久处理结构施加到接触表面测试对象中的电压照射。

公开(公告)号：WO2012011072A1

公开(公告)日：2012-01-26

申请号：PCT/IB2011/053257

申请日：2011-07-21

申请人： BYSTRONIC LASER AG ,  CATHRY, Daniel ,  IMBODEN, Ernest ,  BUGMANN, Tobias ,  BROGER, David ,  THIERRY, Perrin

发明人： CATHRY, Daniel ,  IMBODEN, Ernest ,  BUGMANN, Tobias ,  BROGER, David ,  THIERRY, Perrin

IPC分类号： B23K26/04 ,  B23K26/14 ,  B23K26/42

CPC分类号： B23K26/38 ,  B23K26/04 ,  B23K26/042 ,  B23K26/043 ,  B23K26/1494 ,  B23K26/705 ,  Y10T29/49778

摘要： The invention relates to a laser processing machine, in particular a laser cutting machine (LM), comprising a work table for receiving a work piece (W) to be processed and a work arm (1) with at least one laser cutting head (2). The laser cutting head (2) comprises a nozzle receiving device (7) and a nozzle (D) arranged therein. By means of said nozzle (D) a laser beam (11) maybe directed onto the work piece (W). The machine (LM) also comprises main drives for moving the work arm (1) and/or the laser cutting head (2) in the directions of X-Y-Z axes for processing the work piece (W), as well as an alignment unit for adjusting the laser beam (11). An adjusting station (3) is provided in the effective working region of the main drives of the work arm (1), and comprises a receiving unit (31) for fixing the nozzle (D) and/or the nozzle receiving device (7) during centering of the nozzle (D). The alignment unit has a head element (5B) provided in the laser cutting head (2). The head element (5B)receives the nozzle (D) and/or the nozzle receiving device (7) and is slidable in the X-Y directions, exclusively by means of the existing main drives of the machine (LM), without any additional adjustment device. The head element (5B)maybe fixed against movement in a selected position, within the laser cutting head (2),by means of a releasable clamping device (12), releasable during the nozzle centering step in the adjusting station (3).

摘要翻译： 本发明涉及一种激光加工机，特别是一种激光切割机（LM），它包括用于接收待处理的工件（W）的工作台和具有至少一个激光切割头（2）的工作臂（1） ）。 激光切割头（2）包括设置在其中的喷嘴接收装置（7）和喷嘴（D）。 通过所述喷嘴（D），激光束（11）可以被引导到工件（W）上。 机器（LM）还包括用于沿XYZ轴的方向移动工作臂（1）和/或激光切割头（2）的主驱动器，用于处理工件（W），以及用于调整的对准单元 激光束（11）。 在工作臂（1）的主驱动器的有效工作区域中设置有调整台（3），并且包括用于固定喷嘴（D）和/或喷嘴接收装置（7）的接收单元（31） 在喷嘴（D）的中心期间。 对准单元具有设置在激光切割头（2）中的头元件（5B）。 头部元件（5B）接收喷嘴（D）和/或喷嘴接收装置（7），并且可以仅通过机器（LM）的现有主驱动器在XY方向上滑动，而没有任何附加调节装置 。 头部元件（5B）可以通过可释放的夹紧装置（12）在激光切割头（2）内的选定位置中抵抗运动而固定，在调节站（3）中的喷嘴对中步骤期间可释放。

公开(公告)号：WO2011017570A2

公开(公告)日：2011-02-10

申请号：PCT/US2010/044618

申请日：2010-08-05

申请人： APPLIED MATERIALS, INC. ,  MANENS, Antoine P. ,  SHIU, Ting-Ruei ,  SHAMOUN, Bassam ,  HSU, Wei-Yung ,  THOTHADRI, Manivannan

发明人： MANENS, Antoine P. ,  SHIU, Ting-Ruei ,  SHAMOUN, Bassam ,  HSU, Wei-Yung ,  THOTHADRI, Manivannan

IPC分类号： H01L31/18 ,  H01L31/042 ,  B23K26/36 ,  H01S3/10

CPC分类号： B23K26/048 ,  B23K26/032 ,  B23K26/0673 ,  B23K26/082 ,  B23K26/083 ,  B23K26/364 ,  B23K26/40 ,  B23K26/705 ,  B23K2203/172 ,  H01L31/046 ,  H01L31/0463 ,  Y02E10/50

摘要： In-line metrology methods and systems for use with laser-scribing systems used in solar-cell fabrication are disclosed. Such methods and systems can involve a variety of components, for example, a device for measuring the amount of power input to a laser, a power meter for measuring laser output power, a beam viewer for measuring aspects of a laser beam, a height sensor for measuring a workpiece height, a microscope for measuring workpiece features formed by the laser-scribing system, and a system for monitoring a laser-scribing system and annunciating a warning(s) and/or an error message(s) when operational limits are exceeded. In-line metrology methods can also include the processing of output beam reflections so as to track beam drift over time and/or provide for focusing of an imaging device.

摘要翻译： 公开了用于太阳能电池制造中使用的激光划线系统的在线测量方法和系统。 这样的方法和系统可以涉及各种部件，例如用于测量输入到激光器的功率量的装置，用于测量激光输出功率的功率计，用于测量激光束的方面的光束观察器，高度传感器 用于测量工件高度的显微镜，用于测量由激光划线系统形成的工件特征的显微镜，以及用于监视激光划线系统的系统，并且当操作限制为...时，发出警告和/或错误消息 超标。 在线测量方法还可以包括输出光束反射的处理，以便随时间跟踪光束漂移和/或提供成像装置的聚焦。

公开(公告)号：WO2010086865A1

公开(公告)日：2010-08-05

申请号：PCT/IL2010/000090

申请日：2010-02-02

申请人： ADVANCED DICING TECHNOLOGIES LTD. ,  ARAN, Hagai ,  KITAY, Ron

发明人： ARAN, Hagai ,  KITAY, Ron

IPC分类号： B23K26/00

CPC分类号： B23K26/082 ,  B23K26/0821 ,  B23K26/083 ,  B23K26/364 ,  B23K26/40 ,  B23K26/705 ,  B23K2201/40 ,  B23K2203/50

摘要： A system and associated method for laser processing of material specimens comprising a laser mounted to scan onto a track wherein the specimens are forwarded along the track in a forwarding direction, the laser is scanned over said track in a second direction, and the substrates are angled to the track.

摘要翻译： 一种用于激光处理材料试样的系统和相关方法，包括安装成扫描到轨道上的激光器，其中样品沿着传送方向沿着轨道前进，激光在第二方向上在所述轨道上扫描，并且基板成角度 到轨道。

公开(公告)号：WO2009097967A1

公开(公告)日：2009-08-13

申请号：PCT/EP2009/000365

申请日：2009-01-22

申请人： CARL ZEISS LASER OPTICS GMBH ,  CYMER, INC. ,  WEIGL, Bernhard ,  SANDSTROM, Richard

发明人： WEIGL, Bernhard ,  SANDSTROM, Richard

IPC分类号： G02B27/09 ,  B23K26/06

CPC分类号： G02B27/0927 ,  B23K26/0626 ,  B23K26/0738 ,  B23K26/705 ,  H01S3/1305

摘要： The invention refers to an illuminating apparatus for illuminating a sample (66) on a work stage (68) with a narrow illuminating line (70) of controlled energy, said illuminating line (70) being generated from a laser beam (12) propagating along a beam path (13) and being emitted from a laser source (10) and having an dimension in a first direction (x) exceeding an dimension in a second direction (y) being perpendicular to said first direction (x) by a multiple, comprising a beam shaping optical system (80) for shaping said laser beam (12) into a line shape (70a), an energy measuring device (58) for measuring energy of said laser beam (12), an energy control system (76) for generating a control signal (78) upon said measured laser beam energy and for controlling energy output of said laser source (10) upon said control signal (78). The invention is characterized by said energy measuring device (58) being arranged in said beam path (13) after said beam shaping optical system (80) and before said work stage (68) or by said control signal (78) being indicative of an averaged beam energy along the dimension of said line shaped beam (70a) in said first direction (x). The invention further refers to a method for controlling energy of a laser source (10) when illuminating a sample (66) on a work stage (68) with a narrow illuminating line (70), whereby said illuminating line (70) is generated from a laser beam (12) propagating along a beam path (13) and being emitted from said laser source (10) and having an dimension in a first direction (x) exceeding an dimension in a second direction (y) being perpendicular to said first direction (x) by a multiple, comprising the steps of shaping said laser beam (12) into a line (70a), measuring energy of said line shaped laser beam (12), generating a control signal (78) upon said measured laser beam energy, controlling energy output of said laser source (10) upon said control signal (78). According to the invention said control signal (78) is indicative of an averaged beam energy along the dimension of said line shaped beam (70a) in said first direction. According to another aspect of the invention said energy of said laser beam (12) in said beam path (13) is measured after said beam shaping and before said work stage (68).

摘要翻译： 本发明涉及一种用于以具有受控能量的窄照明线（70）照亮工作台（68）上的样品（66）的照明装置，所述照明线（70）由沿着传播的激光束（12）产生 光束路径（13）并且从激光源（10）发射并且具有在第二方向（y）上超过垂直于所述第一方向（x）的尺寸的第一方向（x）的尺寸乘以多个， 包括用于将所述激光束（12）成形为线形（70a）的光束整形光学系统（80），用于测量所述激光束（12）的能量的能量测量装置（58），能量控制系统（76） 用于根据所述测量的激光束能量产生控制信号（78），并用于根据所述控制信号（78）控制所述激光源（10）的能量输出。 本发明的特征在于所述能量测量装置（58）在所述光束整形光学系统（80）之后并且在所述工作台（68）之前或由所述控制信号（78）指示为所述光束路径 沿着所述第一方向（x）沿着所述线状光束（70a）的尺寸的平均光束能量。 本发明还涉及一种用于在用窄照明线（70）照射工作台（68）上的样品（66）时控制激光源（10）的能量的方法，由此所述照明线（70）从 沿着光束路径（13）传播并从所述激光源（10）发射并具有超过第二方向（y）的尺寸的第一方向（x）的尺寸的激光束（12），所述第二方向（y）垂直于所述第一 方向（x）乘以多个，包括以下步骤：将所述激光束（12）成形成线（70a），测量所述线状激光束（12）的能量，在所述测量的激光束上产生控制信号（78） 能量，在所述控制信号（78）上控制所述激光源（10）的能量输出。 根据本发明，所述控制信号（78）指示沿所述线状波束（70a）在所述第一方向上的尺寸的平均光束能量。 根据本发明的另一方面，在所述光束成形之后和所述工作台（68）之前测量所述光束路径（13）中的所述激光束（12）的所述能量。

公开(公告)号：WO2008045654A3

公开(公告)日：2008-06-12

申请号：PCT/US2007078288

申请日：2007-09-12

申请人： NORTHROP GRUMMAN CORP ,  ROTHENBERG JOSHUA E ,  RICE ROBERT R ,  WICKHAM MICHAEL G

发明人： ROTHENBERG JOSHUA E ,  RICE ROBERT R ,  WICKHAM MICHAEL G

IPC分类号： H01S3/00 ,  B23K26/06 ,  G02B27/10

CPC分类号： B23K26/0604 ,  B23K26/067 ,  B23K26/705 ,  H01S3/005 ,  H01S3/1307 ,  H01S3/2391

摘要： A plurality of coherent and incoherent light beams are combined into a composite high power diffraction limited beam by N oscillators (11), each transmitting light at one of N different wavelengths, each wavelength being split into M constituent beams. M beams in each of N groups are phase locked by a phase modulator (14), amplified, and coupled into an M x N fiber array (19). Beams from the array are collimated and incident 'on an optical beam combiner. The N single beams are incident and spectrally combined on a grating (25) which outputs a composite beam at a nominal 100% fill factor. A low power sample beam, taken from the N beams emerging from the optical combiner, is measured for phase deviations, from which phase correction signals are derived and fed back to the phase modulators (14).

摘要翻译： 由N个振荡器（11）将多个相干和非相干光束组合成复合高功率衍射受限束，每个振荡器以N个不同波长中的一个发射光，每个波长被分成M个构成光束。 N组中的每一个的M个波束由相位调制器（14）锁相，被放大并耦合到M×N个光纤阵列（19）中。 来自阵列的光束被准直并入射到光束组合器上。 N个单个光束入射并光谱地组合在光栅（25）上，该光栅以标称100％填充因子输出复合光束。 测量从光合并器出射的N个光束取得的低功率采样光束，用于相位偏移，相位校正信号从该衍射并被反馈到相位调制器（14）。

公开(公告)号：WO2007047361A1

公开(公告)日：2007-04-26

申请号：PCT/US2006/039882

申请日：2006-10-12

申请人： NORTHROP GRUMMAN CORPORATION

发明人： ROTHENBERG, Joshua, E.

IPC分类号： H01S3/23 ,  G02B27/09 ,  G02B27/10 ,  B23K26/06 ,  H01S3/00

CPC分类号： H01S3/06754 ,  B23K26/0613 ,  B23K26/705 ,  H01S3/1301 ,  H01S3/1307 ,  H01S3/2383

摘要： A method for combining beams from multiple laser emitters (20) , which may be optical fibers or bulk amplifiers, to form a composite output beam (50) with desirable beam characteristics, as measured, for example, by Strehl ratio. Beams from the multiple emitters (20) are interferometrically combined in the near field, and the phases of the beams are controlled to provide optimal phase coherence, and thereby to minimize losses. Various techniques are disclosed for controlling the phase angles of the emitted beams, using either a separate phase detector (28) for each emitter beam, or a single detector (28') for the composite output beam (50) , or nulling detectors (80, 82, 84) in spurious outputs from the beam combining optics (42, 48) . All of these techniques achieve an improvement in Strehl, largely because the interferometric combination of beams is independent of the array fill factor.

摘要翻译： 一种用于组合来自多个激光发射器（20）的光束的方法，其可以是光纤或体积放大器，以形成具有例如以Strehl比率测量的期望光束特性的复合输出光束（50）。 来自多个发射器（20）的光束在近场中被干涉地组合，并且控制光束的相位以提供最佳相位相干性，从而使损耗最小化。 公开了各种技术，用于使用用于每个发射器束的单独的相位检测器（28）或用于复合输出光束（50）的单个检测器（28'）或归零检测器（80）来控制发射的光束的相位角 ，82,84）在来自光束组合光学器件（42,48）的杂散输出中。 所有这些技术都在Strehl中实现了改进，主要是因为光束的干涉组合与阵列填充因子无关。

公开(公告)号：WO2006060207A3

公开(公告)日：2007-01-04

申请号：PCT/US2005042032

申请日：2005-11-14

申请人： METAL IMPROVEMENT COMPANY LLC ,  DANE C BRENT ,  HARRIS FRITZ B ,  TARANOWSKI JOSEPH T ,  BROWN STEWART B

发明人： DANE C BRENT ,  HARRIS FRITZ B ,  TARANOWSKI JOSEPH T ,  BROWN STEWART B

IPC分类号： B23K26/06

CPC分类号： B23K26/0884 ,  B23K26/032 ,  B23K26/034 ,  B23K26/042 ,  B23K26/043 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/705 ,  C21D10/005

摘要： An active laser energy delivery system includes a relay imaging system. Input optics arranged to receive the laser energy, a transmitting mirror having adjustable angle of incidence relative to the input optics, and a robot mounted processing head including an optical assembly are configured to direct laser energy toward the movable target image plane. The laser energy follows an optical path including an essentially straight segment from the transmitting mirror to the receiving mirror, having a variable length and a variable angle relative to the input optics. Diagnostics on the processing head facilitate operation.

摘要翻译： 主动激光能量传递系统包括中继成像系统。 布置成接收激光能量的输入光学器件，具有相对于输入光学器件具有可调入射角的发射镜，以及包括光学组件的机器人安装的处理头被配置为将激光能量引向可移动目标像平面。 激光能量遵循包括从发射反射镜到接收反射镜的基本上直的部分的光路，其具有相对于输入光学器件的可变长度和可变角度。 处理头上的诊断便于操作。