公开(公告)号：WO2019037019A1

公开(公告)日：2019-02-28

申请号：PCT/CN2017/098802

申请日：2017-08-24

申请人： 深圳市华显光学仪器有限公司

发明人： 陈强

IPC分类号： G02B21/36

CPC分类号： G02B21/0016 ,  G02B21/365

摘要： 一种自动坐标显微镜，主要技术方案为：显微镜支撑座（10）；相机移动机构（20），设置在显微镜支撑座（10）上，其包括具有3D旋转镜头（201）的工业相机（202），与工业相机（202）连接并使工业相机（202）上下移动的Z轴向移动机构（203）和与Z轴向移动机构（203）连接并使Z轴向移动机构（203）和工业相机（202）在水平方向上左右移动的X轴向移动机构（204）；工作平台移动机构（30），设置在显微镜支撑座（10）上并位于3D旋转镜头（201）的下方，其包括工作平台（301），与工作平台（301）连接并使工作平台（301）旋转的R轴向转动机构（302）和与R轴向转动机构（302）连接并使工作平台（301）和R轴向转动机构（302）在水平方向上前后移动的Y轴向移动机构（303）；触控一体机（40），与工业相机（202）连接，其包括第一设置单元（401）；运动轨迹运算单元（402）；运动轨迹构建单元（403）；记录存储单元（404）；控制单元（405）。

公开(公告)号：WO2018031560A1

公开(公告)日：2018-02-15

申请号：PCT/US2017/045929

申请日：2017-08-08

申请人： KLA-TENCOR CORPORATION

发明人： XU, James Jianguo ,  SOETARMAN, Ronny

IPC分类号： G02B21/00 ,  G02B21/36 ,  G01N21/95 ,  G06T7/00

CPC分类号： G02B21/0028 ,  G02B21/0016 ,  G02B21/008 ,  G02B21/367 ,  G06T7/0004 ,  G06T7/571 ,  G06T2207/10016 ,  G06T2207/10056 ,  G06T2207/10148 ,  G06T2207/30148

摘要： A method of generating 3D information of a sample using an optical microscope includes: varying the distance between the sample and an objective lens of the optical microscope at predetermined steps, capturing an image at each predetermined step. In one example, the method further includes: determining a characteristic of each pixel in each captured image; determining, for each captured image, the greatest characteristic across all pixels in the captured image; and comparing the greatest characteristic for each captured image to determine if a surface of the sample is present at each step. In another example, the method further includes: determining a characteristic of each pixel in each captured image; determining, for each captured image, a count of pixels that have a characteristic value within a first range; and determining if a surface of the sample is present at each step based on the count of pixels for each captured image.

摘要翻译： 使用光学显微镜产生样品的3D信息的方法包括：以预定步骤改变样品与光学显微镜的物镜之间的距离，在每个预定步骤捕获图像。 在一个示例中，该方法还包括：确定每个捕获图像中的每个像素的特性; 针对每个捕获的图像确定捕获的图像中的所有像素上的最大特性; 并比较每个捕获图像的最大特征以确定样本的表面是否存在于每个步骤。 在另一个示例中，该方法还包括：确定每个捕获的图像中的每个像素的特性; 针对每个捕获的图像确定具有在第一范围内的特征值的像素的计数; 并根据每个捕捉图像的像素数来确定每个步骤中是否存在样本的表面。

公开(公告)号：WO2018005431A1

公开(公告)日：2018-01-04

申请号：PCT/US2017/039411

申请日：2017-06-27

申请人： THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA

发明人： LI, Wan ,  MOON, Seonah ,  WOJCIK, Michal ,  XU, Ke

IPC分类号： B82Y40/00 ,  B82Y30/00 ,  G01N13/00 ,  G01N21/00 ,  G01N33/00 ,  G02B21/00

CPC分类号： G01N21/892 ,  B82Y30/00 ,  B82Y35/00 ,  B82Y40/00 ,  G01N13/00 ,  G01N21/45 ,  G01N21/8422 ,  G01N33/00 ,  G01N2021/8427 ,  G01N2033/0096 ,  G02B21/0016 ,  G02B21/0088 ,  G02B21/32

摘要： The disclosure provides methods for the direct optical visualization of graphene and its nanoscale defects on transparent substrates.

摘要翻译： 本披露提供了用于在透明衬底上直接光学显示石墨烯及其纳米尺度缺陷的方法。

公开(公告)号：WO2017221334A1

公开(公告)日：2017-12-28

申请号：PCT/JP2016/068441

申请日：2016-06-21

申请人： オリンパス株式会社

发明人： 宮崎　敢人

IPC分类号： G02B21/02 ,  G02B13/00 ,  G02B21/00

CPC分类号： G02B21/361 ,  G02B13/0095 ,  G02B13/22 ,  G02B21/0016 ,  G02B21/02 ,  G02B27/0075

摘要： 入射瞳から像面までの距離を短縮して、顕微鏡全体をコンパクトに構成することを目的として、本発明に係る顕微鏡用結像光学系（４）は、物体側に入射瞳を有し、物体側から順に、正の屈折力を有し、少なくとも１つの両凸レンズ（Ｌ３）と、少なくとも１つの物体側に凹面を向けた負レンズ（Ｌ３）とを含む第１レンズ群（７）と、負の屈折力を有し、少なくとも１つの物体側に凹面を向けた負レンズ（Ｌ５）を含む第２レンズ群（８）と、正の屈折力を有し、少なくとも１つのメニスカスレンズ（Ｌ６）と、像側に凸面を向けた正レンズ（Ｌ７）とを含む第３レンズ群（９）とからなり、ｄｐ１を第１レンズ群（７）の最も物体側のレンズと入射瞳との間隔、ｆを顕微鏡用結像光学系（４）の焦点距離、ＴＴを入射瞳から顕微鏡用結像光学系（４）の形成する物体像面までの距離として、条件式０．０５＜ｄｐ１／ｆ＜０．１５および０．５＜ＴＴ／ｆ＜０．９を満足する。

摘要翻译： 通过从

入射光瞳的距离缩短到图像平面中，对于构成整个显微镜紧凑，显微镜根据本发明（4）中，物体侧的成像光学系统的目的 它对入射光瞳，从物体侧依次包括具有正屈光力，所述第一包含至少一个双凸透镜（L3），和具有在对象侧具有凹面的至少一个负透镜（L3） 第二透镜组（8）包括透镜组（7），具有负屈光力并且具有面向至少一个物侧的凹面的负透镜（L5），第二透镜组 单个弯月透镜（L6），由正透镜（L7）和包括一个具有朝向像侧的凸表面的第三透镜组变成（9）中，DP1第一透镜组的最物体侧透镜（7） 入射光瞳f是显微镜成像光学系统（4）的焦距，从入瞳看TT 至于对象像面的距离，以形成用于所述成像光学系统（4）的反射镜，从而满足表达式0.05

公开(公告)号：WO2017132678A1

公开(公告)日：2017-08-03

申请号：PCT/US2017/015654

申请日：2017-01-30

申请人： CZOPP, Nir ,  HOROWITZ, Ilan Yehezkel

发明人： CZOPP, Nir ,  HOROWITZ, Ilan Yehezkel

IPC分类号： G02B21/06 ,  G02B7/02 ,  G02B7/04 ,  G02B7/20

CPC分类号： G02B21/084 ,  G01N21/87 ,  G02B7/021 ,  G02B7/026 ,  G02B21/0008 ,  G02B21/0016 ,  G02B21/362 ,  G06T7/70

摘要： A lens and light assembly for photographing diamonds and jewelry. The lens and light assembly comprising a housing; a first lens; a second lens; a lighting source; a light filter; and a clip. The lighting source, the first lens, and the second lens are connected to a microcontroller. The microcontroller is configured to receive commands from a mobile device that in turn controls the lighting source, the first lens, and the second lens.

摘要翻译：

用于拍摄钻石和珠宝的镜头和照明组件。 该透镜和灯组件包括壳体; 第一透镜; 第二透镜; 照明源; 一个滤光器; 和一个剪辑。 照明源，第一透镜和第二透镜连接到微控制器。 微控制器被配置为接收来自移动设备的命令，该移动设备进而控制光源，第一镜头和第二镜头。

公开(公告)号：WO2017098079A1

公开(公告)日：2017-06-15

申请号：PCT/FI2015/050876

申请日：2015-12-11

申请人： UNIVERSITY OF HELSINKI

发明人： KASSAMAKOV, Ivan ,  HAEGGSTRÖM, Edward

IPC分类号： G01B9/02 ,  G02B21/00 ,  G02B27/58

CPC分类号： G01B9/0209 ,  G01B9/02035 ,  G02B21/0016 ,  G02B21/0056 ,  G02B27/58

摘要： An object of the invention is an arrangement for determining four-dimensional properties of an interface (100) of an object, the arrangement comprising a light source (102). The arrangement comprises means (104) for forming photonic jets to be utilized in imaging of the interface (100), means (105a,b) for performing large field of view interferometric imaging of the interface (100) and their (104, 106) combination, means (108) for passing said light being close to the interface (100) and direct the light to the interface, and said means (108) create an image. The arrangement comprises means (106) for performing phase shifting interferometric imaging of the interface (100), imaging means (110) for receiving light from the interface (100) modulated by e.g. microspheres (108) for forming super-resolution image information by combining light interferometry with the photonic jets, and a processor unit (112) for determining four-dimensional properties of the interface (100) on the basis of the image information formed by said phase shifting interferometric imaging by utilizing effect of the photonic jets. The arrangement also can also comprise means to carry out the measurement using polarized light.

摘要翻译： 本发明的目的是一种用于确定物体的界面（100）的四维特性的装置，该装置包括光源（102）。 该装置包括用于形成用于成像界面（100）的光子射流的装置（104），用于执行界面（100）及其（104,106）的大视场干涉成像的装置（105a，b） 组合装置，用于使所述光线靠近界面（100）并将光线引导至界面的装置（108），并且所述装置（108）产生图像。 该装置包括用于执行接口（100）的相移干涉成像的装置（106），用于从接口（100）调制的用于接收光的成像装置（110）。 用于通过将光干涉与光子射流组合来形成超分辨率图像信息的微球体（108）以及用于基于由所述相形成的图像信息确定界面（100）的四维特性的处理器单元（112） 利用光子射流的效应移动干涉成像。 该装置还可以包括用偏振光进行测量的装置。

公开(公告)号：WO2016177568A1

公开(公告)日：2016-11-10

申请号：PCT/EP2016/058640

申请日：2016-04-19

申请人： ASML NETHERLANDS B.V.

发明人： ZIJP, Ferry ,  AKBULUT, Duygu ,  VAN VOORST, Peter, Danny ,  VAN DE WIJDEVEN, Jeroen, Johan, Maarten ,  VAN BERKEL, Koos

IPC分类号： G03F7/20 ,  G01N21/956 ,  G02B21/00

CPC分类号： G03F7/70591 ,  G01B11/14 ,  G01N21/956 ,  G02B5/3025 ,  G02B21/0016 ,  G02B21/33 ,  G03F7/70625 ,  G03F7/70633

摘要： A method involving providing incident radiation of a first polarization state by an optical component into an interface of an object with an external environment, wherein a surface is provided adjacent the interface and separated by a gap from the interface, detecting, from incident radiation reflected from the interface and from the surface, radiation of a second different polarization state arising from the reflection of incident radiation of the first polarization at the interface as distinct from the radiation of the first polarization state in the reflected radiation, and producing a position signal representative of a relative position between the focus of the optical component and the object.

摘要翻译： 一种将由光学部件提供的第一偏振状态的入射辐射提供到物体与外部环境的界面的方法，其中，在界面附近设置一个表面，并与该界面间隔开一个间隙， 界面和表面上由与反射辐射中的第一偏振状态的辐射不同的在界面处的第一偏振的入射辐射的反射而产生的第二不同极化状态的辐射，并且产生表示 光学部件的焦点与物体之间的相对位置。

公开(公告)号：WO2016135166A2

公开(公告)日：2016-09-01

申请号：PCT/EP2016/053809

申请日：2016-02-24

申请人： ASML NETHERLANDS B.V.

发明人： VAN BERKEL, Koos ,  AKBULUT, Duygu ,  VAN DE WIJDEVEN, Jeroen, Johan, Maarten ,  ZIJP, Ferry

IPC分类号： G03F7/20 ,  G02B21/00 ,  G01N21/956

CPC分类号： G03F7/70775 ,  G01N21/956 ,  G02B21/0016 ,  G03F7/70625 ,  G03F7/70633 ,  G03F9/7019

摘要： A method and apparatus for position control of a component relative to a surface is disclosed. The method may include calculating an estimated effect of, or derived from, Casimir force acting between the component and the surface, and compensating positioning of the component relative to the surface using the estimated effect.

摘要翻译： 公开了一种用于部件相对于表面的位置控制的方法和设备。 该方法可以包括计算作用于部件和表面之间的卡西米尔力的估计效果或者从其导出的卡西米尔力的估计效果，以及使用所估计的效果补偿部件相对于表面的定位。

公开(公告)号：WO2015198781A1

公开(公告)日：2015-12-30

申请号：PCT/JP2015/065318

申请日：2015-05-27

申请人： 株式会社日立ハイテクノロジーズ

发明人： 大谷　祐子 ,  浦野　雄太 ,  本田　敏文

IPC分类号： G01N21/956 ,  G01B11/30 ,  G01N21/84 ,  H01L21/66

CPC分类号： G01N21/8806 ,  G01B11/0608 ,  G01B11/2513 ,  G01B11/2527 ,  G01B11/30 ,  G01B15/08 ,  G01B21/00 ,  G01B2210/56 ,  G01N21/84 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G01N23/2251 ,  G01N2021/8825 ,  G01N2201/068 ,  G01N2223/33 ,  G01N2223/418 ,  G01N2223/6116 ,  G01N2223/646 ,  G02B21/0016 ,  G02B21/10 ,  G02B21/26 ,  G02B27/0933 ,  G02B27/58 ,  G03F7/7065

摘要： 半導体デバイスの製造工程において半導体ウェハ上に発生した欠陥等を高速かつ高分解能に検出できるようにするために、他の検査装置で検出した試料上の欠陥の位置情報を用いて欠陥を光学的に検出し、この検出した欠陥の位置情報を修正し、この修正した位置情報を用いて欠陥を走査型電子顕微鏡で観察する欠陥観察方法において、他の検査装置で検出した試料上の欠陥の位置情報を用いて欠陥を光学的に検出することが、欠陥を含む試料の表面に複数の照明光を一方向に位相変調させる共に一方向とは異なる方向に順次微動させて試料の表面に照射することにより試料を２次元方向に周期的に強度変化を持つ照明強度パターンで照明し、この２次元方向に周期的に強度変化を持つ照明強度パターンで照明された他の検査装置で検出した欠陥を含む試料の表面を撮像し、試料の表面を撮像して得た画像から他の検査装置で検出した欠陥を検出するようにした。

摘要翻译： 一种缺陷观察方法，用于通过以下方式实现在半导体器件制造过程中在半导体晶片上形成的缺陷的快速，高分辨率检测：通过使用位置的另一个检查装置光学检测样品上检测到的缺陷 对缺陷的信息，校正检测到的缺陷的位置信息，并使用校正的位置信息来使用扫描型电子显微镜来观察缺陷。 光学检测利用其他检查装置检测到的缺陷，使用缺陷的位置信息：通过将多个照明光束照射到第二维上照射具有二维周期性强度变化的照明强度图案的包含缺陷的样品 表面，同时沿着单个方向对光束进行相位调制，并且以不同于单个方向的方向以小的运动连续移动光束，对由具有周期性强度变化的照明强度图案照射的样品的表面进行成像 并且包括由其他检查装置检测到的缺陷，并且通过对样品表面的成像获得的图像检测由其他检查装置检测到的缺陷。

公开(公告)号：WO2015171739A1

公开(公告)日：2015-11-12

申请号：PCT/US2015/029436

申请日：2015-05-06

申请人： VISICON TECHNOLOGIES, INC.

发明人： FREIFELD, Daniel ,  BURNETT, John ,  NGO, Minh, Chau

IPC分类号： G01B11/30 ,  G01N21/01 ,  G01N21/952

CPC分类号： G02B21/26 ,  G02B21/0016 ,  G02B21/362 ,  G02B21/367 ,  H04N5/2256

摘要： An inspection system that is effective to collect images of a part (7) under inspection. This inspection system includes (a) a three axis linear motion stage (10); (b) a rotary fourth axis stage (11) configured to hold and rotate an object (7) to be inspected. This rotary fourth axis stage (11) is mounted on the three axis linear stage (10); (c) a fifth axis camera (1) and optical system (4) mounted to one of the axes of the three axis linear motion stage (10). This fifth axis camera (1) has an optical axis substantially parallel to the axis of linear motion; (d) a 45 degree mirror (6) configured to bend the optical axis of the fifth axis camera (1) by 90° to point towards the object (7); and (e) a motor (3) configured to rotate the mirror (6) over a range of angles to obtain a fifth axis of viewing orientation.

摘要翻译： 一种有效收集被检查部件（7）的图像的检查系统。 该检查系统包括（a）三轴线性运动台（10）; （b）构造成保持和旋转要检查的物体（7）的旋转第四轴台（11）。 该旋转第四轴台（11）安装在三轴线性平台（10）上; （c）安装在三轴线性运动台（10）的一个轴上的第五轴相机（1）和光学系统（4）。 该第五轴相机（1）具有基本上平行于线性运动的轴线的光轴; （d）被配置为使所述第五轴相机（1）的光轴弯曲90°以指向所述物体（7）的45度镜（6）; 和（e）构造成使镜子（6）在角度范围内旋转以获得第五观察方位轴的马达（3）。