リソグラフィー用共重合体およびその製造方法、レジスト組成物、パターンが形成された基板の製造方法、共重合体の評価方法、共重合体組成解析方法
    2.
    发明申请
    リソグラフィー用共重合体およびその製造方法、レジスト組成物、パターンが形成された基板の製造方法、共重合体の評価方法、共重合体組成解析方法 审中-公开
    用于制备它的共聚物及其制备方法,耐蚀组合物,用于形成图案的基板的生产方法,用于评价共聚物的方法和分析共聚物组合物的方法

    公开(公告)号:WO2012053434A1

    公开(公告)日:2012-04-26

    申请号:PCT/JP2011/073623

    申请日:2011-10-14

    摘要:  目的変数分析部(11)で、共重合体の既知サンプルの組成における単量体単位の3連子分率を、単量体単位の共重合反応性比から算出して目的変数を得、波形処理部(12)で、NMR測定および信号等の処理を行い、説明変数分析部(13)で該既知サンプルのNMR測定における化学シフト量及び信号強度から説明変数を得、モデル生成部(14)で部分最小二乗回帰により目的変数と説明変数との回帰モデルの回帰式を求め、回帰モデルの係数を得、サンプル解析部(15)で前記回帰モデルを用い、未知サンプル共重合体のNMR測定における化学シフト量と信号強度とから、該未知サンプルにおける3連子分率を算出する方法で算出する。こうして得られる3連子分率の合計が、共重合体中20モル%以下であるリソグラフィー用共重合体を用いることにより、溶解性および感度に優れたレジスト組成物を調製できる。

    摘要翻译: 目标变量分析单元(11)根据单体单元的共聚反应率计算已知聚合物样品的组成中单体单元的三单元组分数,以获得目标变量。 波形处理单元(12)处理NMR测量,信号等。解释变量分析单元(13)从已知样本的NMR测量中的化学位移和信号强度的量中获得解释变量。 模型生成单元(14)通过偏最小二乘回归确定目标变量回归模型的回归方程和解释变量,得到回归模型系数。 样品分析单元(15)使用回归模型从未知共聚物样品的NMR测量中的化学位移和信号强度的量来计算未知共聚物样品的三单元组分数。 通过使用共聚物,其中在共聚物中以这种方式获得的三单元组分数的总和不超过20摩尔%,可以制造出具有优异的溶解度和灵敏度的抗蚀剂组合物。

    アセタール系化合物及びアセタール系高分子化合物
    4.
    发明申请
    アセタール系化合物及びアセタール系高分子化合物 审中-公开
    乙酰化合物和乙烯聚合物化合物

    公开(公告)号:WO2014077097A1

    公开(公告)日:2014-05-22

    申请号:PCT/JP2013/078729

    申请日:2013-10-23

    IPC分类号: C08F20/26 C07D493/08

    摘要:  下記一般式(1)で表され、又は下記一般式(2)で表される構造単位を有するアセタール系の化合物〔R 1 :水素原子、メチル基、R 2 ,R 3 :水素原子、アルキル基、アリール基(R 2 とR 3 は互いに連結して環を形成してもよい)〕である。植物資源に由来し、透明性、易分解性、及び比較的高いガラス転移温度を有し、分解に伴なう親疎水性変化及び水系溶液に対する溶解性変化を示すアセタール系高分子化合物(ポリマー)、並びにその単量体を提供する。

    摘要翻译: 该缩醛化合物具有由通式(1)表示或由通式(2)表示的结构单元[R1:氢原子或甲基; R2和R3:氢原子,烷基或芳基(R2和R3可以连接在一起形成环)]。 提供缩醛高分子化合物及其单体,所述缩醛高分子化合物来自植物资源,透明且易分解,玻璃化转变温度较高,亲水性与分解相关的疏水性变化,与 尊重水基解决方案。

    POLYMERS HAVING SPIRO ORTHOESTER GROUPS, PROCESS OF MANUFACTURING AND USING
    9.
    发明申请
    POLYMERS HAVING SPIRO ORTHOESTER GROUPS, PROCESS OF MANUFACTURING AND USING 审中-公开
    具有SPIRO ORTHOESTER组合的聚合物,制造和使用过程

    公开(公告)号:WO1994000501A1

    公开(公告)日:1994-01-06

    申请号:PCT/US1993005748

    申请日:1993-06-15

    IPC分类号: C08F24/00

    CPC分类号: C08F8/48 C08F120/28

    摘要: Process for the manufacture of polymers having repeating units comprising spiro orthoester groups of general formula (I), wherein A is C1-6-alkylene, C1-6-alkyleneoxycarbonyl or an oxygen-carbon bond, R1 is hydrogen or methyl, R2 is C1-6-alkyl or C1-6-alkyl substituted by C1-6-alkoxy or aryloxy, R3 and R4 independently are hydrogen or C1-6-alkyl, R5 is hydrogen or methyl, R6 is hydrogen, methyl, phenyl, carboxy, carboxy-C1-6-alkyl, carboxamido or cyano, n is an integer > 1 and m is 0 or an integer >= 1, with the proviso that the molecular weight of the polymer is between 500 and 1 000 000, the polymers obtained and their use specifically in dental filling materials.

    摘要翻译: 制备具有包括通式(I)的螺原酸酯基的重复单元的聚合物的方法,其中A为C 1-6 - 亚烷基,C 1-6 - 亚烷基氧基羰基或氧 - 碳键,R 1为氢或甲基,R 2为C 1 -6-烷基或被C 1-6 - 烷氧基或芳氧基取代的C 1-6 - 烷基,R 3和R 4独立地是氢或C 1-6 - 烷基,R 5是氢或甲基,R 6是氢,甲基,苯基,羧基,羧基 -C 1-6烷基,甲酰氨基或氰基,n为整数> 1,m为0或整数> = 1,条件是聚合物的分子量为500至1 000 000,所获得的聚合物和 它们专门用于牙科填充材料。

    PREPARATION METHOD OF POLYMERIC PHASE-CHANGE MATERIAL
    10.
    发明申请
    PREPARATION METHOD OF POLYMERIC PHASE-CHANGE MATERIAL 审中-公开
    聚合物相变材料的制备方法

    公开(公告)号:WO2014006464A1

    公开(公告)日:2014-01-09

    申请号:PCT/IB2013/000445

    申请日:2013-03-21

    摘要: The invention relates to a preparation method of a polymeric phase-change material, compring: using 1, 2 or 3 of (meth)acrylate poly(ethylene glycol) n-alkyl ether ester as a raw material, wherein the (meth)acrylate poly(ethylene glycol) n-alkyl ether ester has a structural general formula of CH 2 =C(CH 3 )-COO(CH 2 CH 2 O) m C n H 2n+1 or CH 2 =CH-COO(CH 2 CH 2 O) m C n H 2n+1 , m=1 to 100, and n=10 to 50; washing the raw material with a solution of sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate or potassium carbonate having a mass percentage of 1% to 10% to remove a polymerization inhibitor, and subjecting reduced-pressure distillation, and then to a polymerization reaction by adopting one of the following process; 1. polymerization reaction initiated by irradiation; 2. polymerization reaction initiated by an initiator; 3. polymerization reaction in a solvent; after the polymerization reaction is completed, adding a precipitating agent to precipitate the polymeric phase-change material from the solution, and then washing with deionized water and dried, to obtain a polymeric phase-change material as a powder to block.

    摘要翻译: 本发明涉及聚合物相变材料的制备方法,其包括:使用1,2或3种(甲基)丙烯酸酯聚(乙二醇)正烷基醚酯作为原料,其中(甲基)丙烯酸酯聚 (乙二醇)正烷基醚酯具有CH 2 = C(CH 3)-COO(CH 2 CH 2 O)m C n H 2n + 1或CH 2 = CH-COO(CH 2 CH 2 O)m C n H 2n + 1,m = 1〜100的结构通式,n = 10〜50; 用质量百分比为1%至10%的氢氧化钠,氢氧化钾,碳酸钠或碳酸钾的溶液洗涤原料以除去阻聚剂,进行减压蒸馏,然后通过采用聚合反应 以下过程之一; 1.通过照射引发聚合反应; 2.由引发剂引发的聚合反应; 3.在溶剂中进行聚合反应; 聚合反应完成后,加入沉淀剂从溶液中沉淀聚合物相变材料,然后用去离子水洗涤并干燥,得到聚合物相变材料,以粉末形式封闭。