公开(公告)号：WO2013000423A1

公开(公告)日：2013-01-03

申请号：PCT/CN2012/077772

申请日：2012-06-28

Applicant: 清华大学 ,  朱煜 ,  杨开明 ,  李鑫 ,  汪劲松 ,  胡金春 ,  张鸣 ,  徐登峰 ,  穆海华 ,  尹文生 ,  余东东 ,  崔乐卿

Inventor： 朱煜 ,  杨开明 ,  李鑫 ,  汪劲松 ,  胡金春 ,  张鸣 ,  徐登峰 ,  穆海华 ,  尹文生 ,  余东东 ,  崔乐卿

IPC: H01L21/67

CPC classification number: H01L21/68707

Abstract: 一种利用气缸伸缩的推杆式晶圆夹持装置，该装置由托盘、固定夹子、凸起支撑、可移动装置及气缸组成。通过执行控制单元指令，气缸推动滑块前后直线移动，滑块带动弹性元件及移动夹子同步运动，使晶圆夹在固定夹子与移动夹子之间，因此限制了晶圆水平与垂直方向的自由度，弹性元件的变形对晶圆边缘产生一定的压力，可使晶圆安全固定，并可以实现任意方向的传输，解决了传输方向单一的问题。通过调整凸起支撑件的位置及滑块的移动距离，可以实现不同直径尺寸晶圆的传输，解决了可传输晶圆尺寸单一的问题。利用弹性元件提高了装置的柔性，避免了夹持晶圆过程中由于移动距离的偏差引起的对晶圆的破坏。

公开(公告)号：WO2013000426A1

公开(公告)日：2013-01-03

申请号：PCT/CN2012/077786

申请日：2012-06-28

Applicant: 清华大学 ,  朱煜 ,  杨开明 ,  李鑫 ,  汪劲松 ,  胡金春 ,  张鸣 ,  徐登峰 ,  穆海华 ,  尹文生 ,  余东东 ,  崔乐卿

Inventor： 朱煜 ,  杨开明 ,  李鑫 ,  汪劲松 ,  胡金春 ,  张鸣 ,  徐登峰 ,  穆海华 ,  尹文生 ,  余东东 ,  崔乐卿

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/68707

Abstract: 一种利用线绳弹簧拉伸的晶圆夹持装置，该装置包括托盘、四个底面支撑组件、两个侧面支撑组件和一个线绳伸縮夹持组件。线绳伸縮夹持组件包括电机、线绳、两个移动夹子、两个挡板装置和两个弹簧元件。在电机与弹簧元件的作用下，线绳和弹簧元件拉动移动夹子张合运动，弹簧的拉伸变形作用对晶圆边缘产生压力，使得晶圆固定在两个侧面支撑组件与两个移动夹子之间。通过改变凸起支撑件的位置并通过调整限位装置，可以实现对不同直径尺寸晶圆的传输，解决了现有传输结构中可传输晶圆尺寸单一的问题。通过调整挡板装置可以改变弹簧元件的拉力，利用弹簧元件的柔性，起到夹持缓冲的作用，避免了夹持晶圆过程中由于夹持力的冲击引起的晶圆损坏。

公开(公告)号：WO2019218291A1

公开(公告)日：2019-11-21

申请号：PCT/CN2018/087199

申请日：2018-05-17

Applicant: 罗伯特·博世有限公司 ,  于华俊 ,  崔乐 ,  王炜 ,  张明亮

Inventor： 于华俊 ,  崔乐 ,  王炜 ,  张明亮

IPC: G01S5/02 ,  G01S5/00 ,  G01C21/10

Abstract: 一种用于对定位数据滤波的方法和装置，该方法包括：接收定位引擎当前时刻输出的定位数据（302）；利用由两个不同的滤波器组成的交互式多模型对基于所接收的定位数据的待处理定位数据进行滤波，以得到已滤波的定位数据（306）。利用该方法和装置，能够提高定位的准确性和鲁棒性。

公开(公告)号：WO2013000428A1

公开(公告)日：2013-01-03

申请号：PCT/CN2012/077798

申请日：2012-06-28

Applicant: 清华大学 ,  朱煜 ,  杨开明 ,  李鑫 ,  汪劲松 ,  张鸣 ,  徐登峰 ,  穆海华 ,  尹文生 ,  胡金春 ,  崔乐卿 ,  余东东

Inventor： 朱煜 ,  杨开明 ,  李鑫 ,  汪劲松 ,  张鸣 ,  徐登峰 ,  穆海华 ,  尹文生 ,  胡金春 ,  崔乐卿 ,  余东东

IPC: H01L21/68 ,  B65G49/07

CPC classification number: H01L21/68707

Abstract: 一种利用线绳弹簧拉伸的推杆式晶圆夹持装置，该装置包括托盘、四个底面支撑组件、两个侧面支撑组件和一个线绳伸缩夹持组件。线绳伸缩夹持组件包括电机、线绳、一个推杆、两个移动夹子、两个限位装置和两个弹簧元件。在电机与弹簧元件的作用下，线绳拉动推杆沿X轴方向运动，使得晶圆夹在两个侧面支撑组件与两个移动夹子之间，弹簧的压缩变形作用对晶圆边缘产生压力，可固定晶圆。通过改变凸起支撑件的位置并通过调整限位装置，可以实现对不同直径尺寸晶圆的夹持，解决了现有传输结构中可传输晶圆尺寸单一的问题。利用弹簧元件使夹持晶圆时具有柔性，起到夹持缓冲的作用，避免了夹持晶圆过程中由于夹持力的冲击引起的晶圆损坏。

公开(公告)号：WO2013000420A1

公开(公告)日：2013-01-03

申请号：PCT/CN2012/077747

申请日：2012-06-28

Applicant: 清华大学 ,  杨开明 ,  朱煜 ,  李鑫 ,  汪劲松 ,  尹文生 ,  胡金春 ,  张鸣 ,  徐登峰 ,  穆海华 ,  崔乐卿 ,  余东东

Inventor： 杨开明 ,  朱煜 ,  李鑫 ,  汪劲松 ,  尹文生 ,  胡金春 ,  张鸣 ,  徐登峰 ,  穆海华 ,  崔乐卿 ,  余东东

IPC: H01L21/687

CPC classification number: H01L21/68707

Abstract: 一种利用弹簧夹子的晶圆夹持装置，该装置包括托盘（101）、晶圆夹子（108）和凸起支撑块（106）。晶圆夹子（108）包括支架（102）、连杆（104）、弹簧（105）及滑块（103）。当抓取晶圆（109）时，晶圆（109）边缘与滑块（103）的倾斜部分接触，其重力分力使滑块（103）沿连杆（104）向支架（102）方向移动，并使弹簧压缩，晶圆（109）夹在晶圆夹子（108）中间。晶圆底面与四个凸起支撑块（106）的上表面接触，由凸起支撑块（106）支撑。晶圆边缘与滑块侧面接触，弹簧的变形对晶圆边缘产生一定的压力，夹紧晶圆使晶圆固定。通过改变托盘末端晶圆夹子的位置，可以实现不同直径尺寸晶圆的传输。利用弹簧增加了系统的柔性，避免了传输过程中托盘与晶圆边缘刚性接触所引起的晶圆破损。在抓取晶圆时，使晶圆落在滑块的倾斜部分范围内即可满足要求，因此允许末端执行器存在一定的定位误差。