公开(公告)号：WO2004029689A2

公开(公告)日：2004-04-08

申请号：PCT/EP2003/010538

申请日：2003-09-22

Applicant: CARL ZEISS MICROELECTRONIC SYSTEMS GMBH ,  BISCHOFF, Jörg ,  BRUNNER, Robert ,  BURKHARDT, Matthias ,  ERDMANN, Lars ,  STEINER, Reinhard

Inventor： BISCHOFF, Jörg ,  BRUNNER, Robert ,  BURKHARDT, Matthias ,  ERDMANN, Lars ,  STEINER, Reinhard

IPC: G02B21/00

CPC classification number: G02B27/106 ,  G02B21/06 ,  G02B27/123 ,  G02B27/126 ,  G02B27/144 ,  G02B27/145

Abstract: Es wird eine Beleuchtungsvorrichtung mit einer Strahlvervielfachungseinrichtung (1), die einen zugeführten kohärenten Strahl (18) in mehrere Teilstrahlen (20, 21) aufteilt und diese nach Durchlaufen von Wegen mit unterschiedlichen optischen Längen zu einem Strahlenbündel (26) zusammenführt, in dem die Teilstrahlen (27, 28, 29, 30) divergieren, und ferner mit einer der Strahlvervielfachseinrichtung (1) nachgeordneten Mikrooptik (3), die eine Veilzahl von rasteratig angeordneten Optikelementen (19) umfasst, vorgesehen, wobei das Strahlenbündel (26) auf die Mikrooptik (3) trifft und dadurch auf jedes Optikelement (19) die Teislstrahlen (27, 28, 29, 30) des Strahlenbündels (26) mit unterschiedlichen Winkeln treffen, so dass von jedem Optikelement (19) mehrere Beleuchtungsteilstrahlen (M1, M2, M3, M4) mit unterschiedlichen Ausbreitungsrichtungen ausgehen, die zur Beleuchtung eines Objektfelds (31) eingesetzt werden können.

Abstract translation: 它是一个光束乘法装置（1），包括一个提供相干光束（18）分割为多个部分光束的照明装置（20，21）被分开，并且这些通过路径具有不同的光程的光束（26）后一起，其中子光束 （27，28，29，30）发散，并且还包括在所述Strahlvervielfachseinrichtung（1）下游的微光学器件（3），包括rasteratig的Veilzahl布置的光学元件（19），被设置，其中所述光束（26）（在微光学 3）适用，由此（在梁（26）以不同的角度满足的每个光学元件19）的Teislstrahlen（27，28，29，30），以使得（由每个光学元件19）的多个照明子束（M1，M2，M3，M4的 ）继续进行传播的不同方向，这可以被用于照明物场（31）。

公开(公告)号：WO2003096356A3

公开(公告)日：2003-11-20

申请号：PCT/EP2003/004803

申请日：2003-05-08

Applicant: CARL ZEISS SMT AG ,  CARL ZEISS MICROELECTRONIC SYSTEMS GMBH ,  MANN, Hans-Jürgen ,  DINGER, Udo ,  ULRICH, Wilhelm ,  REINECKE, Wolfgang ,  ENGEL, Thomas ,  ZIBOLD, Axel ,  HARNISCH, Wolfgang ,  WEDOWSKI, Marco ,  PAUSCHINGER, Dieter

Inventor： MANN, Hans-Jürgen ,  DINGER, Udo ,  ULRICH, Wilhelm ,  REINECKE, Wolfgang ,  ENGEL, Thomas ,  ZIBOLD, Axel ,  HARNISCH, Wolfgang ,  WEDOWSKI, Marco ,  PAUSCHINGER, Dieter

IPC: G21K7/00

Abstract: Die Erfindung betrifft ein reflektives Röntgenmikroskop zur Untersuchung eines Objektes in einer Objektebene, wobei das Objekt mit Strahlung einer Wellenlänge

公开(公告)号：WO2003009042A2

公开(公告)日：2003-01-30

申请号：PCT/EP2002/006522

申请日：2002-06-13

Applicant: CARL ZEISS MICROELECTRONIC SYSTEMS GMBH ,  ENGEL, Thomas

Inventor： ENGEL, Thomas

IPC: G02B21/02

CPC classification number: G02B21/361 ,  G01B9/04 ,  G02B21/02 ,  G02B21/06 ,  G02B21/248

Abstract: Bei einem Mikroskopobjektiv (1) mit einem mit einem Objektivhalter eines Mikroskops verbindbaren Gehäuse (2), das eine Lichteintrittsöffnung (6) aufweist, und weiter mit einem im Gehäuse (2) angeordneten Optiksystem (8) ist ein Bilderfassungselement (19) vorgesehen und wird mittels des Optiksystems (8) über die Lichteintrittsöffnung (6) eintretendes Licht auf das Bilderfassungselement (9) gelenkt und nicht in einen dem Mikroskopobjektiv nachfolgenden Strahlengang des Mikroskops eingekoppelt.

Abstract translation:

在一个显微镜物镜（1）与连接到显微镜的透镜架去BEAR使用（2）具有一个光入口和OUML;具有开口（6），并且还具有壳体BEAR使用（2） 提供（8）布置的光学系统，摄像元件（19）和由光学系统（8）在所述光入射＆oUML的装置;开口（6）引导的光进入成像元件（9）和不连接到所述显微镜的后续显微镜物镜光路中，

公开(公告)号：WO2004006013A1

公开(公告)日：2004-01-15

申请号：PCT/EP2003/007401

申请日：2003-07-09

Applicant: CARL ZEISS MICROELECTRONIC SYSTEMS GMBH ,  LEO ELEKTRONENMIKROSKOPIE GMBH ,  ENGEL, Thomas ,  HARNISCH, Wolfgang ,  HOFFROGGE, Peter ,  ZIBOLD, Axel

Inventor： ENGEL, Thomas ,  HARNISCH, Wolfgang ,  HOFFROGGE, Peter ,  ZIBOLD, Axel

IPC: G03F1/00

CPC classification number: G03F1/72 ,  G03F1/84

Abstract: Anordnung und Verfahren zur Herstellung von Photomasken, wobei mindestens ein Defektkontrollsystem über eine stehende Datenverbindung oder on-line Verbindung mit mindestens einem Reparatursystem verbunden ist und das Defektkontrollsystem und das Reparatursystem datenmässig so miteinander verbunden sind, dass die auf einem der Systeme gewonnen Ergebnisse auf dem anderen System zur Weiterverarbeitung unmittelbar zur Verfügung stehen, wobei das Defektkontrollsystem über eine Datenverbindung zum Datenaustausch ermittelte Defekte an das Reparatursystem weiterleitet, das den Reparaturvorgang anhand der ermittelten Defekte steuert, wobei vorteilhaft ein AIMS System als Defektkontrollsystem und ein Elektronenstrahlsystem zur Defektkontrolle vorgesehen ist.

Abstract translation: 装置和方法，用于在一个固定的数据连接或在线连接制备光掩模，其中至少一个缺陷的缺陷检查系统被连接到至少一个修复系统和缺陷检测系统中，修复系统中的数据连接到彼此，使得获得了在另一方的系统的结果的一个 系统可用于进一步的处理直接，其中，通过用于数据交换的转发到修复系统，其控制检测到的缺陷，这有利地提供了一种用于AIMS系统作为缺陷检查系统和电子束系统的缺陷检查的基础上，在修复过程的数据连接检测到的缺陷检测系统的缺陷。

公开(公告)号：WO2003029875A3

公开(公告)日：2003-04-10

申请号：PCT/EP2002/010849

申请日：2002-09-27

Applicant: CARL ZEISS MICROELECTRONIC SYSTEMS GMBH ,  ERDMANN, Lars ,  STEINER, Reinhard ,  BRUNNER, Robert ,  BURKHARDT, Matthias ,  BISCHOFF, Jörg

Inventor： ERDMANN, Lars ,  STEINER, Reinhard ,  BRUNNER, Robert ,  BURKHARDT, Matthias ,  BISCHOFF, Jörg

IPC: G02B27/44

Abstract: Bei einer Beleuchtungsanordnung mit einem einen Spiegel (2) aufweisenden Kohärenzminderer (1), der mittels des Spiegels (2) einem zugeführten kohärenten Strahlenbündel (10) unterschiedliche Phasenverschiebungen in Abhängigkeit von der Position im Strahlquerschnitt einprägt und als Beleuchtungsstrahlenbündel (11) abgibt, und mit einer dem Kohärenzminderer (1) nachgeordneten Beleuchtungsoptik zum Beleuchten eines Objektfeldes, die eine Mikrooptik (4; 19) mit einer Vielzahl von Optikelementen (9; 20), die rasterartig angeordnet sind, und eine der Mikrooptik (4; 19) nachgeordnete Abbildungsoptik (5) umfasst, umfasst der Spiegel ein Spiegelelement (2), dessen Oberfläche in mehrere Spiegelteilflächen (8) aufgeteilt ist, die zueinander parallel angeordnet und in Richtung ihrer Flächennormalen versetzt sind, wobei das zugeführte Strahlenbündel (10) an den Spiegelteilflächen (8) derart reflektiert wird, dass von den Spiegelteilflächen (8) Beleuchtungsteilstrahlenbündel (11) ausgehen, die zusammen das Beleuchtungsstrahlenbündel mit den unterschiedlichen Phasenverschiebungen bilden.

公开(公告)号：WO2003029875A2

公开(公告)日：2003-04-10

申请号：PCT/EP2002/010849

申请日：2002-09-27

Applicant: CARL ZEISS MICROELECTRONIC SYSTEMS GMBH ,  ERDMANN, Lars ,  STEINER, Reinhard ,  BRUNNER, Robert ,  BURKHARDT, Matthias ,  BISCHOFF, Jörg

Inventor： ERDMANN, Lars ,  STEINER, Reinhard ,  BRUNNER, Robert ,  BURKHARDT, Matthias ,  BISCHOFF, Jörg

IPC: G02B26/06

CPC classification number: G02B27/4244 ,  G02B27/425 ,  G02B27/48

Abstract: Bei einer Beleuchtungsanordnung mit einem einen Spiegel (2) aufweisenden Kohärenzminderer (1), der mittels des Spiegels (2) einem zugeführten kohärenten Strahlenbündel (10) unterschiedliche Phasenverschiebungen in Abhängigkeit von der Position im Strahlquerschnitt einprägt und als Beleuchtungsstrahlenbündel (11) abgibt, und mit einer dem Kohärenzminderer (1) nachgeordneten Beleuchtungsoptik zum Beleuchten eines Objektfeldes, die eine Mikrooptik (4; 19) mit einer Vielzahl von Optikelementen (9; 20), die rasterartig angeordnet sind, und eine der Mikrooptik (4; 19) nachgeordnete Abbildungsoptik (5) umfasst, umfasst der Spiegel ein Spiegelelement (2), dessen Oberfläche in mehrere Spiegelteilflächen (8) aufgeteilt ist, die zueinander parallel angeordnet und in Richtung ihrer Flächennormalen versetzt sind, wobei das zugeführte Strahlenbündel (10) an den Spiegelteilflächen (8) derart reflektiert wird, dass von den Spiegelteilflächen (8) Beleuchtungsteilstrahlenbündel (11) ausgehen, die zusammen das Beleuchtungsstrahlenbündel mit den unterschiedlichen Phasenverschiebungen bilden.

Abstract translation: 在具有一个反射镜（2），具有相干性减速器的照明装置（1），由反射镜的装置（2）所提供的相干辐射束（10）印象取决于在光束横截面中的位置不同的相移，并作为照明光束（11）的输出，并 相干减速器（1）的照明光学部件的下游，用于照明物场，微光学器件（4; 19），其具有多个光学元件（9; 20）（4; 19），其被布置网格状的方式，和一个微光学下游的成像光学器件（5 包括），反射镜包括反射镜元件（2），其表面的多个反射镜表面部分（8）被分割，其被相互平行地布置，并抵消在它们的表面的法线方向，其特征在于，所提供的辐射光束（10）（到反射镜表面部分8）反射的这样 是反射镜表面部分（8）的部分照明光束（11）比其它 地址，它们共同形成与不同相移的照明光束。

公开(公告)号：WO2003069391A1

公开(公告)日：2003-08-21

申请号：PCT/EP2003/000765

申请日：2003-01-25

Applicant: CARL ZEISS MICROELECTRONIC SYSTEMS GMBH ,  CZARNETZKI, Norbert

Inventor： CZARNETZKI, Norbert

IPC: G02B21/00

CPC classification number: G01N21/6452 ,  G01N21/6458 ,  G02B21/004 ,  G02B21/0076

Abstract: Eine Vorrichtung zur konfokalen optischen Mikroanalyse umfasst einen Objekttisch (1), der zur optischen Abtastung eines Objekts in einer X-Y-Ebene bewegbar ist, eine Beleuchtungseinrichtung (2) zur Beleuchtung des Objektes, eine zwischen dem Objekttisch (1) und der Beleuchtungseinrichtung (2) angeordnete Beleuchtungsoptik mit einem ersten Array (10) aus einer Vielzahl von optischen Mikroelementen (7) zur Erzeugung eines Rasters aus einer Vielzahl von Beleuchtungspunkten an dem zu untersuchenden Objekt und eine Empfangseinrichtung (12) mit einer Vielzahl von Empfängerzellen (13) zur Aufnahme des von dem Objekt nach Wechselwirkung abgegebenen Lichts in Zuordnung zu den einzelnen Beleuchtungspunkten. Der Empfangseinrichtung (12) ist zweites Array (14) aus rasterförmig angeordneten optischen Mikroelementen (15) zugeordnet, welche das an dem Objekt reflektierte Licht auf die Emfängerzellen (13) richten. Die Vorrichtung ermöglicht die Erfassung grosser Objektfelder bei Optimierung der Seiten- und Tiefenauflösung. Sie eignet sich insbesondere zur Analyse fluoreszierender Substanzen, wobei eine Vielzahl von Proben gleichzeitig untersucht werden können.

Abstract translation: 一种用于共焦光学显微分析装置包括阶段1，其是可移动的用于在XY平面内，用于照明物体的照明系统2的物体的光学扫描，设置在第1阶段和具有的第一阵列10 2照明光学系统的照明装置之间 用于产生包含在检查对象上的多个照射点的网格上的多个光学微元件7的并具有多个接收器单元13的用于分配相互作用时受光来自物体的输出到单独的照明点的接收装置12。 该接收装置12与栅阵列微小光学元件15，其引导所述反射光到所述对象到所述Emfängerzellen的第二阵列14相关联。13 该装置使得能够在横向和深度分辨率的优化大对象字段的检测。 它特别适合于荧光物质的分析，其中多个样品，可以同时测定。

公开(公告)号：WO2003029879A1

公开(公告)日：2003-04-10

申请号：PCT/EP2002/010475

申请日：2002-09-18

Applicant: CARL ZEISS MICROELECTRONIC SYSTEMS GMBH ,  BURKHARDT, Matthias ,  MENCK, Alexander ,  BISCHOFF, Jörg ,  STEINER, Reinhard ,  ERDMANN, Lars

Inventor： BURKHARDT, Matthias ,  MENCK, Alexander ,  BISCHOFF, Jörg ,  STEINER, Reinhard ,  ERDMANN, Lars

IPC: G02B27/48

CPC classification number: G02B5/0221 ,  G02B5/0284 ,  G02B27/48

Abstract: Bei einer Anordnung zur Verminderung der Kohärenz eines kohärenten Strahlenbündels (6) ist ein einen Innenraum begrenzender Reflektor (1) mit einer diffus reflektierenden Innenfläche (4) vorgesehen, wobei der Reflektor (1) eine Eintrittsöffnung (2), durch die das Strahlenbündel (6) in den Innenraum einkoppelbar ist, sowie eine Austrittsöffnung (3), durch die Strahlen des Strahlenbündels (6) nach zumindest einmaliger Reflexion an der Innenfläche (4) austreten, aufweist.

Abstract translation: 在用于降低相干光束的相干性的装置（6）是一个内部限制反射器（1）设置有漫反射内表面（4），其中，所述反射器（1）的入口开口（2），通过该（光束6 ）可以按照一个出口开口（3），（由光束6）的光线到内表面上的至少一个反射（4）出现，其具有被耦合到内部，和。

公开(公告)号：WO2003029793A3

公开(公告)日：2003-04-10

申请号：PCT/EP2002/010474

申请日：2002-09-18

Applicant: CARL ZEISS MICROELECTRONIC SYSTEMS GMBH ,  DOBSCHAL, Hans-Jürgen ,  STEINER, Reinhard ,  BISCHOFF, Jörg

Inventor： DOBSCHAL, Hans-Jürgen ,  STEINER, Reinhard ,  BISCHOFF, Jörg

IPC: G01N21/55

Abstract: Bei einer Messanordnung mit einer Strahlungsquelle (1), einer dieser nachgeordneten Ablenkeinrichtung (5), die mit einem von der Strahlungsquelle (1) ausgehenden Strahl (2) beaufschlagbar ist und diesen zeitlich nacheinander in unterschiedliche Richtungen abgelenkt, und weiter mit einer ersten und einer zweiten Optikeinrichtung (9, 10) sowie einem Detektor (6), wobei die erste Optikeinrichtung (9) die von der Ablenkeinrichtung (5) kommenden Strahlen jeweils als Messstrahl auf einen Punkt (P) einer in einer Messposition anzuordnenden Probe (11) derart umlenkt, dass der Einfallswinkel des Messstrahls auf die Probe (11) in Abhängigkeit der Richtung variiert, und wobei von der Probe (11) aufgrund der Wechselwirkung der Messstrahlen mit der Probe ausgehende Probenstrahlen mittels der Wechselwirkung der Messstrahlen mit der Probe ausgehende Probenstrahlen mittels der zweiten Optikeinrichtung (10) auf den Detektor (11) umlenkt werden, weist zumindest eine der beiden Optikeinrichtungen (9, 10) ein diffraktives Element (7) zur Umlenkung auf, das die aus unterschiedlichen Richtungen einfallenden Strahlen derart beugt, dass die gebeugten Strahlen einer vorbestimmten Beugungsordnung in einen Punkt (P, D) fokussiert werden.

公开(公告)号：WO2002099501A1

公开(公告)日：2002-12-12

申请号：PCT/EP2002/006083

申请日：2002-06-04

Applicant: CARL ZEISS MICROELECTRONIC SYSTEMS GMBH ,  CZARNETZKI, Norbert ,  SCHERÜBL, Thomas ,  MACK, Stefan ,  KUROSAWA, Toshiro ,  HAGEMANN, Eckard

Inventor： CZARNETZKI, Norbert ,  SCHERÜBL, Thomas ,  MACK, Stefan ,  KUROSAWA, Toshiro ,  HAGEMANN, Eckard

IPC: G02B21/00

CPC classification number: G02B21/0024 ,  G02B7/34 ,  G02B21/004 ,  G02B21/006 ,  G02B21/245

Abstract: Die Erfindung bezieht sich auf eine Einrichtung zur Autofokussierung auf einen Meßort (M) an einem Objekt (O), das sich in einer zur optischen Achse (A) der Abbildungsoptik (3) zumindest etwa senkrechten Richtung (R) bewegt. Erfindungsgemäß ist eine Blendeneinrichtung vorgesehen, deren Blendenöffnung in einer zur Bewegungsrichtung (R) des Meßortes (M) gleichsinnigen Richtung (R') ausgedehnt ist; eine Empfangseinrichtung für das Meßlicht weist aneinandergereihte Empfangsbereiche (e 1 , e 2 ...e n ) auf und ist gegen die optische Achse geneigt, so daß das Bild der Blendeneinrichtung um den Winkel α geneigt die auf die Empfangsbereiche (e 1 , e 2 ...e n ) fällt; dabei sind Empfangseinrichtung und Blendenöffnung so zueinander positioniert, daß charakteristische Meßwerte dann an den Empfangsbereichen gemessen werden, wenn sich der Meßort (M) in oder nahe der Fokusposition befindet. Eine Auswerteeinrichtung (12) vergleicht die von den Empfangsbereichen (e 1 , e 2 ...e n ) sequential ausgelesenen Me werte mit gespeicherten Sollwerten und generiert daraus Signale beispielsweise für eine Mikroskopanordnung und/oder, sofern Abweichung festgestellt werden, Stellsignale für eine Stelleinrichtung, über welche die Verlagerung der Bewegungsrichtung (R) in die Fokusebene der Abbildungsoptik (3) veranlaßt wird.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于自动聚焦于上的物体（O）的测量点（M）的装置在一个延伸到所述成像光学部件（3）至少大致垂直的方向（R）上移动的光轴（A）。 根据本发明，隔膜装置设置在移动的测定部位的（R）（M）相同的方向的方向（R“）的方向上的光阑孔径是扩展; 用于测量光接收装置已经级联接收区域（E1，E2 ... en）和倾斜于光轴，使得掩模的图像通过倾斜在接收区域中的α角装置（E1，E2 ...烯） 瀑布; 从而接收装置和孔被定位成彼此，使得特征测量值然后在接收区域测量时，测量部位的位置（M）中或附近的焦点位置。 的评估装置（12）比较所述接收区域（E1，E2 ...烯）顺序读我与存储期望的值的值，并且生成信号，例如，一个显微镜装置和/或，如果检测到偏差，控制信号的致动器，通过该 移动的（R）的方向的位移在成像光学系统（3）的焦平面中引起的。