公开(公告)号：WO2015128279A1

公开(公告)日：2015-09-03

申请号：PCT/EP2015/053703

申请日：2015-02-23

Applicant: AIXTRON SE

Inventor： BECCARD, Birgit Irmgard ,  CREMER, Claudia ,  TRIMBORN, Karl-Heinz ,  LONG, Michael ,  EICHLER, Andy ,  AL AHMAD, Nael

IPC: G01N29/02 ,  G01N29/036 ,  G01N29/32 ,  G01N30/76

CPC classification number: G01N29/022 ,  B05B12/004 ,  B05B12/008 ,  B05D1/60 ,  G01N29/036 ,  G01N29/326 ,  G01N2291/0212 ,  G01N2291/0215 ,  G01N2291/0256 ,  G01N2291/02809

Abstract: Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Bestimmung der Konzentration eines Dampfes in einem Volumen (2), insbesondere zur Bestimmung oder Regelung des Massenflusses des von einem Trägergas durch das Volumen (2) geförderten Dampfes, wobei das Volumen (2) mit einer Heizeinrichtung (8) auf eine Temperatur oberhalb der Kondensationstemperatur des Dampfes aufheizbar ist, mit einem Sensor (1), der ein von der Konzentration beziehungsweise Partialdruck des Dampfes abhängiges Sensorsignal liefert. Um bei einer solchen Vorrichtung oder einem solchen Verfahren, insbesondere einem Verfahren zum Abscheiden von OLED-Schichten einen Sensor zur Bestimmung der Dampfkonzentration anzugeben, dessen Sensorsignal vom Trägergas nicht oder allenfalls geringfügig beeinflusst wird, wird vorgeschlagen, dass der Sensor (1) einen in eine Oszillation bringbaren Schwingkörper aufweist, dessen Oszillationsfrequenz von einer auf einer Oberfläche des Schwingkörpers vom kondensierten Dampf gebildeten Massenanhäufung beeinflusst wird, wobei der Schwingkörper eine Temperiereinrichtung aufweist, mit der er auf eine Temperatur unterhalb der Kondensations temperatur des Dampfes bringbar ist, wobei eine Auswerteeinrichtung die Konzentration beziehungsweise den Partialdruck aus der zeitlichen Änderung der Oszillatorfrequenz ermittelt.

Abstract translation: 本发明涉及一种装置和用于确定在一个体积中的蒸气的浓度的方法（2），尤其是用于确定或通过体积调节载气的质量流量输送（2）蒸气，其中所述体积（2）与加热装置 （8）可以被加热到高于蒸汽的冷凝温度的温度下，具有传感器（1）提供一个取决于浓度或蒸汽传感器信号的分压。 为了在这样的装置或这样的方法，尤其是沉积在OLED层，以用于确定所述蒸汽浓度提供的传感器的方法，所述传感器信号是未或轻微受至多载气，建议，所述传感器（1）具有在一个 具有振荡可以带来振动体，该振荡频率受一个形成为从所述冷凝的蒸汽质量的积累，其中，所述振动体包括与它可以被带到低于蒸汽的冷凝温度的温度的温度控制所述振动体的表面上，由此评估装置浓度或上 确定振荡器的频率随时间变化的分压。

公开(公告)号：WO2019091804A1

公开(公告)日：2019-05-16

申请号：PCT/EP2018/079429

申请日：2018-10-26

Applicant: AIXTRON SE

Inventor： AL AHMAD, Nael

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/52 ,  C23C14/12

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Erzeugen eines Dampfes durch Verdampfen der festen oder flüssigen Partikel eines Aerosols, die in zumindest einem Dampferzeugungsschritt mittels eines Träger gas Stromes zu einem beheizten Verdampfungskörper (6.1) gebracht werden, wo sie durch Zufuhr von Verdampfungswärme verdampft werden. In einem Regelmodus wird ein Temperaturmesswert ermittelt, der mit einer Steuer-/ Regeleinrichtung (9) durch Variation von in den Verdampfungskörper (6.1) eingespeister Heizleistung auf einen Sollwert geregelt wird. Der zeitliche Verlauf der Heizleistung wird in einer Protokolldatei gespeichert. Mit Hilfe der in der Protokolldatei gespeicherten Protokolldaten werden Steuerdaten gewonnen, um in einem späteren Prozessschritt die Temperatur des Verdampfungskörpers ohne Regelung zu steuern, um die Partikel des Aerosols zu verdampfen.

公开(公告)号：WO2019068609A1

公开(公告)日：2019-04-11

申请号：PCT/EP2018/076583

申请日：2018-10-01

Applicant: AIXTRON SE

Inventor： AL AHMAD, Nael

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/54 ,  C23C14/22 ,  B01D1/00

CPC classification number: C23C14/246 ,  B01D1/0082 ,  C23C14/228 ,  C23C14/543

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Erzeugen eines mit einem Trägergas (G) transportierten Dampfstroms (V) eines Stoffes, wobei der Stoff mit einer Fördereinrichtung (2), deren Förderleistung einstellbar ist, als Massenfluss eines Pulvers oder einer Flüssigkeit zu einem Aerosolerzeuger (7) gefördert wird, mit dem das Pulver oder die Flüssigkeit als Aerosolpartikel dem Trägergas (G) beigemischt wird und das so erzeugte Aerosol (A) einem Verdampfer (10) zugeführt wird, wo die Aerosolpartikel durch Wärmezufuhr verdampft werden, wobei mit zumindest die einem Sensorelement (22, 24, 26, 27) ein Messwert der mit dem Trägergas (G) transportierten Massenflusses des Stoffes verknüpft ist, ermittelt wird. Das Sensorelement (22, 24, 26, 27) ist derart ausgebildet und angeordnet ist, dass damit der Aerosolpartikeleintrag in den Verdampfer (10) ermittelt wird. Der Sensor ist bevorzugt zwischen Aerosolerzeuger (7) und einem Verdampfungskörper (11) des Verdampfers (10) angeordnet. Er kann auch ein Temperatursensor (22) sein, mit dem die Temperatur des Verdampfungskörpers (11) gemessen wird.

公开(公告)号：WO2018099718A1

公开(公告)日：2018-06-07

申请号：PCT/EP2017/079048

申请日：2017-11-13

Applicant: AIXTRON SE

Inventor： KRÜCKEN, Wilhelm Josef Thomas ,  LONG, Michael ,  VAN DER HEIJDEN, Rik ,  AL AHMAD, Nael

IPC: C23C14/22 ,  B01D1/16 ,  C23C16/448

CPC classification number: C23C14/228 ,  B01D1/0017 ,  B01D1/14 ,  B01D1/16 ,  B01D3/346 ,  C23C16/4486

Abstract: Die Erfindung betrifft einen Vorrichtung zum Bereitstellen eines in einem Trägergasstrom transportierten, durch Verdampfen flüssiger oder fester Partikel insbesondere eines Aerosols oder einer Suspension erzeugten Dampfes, mit zumindest einer in einem Gehäuse (1) mit einem Abstand (a) vor einer Stirnseite (17') eines beheizte Wärmeübertragungsflächen aufweisenden Verdampfungskörpers (17) mündenden Zuleitung (2) zur Zuleitung eines Stroms des Aerosols oder der Suspension in Richtung einer Achse (A) der Mündung (5) der Zuleitung (2) auf die Stirnseite (17). Zur Steigerung der Effizienz ist ein zwischen der Mündung (5) und der Stirnseite (17) angeordneter Prallkörper (15) mit ein oder mehreren Prallflächen (11, 12, 24) vorgesehen, wobei die rotationssymmetrischen Prallflächen (11, 12, 24) in einem Winkel (a, ß), der größer als 10 Grad und kleiner als 80 Grad ist, schräg zur Achse (A) gerichtet sind.