公开(公告)号：WO2015128279A1

公开(公告)日：2015-09-03

申请号：PCT/EP2015/053703

申请日：2015-02-23

Applicant: AIXTRON SE

Inventor： BECCARD, Birgit Irmgard ,  CREMER, Claudia ,  TRIMBORN, Karl-Heinz ,  LONG, Michael ,  EICHLER, Andy ,  AL AHMAD, Nael

IPC: G01N29/02 ,  G01N29/036 ,  G01N29/32 ,  G01N30/76

CPC classification number: G01N29/022 ,  B05B12/004 ,  B05B12/008 ,  B05D1/60 ,  G01N29/036 ,  G01N29/326 ,  G01N2291/0212 ,  G01N2291/0215 ,  G01N2291/0256 ,  G01N2291/02809

Abstract: Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Bestimmung der Konzentration eines Dampfes in einem Volumen (2), insbesondere zur Bestimmung oder Regelung des Massenflusses des von einem Trägergas durch das Volumen (2) geförderten Dampfes, wobei das Volumen (2) mit einer Heizeinrichtung (8) auf eine Temperatur oberhalb der Kondensationstemperatur des Dampfes aufheizbar ist, mit einem Sensor (1), der ein von der Konzentration beziehungsweise Partialdruck des Dampfes abhängiges Sensorsignal liefert. Um bei einer solchen Vorrichtung oder einem solchen Verfahren, insbesondere einem Verfahren zum Abscheiden von OLED-Schichten einen Sensor zur Bestimmung der Dampfkonzentration anzugeben, dessen Sensorsignal vom Trägergas nicht oder allenfalls geringfügig beeinflusst wird, wird vorgeschlagen, dass der Sensor (1) einen in eine Oszillation bringbaren Schwingkörper aufweist, dessen Oszillationsfrequenz von einer auf einer Oberfläche des Schwingkörpers vom kondensierten Dampf gebildeten Massenanhäufung beeinflusst wird, wobei der Schwingkörper eine Temperiereinrichtung aufweist, mit der er auf eine Temperatur unterhalb der Kondensations temperatur des Dampfes bringbar ist, wobei eine Auswerteeinrichtung die Konzentration beziehungsweise den Partialdruck aus der zeitlichen Änderung der Oszillatorfrequenz ermittelt.

Abstract translation: 本发明涉及一种装置和用于确定在一个体积中的蒸气的浓度的方法（2），尤其是用于确定或通过体积调节载气的质量流量输送（2）蒸气，其中所述体积（2）与加热装置 （8）可以被加热到高于蒸汽的冷凝温度的温度下，具有传感器（1）提供一个取决于浓度或蒸汽传感器信号的分压。 为了在这样的装置或这样的方法，尤其是沉积在OLED层，以用于确定所述蒸汽浓度提供的传感器的方法，所述传感器信号是未或轻微受至多载气，建议，所述传感器（1）具有在一个 具有振荡可以带来振动体，该振荡频率受一个形成为从所述冷凝的蒸汽质量的积累，其中，所述振动体包括与它可以被带到低于蒸汽的冷凝温度的温度的温度控制所述振动体的表面上，由此评估装置浓度或上 确定振荡器的频率随时间变化的分压。

公开(公告)号：WO2018177974A2

公开(公告)日：2018-10-04

申请号：PCT/EP2018/057584

申请日：2018-03-26

Applicant: AIXTRON SE

Inventor： TRIMBORN, Karl-Heinz ,  EICHLER, Andy ,  LONG, Michael

IPC: B05B7/14

Abstract: Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur quantisierten Abgabe eines Pulvers mit einem erste Dosieraussparungen (6) aufweisenden, um eine Drehachse (4) in einem Gehäuse (1) drehantreibbaren Dosierelement (3) mit einem Befüllungsvolumen (14), in dem die Dosieraussparungen (6) mit dem Pulver befüllbar sind, wobei an einer Entleerungsstelle (11) Mittel (19) zur Erzeugung eines Fluidstroms vorgesehen sind, mit dem das Pulver aus den ersten Dosieraussparungen (6) in ein Austrittsvolumen (13) förderbar ist.Die ersten Dosieraussparungen (6) sind zu einem Rand (3') des Dosierelementes (3) hin offen. Das Dosierelement (3) ist von einem Ringelement (5) umgeben, das in Radialeinwärtsrichtung offene zweite Dosieraussparungen (7) aufweist, wobei das Ringelement (5) ortsfest dem Gehäuse (1) zugeordnet ist.

公开(公告)号：WO2018177974A3

公开(公告)日：2018-10-04

申请号：PCT/EP2018/057584

申请日：2018-03-26

Applicant: AIXTRON SE

Inventor： TRIMBORN, Karl-Heinz ,  EICHLER, Andy ,  LONG, Michael

IPC: B05B7/14 ,  B05B11/06 ,  B05B12/16

Abstract: Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur quantisierten Abgabe eines Pulvers mit einem erste Dosieraussparungen (6) aufweisenden, um eine Drehachse (4) in einem Gehäuse (1) drehantreibbaren Dosierelement (3) mit einem Befüllungsvolumen (14), in dem die Dosieraussparungen (6) mit dem Pulver befüllbar sind, wobei an einer Entleerungsstelle (11) Mittel (19) zur Erzeugung eines Fluidstroms vorgesehen sind, mit dem das Pulver aus den ersten Dosieraussparungen (6) in ein Austrittsvolumen (13) förderbar ist. Die ersten Dosieraussparungen (6) sind zu einem Rand (3') des Dosierelementes (3) hin offen. Das Dosierelement (3) ist von einem Ringelement (5) umgeben, das in Radialeinwärtsrichtung offene zweite Dosieraussparungen (7) aufweist, wobei das Ringelement (5) ortsfest dem Gehäuse (1) zugeordnet ist.

公开(公告)号：WO2016000958A1

公开(公告)日：2016-01-07

申请号：PCT/EP2015/063530

申请日：2015-06-17

Applicant: AIXTRON SE

Inventor： LONG, Michael ,  BECCARD, Birgit Irmgard ,  CREMER, Claudia ,  TRIMBORN, Karl-Heinz ,  EICHLER, Andy ,  POQUÉ, Andreas

IPC: C23C14/12 ,  C23C14/26 ,  C23C14/24 ,  C23C16/448 ,  C23C14/54 ,  C23C16/52

CPC classification number: C23C16/4483 ,  C23C14/12 ,  C23C14/246 ,  C23C14/26 ,  C23C14/54 ,  C23C16/4486 ,  C23C16/4487 ,  C23C16/52 ,  F22D1/003

Abstract: Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Erzeugen eines Dampfes in einer CVD- oder PVD-Einrichtung, bei dem auf feste oder flüssige Partikel durch Inkontaktbringen an eine erste, auf eine Verdampfungstemperatur gebrachte Wärmeübertragungsfläche einer ein- oder mehrstufigen Verdampfungseinrichtung (1, 2) Verdampfungswärme übertragen wird und der durch Verdampfen der Partikel erzeugte Dampf von einem Trägergas in einer Strömungsrichtung des Trägergases aus der Verdampfungseinrichtung (1, 2) transportiert wird. Erfindungsgemäß wird der Dampf vom Trägergas durch eine in Strömungsrichtung hinter der Verdampfungseinrichtung (1, 2) angeordneten ein- oder mehrstufigen Modulationseinrichtung (3, 4) transportiert, welche Modulationseinrichtung (3, 4) zweite Wärmeübertragungsflächen aufweist, die in einer Dampflieferphase auf eine erste Modulationstemperatur temperiert werden, bei der der Dampf ohne Kondensation an den zweiten Wärmeübertragungsflächen durch die Modulationseinrichtung (3, 4) hindurchtritt, und die in einer Unterbrechungsphase auf eine zweite Modulationstem- peratur temperiert werden, bei der zumindest ein Teil des Dampfes an den zweiten Wärmeübertragungsflächen kondensiert. Die Kühlung kann durch ein Kühlgas erfolgen.

Abstract translation: 本发明涉及的装置和用于产生蒸气到CVD或PVD设备，其中在固体或液体颗粒通过接触的第一方法，带到单级或多级的蒸发装置的蒸发温度传热区域（1，2） 汽化的热量传递，并通过在蒸气从蒸发装置中的载气的流动方向上产生通过载气粒子的蒸发（1，2）被输送。 根据本发明，从载气通过所述蒸发装置的下游的蒸气（1,2）布置成一个维或多级调制装置（3，4）传输，其中调制装置（3，4）第二次在蒸汽供应阶段的热传递表面，以第一调制温度 是温度，在该由所述调制装置无冷凝的蒸气在第二热传递表面（3,4）穿过，并且其是在一个中断阶段到第二Modulationstem-加热温度，其中，至少冷凝蒸汽到所述第二热传递表面的一部分。 冷却可以通过冷却气体来进行。