公开(公告)号：WO2016096811A1

公开(公告)日：2016-06-23

申请号：PCT/EP2015/079732

申请日：2015-12-15

申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG

发明人： LAUDAHN, Hilmar ,  BADEKE, Klaus-Uwe ,  TROMMER, Martin

IPC分类号： C03B19/14 ,  B01D53/02 ,  B01J20/10

CPC分类号： C03B19/1415 ,  B01D53/02 ,  B01D2253/106 ,  B01D2253/304 ,  B01D2253/306 ,  B01J20/103 ,  C03B20/00 ,  C03B2201/02 ,  C03B2207/32 ,  C03B2207/81 ,  C03B2207/85 ,  C03C3/04

摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von synthetischem Quarzglas unter Verwendung einer speziellen Reinigungsvorrichtung, eine Vorrichtung zur Herstellung von synthetischem Quarzglas, umfassend eine spezielle Reinigungsvorrichtung, die Verwendung einer Schüttung aus porösen Silica-Partikeln zur Reinigung eines Einsatzmaterialdampfes zur Herstellung von synthetischem Quarzglas sowie das synthetische Quarzglas, welches nach dem erfindungsgemäßen Verfahren erhalten wird.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于通过使用特定的清洁装置，用于制造合成石英玻璃，其包括一个特殊的清洗装置，使用多孔二氧化硅颗粒的床的用于纯化进料蒸汽用于生产合成石英玻璃和的装置制造的合成石英玻璃 合成石英玻璃，这是由本发明方法获得。

公开(公告)号：WO2011147906A1

公开(公告)日：2011-12-01

申请号：PCT/EP2011/058624

申请日：2011-05-26

申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG ,  LEHMANN, Walter ,  KAYSER, Thomas ,  TROMMER, Martin ,  NASAROW, Christian

发明人： LEHMANN, Walter ,  KAYSER, Thomas ,  TROMMER, Martin ,  NASAROW, Christian

IPC分类号： C03B19/09 ,  C03B19/14 ,  C03C17/02

CPC分类号： C03B19/1492 ,  C03C17/004 ,  C03C17/02 ,  C03C21/003 ,  C03C23/0025 ,  C03C2217/213 ,  C03C2218/1525

摘要： Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Herstellung eines Quarzglastiegels mit einer Innenschicht aus transparentem, blasenarmem und reinem Quarzglas mit langer Standzeit anzugeben. Diese Aufgabe gemäß der Erfindung durch ein Verfahren gelöst, das folgende Verfahrensschritte umfasst: (a) Bereitstellen eines eine Innenseite aufweisenden Tiegelbasiskörpers aus Quarzglas, (b) Erzeugen einer porösen SiO 2 -Sootschicht auf mindestens einer Teilfläche der Innenseite des Tiegelbasiskörpers durch Gasphasenabscheidung, Trocknen der porösen SiO 2 -Sootschicht zur Reduzierung des Hydroxylgruppengehalts und Sintern der Sootschicht zu der Innenschicht aus transparentem Quarzglas in einer wasserstoffarmen Atmosphäre, so dass sich in dem Quarzglas der Innenschicht ein Hydroxylgruppengehalt von weniger als 100 Gew.-ppm einstellt.

摘要翻译： 本发明的基本目的是提供一种具有透明石英玻璃blasenarmem的内层和纯具有使用寿命长制造石英玻璃坩埚的方法。 根据本发明通过包括以下步骤的方法解决了这个问题：（a）提供具有石英玻璃坩埚基体上的内侧，（b）关于坩埚基体的通过气相沉积在内部的至少一个部分区域产生多孔的SiO 2烟灰层，干燥多孔 二氧化硅烟灰层，以减少羟基和烧结煤烟层，以透明石英玻璃的内侧层中的贫氢气氛中，使得在内层的石英玻璃小于100重量ppm的羟基含量。

公开(公告)号：WO2011054574A1

公开(公告)日：2011-05-12

申请号：PCT/EP2010/063438

申请日：2010-09-14

申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG ,  SCHUSTER, Anke ,  SOWA, Rene ,  TROMMER, Martin ,  PEPER, Udo

发明人： SCHUSTER, Anke ,  SOWA, Rene ,  TROMMER, Martin ,  PEPER, Udo

IPC分类号： C03B19/14 ,  C03B37/014

CPC分类号： C03B19/1492 ,  C03B37/01493 ,  Y10T428/22 ,  Y10T428/2918

摘要： Bei einem bekannten Verfahren zur Herstellung eines Quarzglaszylinders wird durch Abscheiden von SiO 2 -Partikeln auf einer Zylindermantelfläche eines um seine Längsachse rotierenden Trägers, der eine Schicht aus Siliciumcarbid (SiC-Schicht) aufweist, ein poröses Sootrohr hergestellt, das zu dem Quarzglaszylinder gesintert wird. Um hiervon ausgehend einen Träger mit hoher Bruchfestigkeit anzugeben, der sich einerseits leicht entfernen lässt und von dem andererseits eine geringe Kontaminationsgefahr für den Sootkörper ausgeht, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass die SiC-Schicht vor dem Abscheiden der SiO 2 -Partikel bei hoher Temperatur in einer sauerstoffhaltigen Atmosphäre behandelt wird, derart, dass durch Oxidation eine SiO 2 -Schutzschicht mit einer Dicke von mindestens 0,1 μm erzeugt wird.

摘要翻译： 在用于制造石英玻璃圆柱体公知的方法，多孔烟炱管是通过在绕具有碳化硅（SiC）层，其被烧结到石英玻璃圆柱体的层其纵向支撑件的气缸表面上沉积SiO 2个颗粒形成。 以指示与高压碎强度从该开始，其可以在一方面和另一方面容易地除去载体，所述烟灰体前进的污染的风险较低，本发明提出的SiO 2个颗粒在高温下的沉积之前在SiC层的含氧 具有的厚度至少为0.1微米的在SiO 2保护层是由氧化产生的气氛被处理这样。

公开(公告)号：WO2009106134A1

公开(公告)日：2009-09-03

申请号：PCT/EP2008/052370

申请日：2008-02-27

申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG ,  TROMMER, Martin ,  OCHS, Stefan ,  ZWARG, Steffen ,  KUEHN, BODO

发明人： TROMMER, Martin ,  OCHS, Stefan ,  ZWARG, Steffen ,  KUEHN, BODO

IPC分类号： C03B19/14 ,  C03C3/06

CPC分类号： C03C3/06 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/23 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/24 ,  Y02P40/57

摘要： To provide a method for the reproducible and reliable production of synthetic, UV- radiation resistant quartz glass which has a predetermined hydroxyl group content and containshardly any chlorine and oxygen defect centers, if possible, the present invention suggests a method which comprises the following steps: (a) producing an SiO 2 soot body, (b) drying the soot body such that a mean hydroxyl group content of less than 60 wtppm is obtained, and (c) vitrifying the soot body with formation of a cylindrical quartz glass blank which is further processed into the optical component, wherein prior to vitrification according to method step (c) the soot body is subjected to a conditioning treatment which comprises a treatment with a nitrogen containing gas, preferably a nitrogen oxide,or a sequence of treatments with ammonia and an oxidizing agent.

摘要翻译： 为了提供一种可重复且可靠地生产具有预定羟基含量并且包含任何氯和氧缺陷中心的合成耐紫外线辐射石英玻璃的方法，如果可能，本发明提出了一种方法，包括以下步骤： （a）生产SiO2烟灰体，（b）干燥烟灰体，使得得到小于60重量ppm的平均羟基含量，和（c）使形成圆柱形石英玻璃坯料的烟灰体玻璃化，其进一步 加工成光学部件，其中根据方法步骤（c）在玻璃化之前，对烟灰体进行调理处理，其包括用含氮气体，优选氮氧化物的处理，或用氨和 氧化剂。

公开(公告)号：WO2021009220A1

公开(公告)日：2021-01-21

申请号：PCT/EP2020/069992

申请日：2020-07-15

申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG

发明人： ROSENBERGER, Manuel ,  TROMMER, Martin ,  WEIMANN, Steffen ,  HÜNERMANN, Michael ,  SCHUSTER, Kay

IPC分类号： C03B37/012 ,  C03B37/027

摘要： Es sind Verfahren zur Herstellung einer Antiresonanten Hohlkernfaser bekannt, die einen sich entlang einer Faser-Längsachse erstreckenden Hohlkern und einen den Hohlkern umgebenden inneren Mantelbereich aufweist, der mehrere Antiresonanzelemente umfasst. Die bekannten Verfahren umfassen die Verfahrensschritte: des Bereitstellens eines Hüllrohres, das eine Hüllrohr-Innenbohrung und eine Hüllrohr-Längsachse aufweist, entlang der sich eine von einer Innenseite und einer Außenseite begrenzte Hüllrohr-Wandung erstreckt; des Bereitstellens einer Anzahl von rohrförmigen Antiresonanzelement-Vorformlingen; des Anordnens der Antiresonanzelement-Vorformlinge an Soll-Positionen der Innenseite der Hüllrohr-Wandung unter Bildung einer primären Vorform, die einen hohlen Kernbereich und einen inneren Mantelbereich aufweist; der Weiterverarbeitung der primären Vorform zu einer sekundären Vorform, die ein Elongieren der primären Vorform direkt zu der Hohlkernfaser oder zu der sekundären Vorform umfasst. Um hiervon ausgehend eine hohe Präzision und eine exakte Positionierung der Antiresonanzelemente in einer ausreichend stabilen und reproduzierbaren Weise zu erreichen, wird vorgeschlagen, dass beim Elongieren eine primäre Vorform eingesetzt wird, die einen Außendurchmesser im Bereich von 20 bis 70 mm aufweist.

公开(公告)号：WO2013156459A1

公开(公告)日：2013-10-24

申请号：PCT/EP2013/057869

申请日：2013-04-16

申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG ,  SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD.

发明人： TROMMER, Martin ,  SCHWERIN, Malte ,  ZWARG, Steffen

IPC分类号： C03B19/14

CPC分类号： C03B37/01446 ,  C03B19/1453 ,  C03B37/01453 ,  C03B37/018 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/20 ,  C03B2201/23

摘要： Für die Herstellung zylinderförmiger Bauteile aus Fluor enthaltendem, synthetischem Quarzglas sind folgende Verfahrensschritte bekannt: Erzeugen eines SiO 2 - Sootkörpers; Entfernen von Hydroxylgruppen aus dem Sootkörper, Beladen des Sootkörpers mit Fluor, Nachchlorieren des mit Fluor beladenen Sootkörpers und Verglasen des Sootkörpers zu dem zylinderförmigen Bauteil. Um reproduzierbar axial und radial besonders homogene Verteilungen insbesondere von Fluor zu erreichen, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass beim Trocknen im Sootkörper eine Konzentration an Hydroxylgruppen im Bereich von 1 bis 300 Gew.-ppm und beim Beladen mit Fluor ein mittlerer Fluorgehalt von mindestens 1500 Gew.-ppm eingestellt wird, und dass beim Nachchlorieren eine Beladung mit Chlor erfolgt, die nach dem Verglasen im synthetischen Quarzglas des Bauteils einen mittleren Chlorgehalt von mindestens 50 Gew.-ppm ergibt, unter der weiteren Maßgabe, dass das Gewichtsverhältnis der Gehalte von Fluor und Chlor kleiner als 30 ist.

摘要翻译： 以下处理步骤是已知的用于生产合成石英玻璃含氟的圆柱形部分组成：生成的SiO 2烟灰体; 从烟灰体的羟基的去除，用氟烟灰体的载荷，在Nachchlorieren载有氟烟灰体和烟灰体的玻璃化到圆柱形构件。 为了实现可再现的轴向和特别是氟径向特别均匀的分布，本发明提出的是羟基基团的浓度为1至300ppm（重量）和氟，在烟灰体的干燥过程中的至少1500％的平均氟含量加载期间。 ppm的设置，并且当Nachchlorieren装载与氯，其玻璃化后导致的组件的合成石英玻璃时具有按重量计至少50ppm的平均氯含量，与另外的条件是氟和氯的含量的重量比， 比30小

公开(公告)号：WO2010052163A1

公开(公告)日：2010-05-14

申请号：PCT/EP2009/064269

申请日：2009-10-29

申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG ,  KRAUSE, Thomas ,  TROMMER, Martin

发明人： KRAUSE, Thomas ,  TROMMER, Martin

IPC分类号： C03B37/014

CPC分类号： C03B37/01446 ,  C03B2201/12 ,  Y10T428/1317 ,  Y10T428/2964

摘要： Bei einem bekannten Verfahren für die Herstellung eines maßhaltigen Halbzeugs zum Einsatz bei der Faserherstellung aus synthetischem Quarzglas wird auf der Außenwandung eines Quarzglas-Innenzylinders eine SiO 2 -Sootschicht aufgebracht und diese einer Sinterbehandlung unterzogen, bei der eine Sinterzone von außen nach innen durch die SiO 2 -Sootschicht wandert. Um hiervon ausgehend einerseits eine maßgenaue und verformungsarme Herstellung und andererseits eine hohe Kosteneffizienz zu erreichen, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, die Sinterbehandlung zu unterbrechen, bevor die Sinterzone die Außenwandung des Innenzylinders erreicht, so dass an der Innenzylinder-Außenwandung eine Zwischenschicht aus Poren enthaltendem, synthetischem Quarzglas verbleibt. Dass so erhaltene Halbzeug wird zu dem optischen Bauteil elongiert, wobei die Zwischenschicht vollständig zu transparentem Quarzglas sintert.

摘要翻译： 在用于生产用于合成石英玻璃的纤维制造中使用的尺寸稳定的半成品的一个公知的方法，在SiO 2烟灰层沉积在石英玻璃内筒的外壁上，并将它们进行烧结处理，其中，从所述外部向内部通过在SiO 2烟灰层烧结区 移民。 为了此基础上实现一方面尺寸精确和低变形制造和在另一方面，较高的成本，本发明提出以中断烧结处理的烧结区到达内筒的外壁上之前，使在含有孔的中间层内筒外壁上，合成石英玻璃 仍然存在。 半成品由此得到的产物被拉长成光学部件，其中，所述中间层完全烧结到透明的石英玻璃。

公开(公告)号：WO2008055833A1

公开(公告)日：2008-05-15

申请号：PCT/EP2007/061746

申请日：2007-10-31

申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG ,  SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. ,  TROMMER, Martin ,  LEBER, Helmut

发明人： TROMMER, Martin ,  LEBER, Helmut

IPC分类号： C03B19/06 ,  C03C14/00

CPC分类号： C03C14/002 ,  C03B19/06 ,  C03B19/066 ,  C03B20/00 ,  C03C2214/02 ,  C03C2214/32

摘要： Es sind Verfahren zur Herstellung von opakem Quarzglas bekannt, bei denen eine amorphe SiO 2 -Teilchen enthaltende Suspension erzeugt, daraus ein poröser Grünkörper gebildet, der Grünkörper getrocknet und dieser durch Sintern unter Bildung des opaken Quarzglases verdichtet wird. Um hiervon ausgehend eine reproduzierbare Herstellung von wenig rissanfälligem opakem Quarzglas nach der Schlickermethode zu ermöglichen, und einen Grünkörper (Halbzeug) bereitzustellen, der sich durch eine geringe Rissanfälligkeit auszeichnet, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, ein Grünkörper aus einer SiO 2 -Matrix und darin eingebetteten Filamenten aus Quarzglas gebildet wird. Der nach dem Verfahren erhaltene Grünkörper zeichnet sich dadurch aus, dass in einer durch Formgießen und Trocknen einer amorphe SiO 2 -Teilchen enthaltenden Suspension erzeugten Matrix Filamente aus Quarzglas eingebettet sind.

摘要翻译： 过程用于生产不透明石英玻璃的，其中的无定形的SiO _{2产生含有悬浮颗粒，由多孔生坯，干燥形成已知的，生坯和通过烧结，以形成所述不透明石英玻璃压实。 到开始其根据Schlickermethode可再现生产小rissanfälligem不透明石英玻璃构成，坯体（半成品），以提供，其特征在于低的易感性的裂化许可，则根据本发明，生坯从由SiO 2 提出 矩阵和石英玻璃的嵌入其中的长丝形成。 通过该方法获得的生坯的特征在于，在通过模制一个含有和干燥的无定形的SiO 2 颗粒嵌入石英玻璃的悬浮液中产生的矩阵的长丝。}

公开(公告)号：WO2006021415A2

公开(公告)日：2006-03-02

申请号：PCT/EP2005/009073

申请日：2005-08-23

申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG ,  KIRST, Ulrich ,  STANG, Wolfgang ,  WEBER, Jürgen ,  WERDECKER, Waltraud ,  TROMMER, Martin ,  BECKER, Jörg

发明人： KIRST, Ulrich ,  STANG, Wolfgang ,  WEBER, Jürgen ,  WERDECKER, Waltraud ,  TROMMER, Martin ,  BECKER, Jörg

IPC分类号： C03C17/02 ,  C03C17/25 ,  C03B19/02

CPC分类号： C03C17/25 ,  C03B19/066 ,  C03C17/02 ,  C03C2217/213 ,  Y10T428/26

摘要： Es sind Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Bauteils aus Quarzglas bekannt, bei denen die Bauteil-Oberfläche mindestens teilweise mit einer SiO 2 -Glasmasse versehen wird, die sich vom Quarzglas des Basiskörpers unterscheidet. Um hiervon ausgehend eine neue Art der Beschichtung eines Quarzglas-Bauteils mit einer SiO 2 -Glasmasse anzugeben, die kostengünstig und reproduzierbar und in beliebiger Stärke hergestellt werden kann, und die je nach ihrer konkreten Ausgestaltung unterschiedliche Funktionen erfüllen kann, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass ein amorphe SiO 2 -Teilchen enthaltender Schlicker erzeugt und auf der Oberfläche des Basiskörpers unter Bildung einer Schlicker-Schicht aufgebracht wird, die Schlicker-Schicht getrocknet und anschließend unter Bildung der SiO 2 -Glasmasse verglast wird. Die so beschichteten Quarzglas-Bauteil sind insbesondere in der Halbleiterfertigung vorteilhaft einsetzbar.

摘要翻译：

有已知的用于制造石英玻璃的涂覆部件的方法是已知的，其中在构件表面BEAR表面至少部分地涂覆有二氧化硅<子> 2 提供-Glasmasse从石英玻璃延伸 的基体。 至<子> 2 指定它们，开始一个新的类型涂覆具有的SiO -Glasmasse，成本导航使用廉价的瑞士和可再现地和在石英玻璃部件的任何圣＆AUML;可以制备强度，并根据其特定的设计 根据本发明可以执行不同的功能。 建议形成含有无定形SiO 2颗粒的浆料并将其涂覆到基体的表面上以形成浆料层，将浆料层干燥，然后得到浆料 SiO 2玻璃块被玻璃化。 以这种方式涂覆的石英玻璃部件可以特别有利地用于半导体生产。

公开(公告)号：WO2021009231A1

公开(公告)日：2021-01-21

申请号：PCT/EP2020/070004

申请日：2020-07-15

申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG

发明人： ROSENBERGER, Manuel ,  HÜNERMANN, Michael ,  TROMMER, Martin ,  SCHUSTER, Kay ,  WEIMANN, Steffen

IPC分类号： C03B37/012 ,  C03B37/027

摘要： Es sind Verfahren zur Herstellung einer Antiresonanten Hohlkernfaser bekannt, die einen sich entlang einer Faser-Längsachse erstreckenden Hohlkern und einen den Hohlkern umgebenden inneren Mantelbereich aufweist, der mehrere Antiresonanzelemente umfasst. Die bekannten Verfahren umfassen die Verfahrensschritte: des Bereitstellens eines Hüllrohres, das eine Hüllrohr-Innenbohrung und eine Hüllrohr-Längsachse aufweist, entlang der sich eine von einer Innenseite und einer Außenseite begrenzte Hüllrohr-Wandung erstreckt; des Bereitstellens einer Anzahl von rohrförmigen Antiresonanzelement-Vorformlingen; des Anordnens der Antiresonanzelement-Vorformlinge an Soll-Positionen der Innenseite der Hüllrohr- Wandung unter Bildung einer primären Vorform, die einen hohlen Kernbereich und einen inneren Mantelbereich aufweist; des Elongieren der primären Vorform zu der Hohlkernfaser oder der Weiterverarbeitung der primären Vorform zu einer sekundären Vorform. Um hiervon ausgehend eine hohe Präzision und eine exakte Positionierung der Antiresonanzelemente in einer ausreichend stabilen und reproduzierbaren Weise zu erreichen, wird vorgeschlagen, dass beim Durchführen eines Prozesses gemäß Verfahrensschritt (c) Bestandteile der primären Vorform aus Quarzglas und/oder die primäre Vorform umgebende Bauteile aus Quarzglas gemeinsam erhitzt und erweicht werden, wobei das Quarzglas von mindestens einem der Vorform-Bestandteile und/oder das Quarzglas von mindestens einem der die Vorform umgebenden Bauteile mindestens einen Dotierstoff enthält, der die Viskosität von Quarzglas absenkt oder erhöht.