公开(公告)号：WO2018060120A1

公开(公告)日：2018-04-05

申请号：PCT/EP2017/074187

申请日：2017-09-25

申请人： THE QUEEN'S UNIVERSITY OF BELFAST

发明人： GREENWOOD, Jason

IPC分类号： G01N23/227

CPC分类号： G01N23/227

摘要： A method of detecting molecular chirality using photoelectron circular dichroism (PECD). A target sample is located in an evacuated interaction zone. A magnetic field is directed parallel with a propagation axis that extends through said interaction zone. Molecules of the target sample are ionized by a laser configured to generate circularly polarised ionizing laser light along the propagation axis. A respective particle detector is located forwardly and backwardly with respect to the interaction zone and detects, respectively, photoelectrons that travel forwardly and backwardly from the ionized molecules. The chirality of the molecules is determined depending on the relative number of photoelectrons detected respectively by the forward and backward detectors.

摘要翻译： 使用光电子圆二色性（PECD）检测分子手性的方法。 目标样本位于撤离的交互区域。 磁场与延伸通过所述相互作用区域的传播轴线平行地被引导。 目标样本的分子被配置成沿传播轴生成圆偏振电离激光的激光器电离。 各自的粒子检测器相对于相互作用区域向前和向后定位，并分别检测从电离分子向前和向后行进的光电子。 分子的手征性取决于分别由前向和后向检测器检测到的光电子的相对数量。

公开(公告)号：WO2017159867A1

公开(公告)日：2017-09-21

申请号：PCT/JP2017/011000

申请日：2017-03-17

申请人： 三菱マテリアル電子化成株式会社

发明人： 日向野　怜子 ,  山▲崎▼　和彦 ,  ▲高▼野　大輔 ,  本田　常俊 ,  神谷　武志 ,  魚谷　正和 ,  藤田　将人

IPC分类号： B32B27/00 ,  B05D7/24 ,  C09D5/16 ,  C09D201/02 ,  G01N13/02 ,  G01N23/225 ,  G01N23/227 ,  G01N27/62 ,  C08J7/04

CPC分类号： B05D7/24 ,  B32B27/00 ,  C08J7/04 ,  C09D5/16 ,  C09D201/02 ,  G01N13/02 ,  G01N23/225 ,  G01N23/227 ,  G01N27/62

摘要： 本発明の被膜は、基材の表面の少なくとも一部を被覆する被膜であって、当該被膜の表面を飛行時間型二次イオン質量分析法（ＴＯＦ－ＳＩＭＳ）によって分析した際に、８３～９５２の範囲の質量スペクトルが１以上検出されるとともに、当該被膜の表面をＸ線光電子分光分析法（ＸＰＳ）によって分析した際に、窒素（Ｎ）原子が１．０原子％以上含まれる。

摘要翻译： 涂料

本发明通过涉及涂料，至少覆盖所述衬底的所述表面的一部分，时间飞行二次离子质谱法，涂层的表面（TOF-SIMS） 分析时，连同在83〜952的范围内的质谱检测的一个或多个，由（XPS）分析该膜的X射线光电子能谱的表面时，氮（N）原子为1.0 至少包含原子百分比。

公开(公告)号：WO2002069363A2

公开(公告)日：2002-09-06

申请号：PCT/US2002/005703

申请日：2002-02-25

申请人： FEI COMPANY ,  KLYACHKO, Dimitri ,  BORODYANSKY, Sergey ,  VASILYEV, Leonid

发明人： KLYACHKO, Dimitri ,  BORODYANSKY, Sergey ,  VASILYEV, Leonid

IPC分类号： H01J

CPC分类号： G01N23/227

摘要： An electron analyzer and its method of operation useful for determining the intensity of a peak in the electron spectrum. The invention is particularly useful for determining the intensity of an Auger peak of a given element in the sample being probed and associating the intensity with a concentration of that element in the sample. The electron spectrum is measured above and below the anticipated peak. The data near the peak are not used. The remaining data above the peak and below the peak are fit to respective equations linearly dependent upon the measurement energy. The difference of the two equations at the value of the peak energy is associated with the peak intensity and the elemental concentration. The invention can be applied to measuring nitrogen concentration in a thin protective film of amorphous carbon or diamond.

摘要翻译： 电子分析仪及其操作方法可用于确定电子光谱中峰的强度。 本发明特别可用于确定正在探测的样品中给定元素的俄歇峰的强度，并将强度与样品中该元素的浓度相关联。 在预期峰值之上和之下测量电子光谱。 峰值附近的数据不被使用。 高于峰值和低于峰值的剩余数据适合线性依赖于测量能量的各个方程。 峰值能量值下的两个方程的差异与峰强度和元素浓度有关。 本发明可用于测量无定形碳或金刚石的薄保护膜中的氮浓度。

公开(公告)号：WO98036268A1

公开(公告)日：1998-08-20

申请号：PCT/GB1998/000348

申请日：1998-02-03

IPC分类号： G01N23/227 ,  H01J37/244 ,  H01J47/06

CPC分类号： G01N23/227 ,  H01J47/062

摘要： A charged particle analyser comprising a source of charged particles and a charged particle detector spaced from the source and immersed with the source in an ionisable gas. The detector comprises at least one pair of electrodes which are spaced apart by a distance that is substantially less than the spacing between the source and detector. The electrodes of the pair are maintained at different potentials selected such that charged particles emitted by the source are attracted towards the detector and such that charged particles adjacent the detector are accelerated to energies sufficient to ionise the gas. The charge collected at the detector is proportional to the number of charged particles emitted by the source.

摘要翻译： 一种带电粒子分析仪，其包括带电粒子源和与源极间隔开并与该源在可离子化气体中浸没的带电粒子检测器。 检测器包括至少一对电极，隔开一段距离，该距离基本上小于源和检测器之间的距离。 该对的电极被保持在不同的电位，使得由源发射的带电粒子被吸引到检测器，并且使得与检测器相邻的带电粒子被加速到足以离子化气体的能量。 在检测器处收集的电荷与源发射的带电粒子的数量成比例。

公开(公告)号：WO2007083859A1

公开(公告)日：2007-07-26

申请号：PCT/KR2006/000662

申请日：2006-02-24

申请人： HAHN, Chang Hie ,  KIM, Il Gon ,  PARK, Seongtae ,  YU, Jaehoon

发明人： HAHN, Chang Hie ,  KIM, Il Gon ,  PARK, Seongtae ,  YU, Jaehoon

IPC分类号： G01N23/04

CPC分类号： G01N23/227 ,  G01T1/2935

摘要： An array gas electron multiplier (GEM) digital imaging radiation detector and a control method thereof are disclosed. The array gas electron multiplier (GEM) digital imaging radiation detector includes an array GEM detector. The array GEM detector includes: an ionized electron generation unit for generating ionized electrons in internal filling gas by incident X-rays or gamma rays or by incident charged particles; a gas electron multiplication unit for multiplying the ionized electrons of the ionized electron generation unit in filling gas inside hole of a gas electron multiplier (GEM), through electron avalanche effect, using the GEM, to form electron clouds; a readout for detecting and outputting coordinates of the electron clouds as the readout receives positions through electrical signals, in which the positions of the electron clouds, being multiplied and formed in the gas electron multiplication unit, reach output electrodes.

摘要翻译： 公开了阵列气体电子倍增器（GEM）数字成像放射线检测器及其控制方法。 阵列气体电子倍增器（GEM）数字成像辐射检测器包括阵列GEM检测器。 阵列GEM检测器包括：离子化电子产生单元，用于通过入射的X射线或γ射线或入射的带电粒子在内部填充气体中产生离子化的电子; 气体电子倍增单元，用于通过使用GEM的电子雪崩效应将电离电子发生单元的电离电子乘以气体电子倍增器（GEM）的孔内，形成电子云; 读出装置，用于当读出器通过电信号接收位置时，检测并输出电子云的坐标，其中在气体电子倍增单元中倍增并形成的电子云的位置到达输出电极。

公开(公告)号：WO2004061388A2

公开(公告)日：2004-07-22

申请号：PCT/US2003/041372

申请日：2003-12-23

申请人： PHYSICAL ELECTRONICS, INC. ,  LARSON, Paul, E. ,  WATSON, David, G. ,  MOULDER, John, F.

发明人： LARSON, Paul, E. ,  WATSON, David, G. ,  MOULDER, John, F.

IPC分类号： G01B11/06

CPC分类号： G01B11/06 ,  G01B15/02 ,  G01N23/227

摘要： The present invention provides for characterization of a film (e.g., thickness determination for a silicon oxynitride film) using a comparison process (e.g., a fitting process) to compare measured peak shapes for elemental and/or chemical species (e.g., Si peak shapes previously measured for a particular process to be monitored) to collected spectral data (e.g., using a non-linear least squares fitting algorithm). Further, the present invention provides for characterization of a film (e.g., thickness determination for a silicon oxynitride film) using collected spectral data. For example, an acquired spectrum may be cumulatively integrated and the geometric properties of the integrated spectrum may be used to determine component concentration information. Thickness measurements for the film may be provided based on the component concentration information.

摘要翻译： 本发明提供了使用比较过程（例如，拟合过程）来比较元素和/或化学物质的测量峰形状（例如，先前的Si峰形状）的膜的表征（例如，氮氧化硅膜的厚度测定） 测量要监视的特定过程）到收集的光谱数据（例如，使用非线性最小二乘拟合算法）。 此外，本发明提供使用收集的光谱数据表征膜（例如，氮氧化硅膜的厚度测定）。 例如，可以累积地收集获取的光谱，并且可以使用积分光谱的几何特性来确定分量浓度信息。 可以基于组分浓度信息提供膜的厚度测量。

公开(公告)号：WO02069363A3

公开(公告)日：2002-10-24

申请号：PCT/US0205703

申请日：2002-02-25

申请人： FEI CO ,  KLYACHKO DIMITRI ,  BORODYANSKY SERGEY ,  VASILYEV LEONID

发明人： KLYACHKO DIMITRI ,  BORODYANSKY SERGEY ,  VASILYEV LEONID

IPC分类号： G01N23/227 ,  G01Q30/04 ,  H01J49/44

CPC分类号： G01N23/227

摘要： An electron analyzer and its method of operation useful for determining the intensity of a peak in the electron spectrum. The invention is particularly useful for determining the intensity of an Auger peak of a given element in the sample being probed and associating the intensity with a concentration of that element in the sample. The electron spectrum is measured above and below the anticipated peak. The data near the peak are not used. The remaining data above the peak and below the peak are fit to respective equations linearly dependent upon the measurement energy. The difference of the two equations at the value of the peak energy is associated with the peak intensity and the elemental concentration. The invention can be applied to measuring nitrogen concentration in a thin protective film of amorphous carbon or diamond.

摘要翻译： 一种电子分析仪及其操作方法，用于确定电子光谱中峰的强度。 本发明对确定待探测样品中给定元素的俄歇峰的强度以及将强度与样品中该元素的浓度相关联特别有用。 电子光谱是在预期峰值以上和以下测量的。 峰值附近的数据未被使用。 峰值以上和峰值以下的剩余数据根据测量能量线性地拟合至相应的方程。 两个方程式在峰值能量值上的差异与峰值强度和元素浓度有关。 本发明可以应用于测量无定形碳或金刚石薄保护膜中的氮浓度。

公开(公告)号：WO02001596A1

公开(公告)日：2002-01-03

申请号：PCT/JP2001/005495

申请日：2001-06-27

IPC分类号： G01N23/225 ,  H01J37/06 ,  H01J37/073 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/22 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J37/29 ,  G01B15/00 ,  H01L21/66

CPC分类号： H01J29/70 ,  G01N23/225 ,  G01N23/2251 ,  G01N23/227 ,  H01J37/06 ,  H01J37/073 ,  H01J37/141 ,  H01J37/185 ,  H01J37/20 ,  H01J37/222 ,  H01J37/244 ,  H01J37/266 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/082 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/20228 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/22 ,  H01J2237/24564 ,  H01J2237/2806 ,  H01J2237/2816 ,  H01J2237/2817 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/67213

摘要： An electron beam inspection apparatus comprising an electrooptical unit (70) comprising an electrooptical system for irradiating an object with a primary electron beam from an electron source and projecting the image of secondary electrons emitted from the object and a detector for detecting the image of secondary electrons projected from the electrooptical system, a stage unit (50) for moving the object relatively to the electrooptical system while holding it a mini-environment unit (20) for blocking adhesion of dust to the object by supplying cleaning gas thereto, a working chamber (31) containing the stage unit and controllable to vacuum atmosphere, at least two loading chambers (41, 42) disposed between the mini-environment unit and the working chamber and controllable independently to vacuum atmosphere, and a loader (60) for feeding the object to the stage unit through the loading chambers.

摘要翻译： 一种电子束检查装置，包括电光单元（70），电光单元（70）包括用于从电子源用一次电子束照射物体的电光学系统，并且投射从物体发射的二次电子的图像和用于检测二次电子的图像的检测器 从电光系统投影的台单元（50），用于相对于电光学系统移动物体，同时保持微型环境单元（20），用于通过向其提供清洁气体来阻止灰尘附着到物体上;微型环境单元（20），工作室 31），其容纳所述台架单元并且可控制到真空气氛，至少两个设置在所述微型环境单元和所述工作室之间并且可独立于真空气氛控制的装载室（41,42），以及用于供给所述物体的装载机（60） 通过装载室到舞台装置。

公开(公告)号：WO2017212944A1

公开(公告)日：2017-12-14

申请号：PCT/JP2017/019652

申请日：2017-05-26

申请人： 本田技研工業株式会社 ,  三井金属鉱業株式会社

发明人： 堀村　弘幸 ,  植野　弘嗣 ,  鈴木　駿平 ,  守屋　利春 ,  岩品　克哉 ,  中原　祐之輔

IPC分类号： B01J23/83 ,  B01D53/94 ,  F01N3/10 ,  F01N3/24 ,  G01N23/227

CPC分类号： B01D53/94 ,  B01J23/83 ,  F01N3/10 ,  F01N3/24 ,  G01N23/227 ,  Y02T10/22

摘要： アルミナ粒子の表面にＣｕ元素が存在してなる構成を備えた排気ガス浄化触媒に関し、優れた触媒活性を発揮し、三元触媒として有効に使用することができる、新たな排気ガス浄化触媒を提供せんとする。　アルミナ粒子の表面にＣｕ元素が存在してなる構成を備えた排気ガス浄化触媒であって、Ｘ線光電子分光法（XPS：X-ray　Photoelectron　Spectroscopy）で測定される、Ｃｕ２ｐ及びＡｌ２ｐの各ピーク面積の合計面積を１００％としたとき、Ｃｕ２ｐのピーク面積の割合が７～２８％であることを特徴とする排気ガス浄化触媒を提案する。

摘要翻译： 涉及一种具有排气净化用催化剂

配置的Cu氧化铝颗粒的表面上的元件存在时，也能够显示出优异的催化活性，有效地用作三元催化剂， 提供新的废气净化催化剂。 具有氧化铝颗粒的表面上的结构的Cu元素A废气净化催化剂存在时，X射线光电子能谱法：在（XPS X-射线光电子能谱），Cu2p和Al2p的峰面积测量 其中当废气净化催化剂的总面积为100％时，Cu 2 P的峰面积比率为7至28％。

公开(公告)号：WO2016052972A1

公开(公告)日：2016-04-07

申请号：PCT/KR2015/010273

申请日：2015-09-30

申请人： 주식회사 레이언스 ,  (주)바텍이우홀딩스

发明人： 이동진 ,  김태우 ,  전유성

IPC分类号： G01T1/24 ,  G01N23/227 ,  H01L27/14

CPC分类号： G01T1/241 ,  G01N23/227 ,  G01N2223/084 ,  G01N2223/50 ,  G01T1/24 ,  H01L27/14 ,  H01L31/02019 ,  H01L31/115

摘要： 본 발명은 기판 상에 형성된 제1전극과; 상기 제1전극 상에 형성된 광도전층과; 상기 광도전층 상에 형성되며, 바이어스 전압을 인가 받아 전압 인가 상태를 갖거나 플로팅(floating) 상태를 갖는 제2전극과; 상기 바이어스 전압의 출력을 온/오프하도록 구성된 전원회로를 포함하는 X선 디텍터를 제공한다.

摘要翻译： 本发明提供一种X射线检测器，包括：形成在基板上的第一电极; 形成在所述第一电极上的光电导层; 第二电极，其形成在光电导层上并具有施加到其上的偏置电压以具有施加电压的状态或浮置状态; 以及电源电路，被配置为打开/关闭偏置电压的输出。