公开(公告)号：WO2014054776A1

公开(公告)日：2014-04-10

申请号：PCT/JP2013/077059

申请日：2013-10-04

Applicant: 公立大学法人兵庫県立大学

Inventor： 佐藤　邦弘

IPC: G02B21/06 ,  G03H1/04

CPC classification number: G03H1/0005 ,  G02B21/06 ,  G02B21/365 ,  G03H1/0443 ,  G03H1/0866 ,  G03H2001/005 ,  G03H2001/0445 ,  G03H2001/0447 ,  G03H2001/0456 ,  G03H2001/0825 ,  G03H2001/0883 ,  G03H2001/266 ,  G03H2222/13 ,  G03H2222/42 ,  G03H2222/52 ,  G03H2226/02

Abstract: 　ホログラフィック断層顕微鏡、ホログラフィック断層画像生成方法、およびホログラフィック断層画像用のデータ取得方法において、断層画像を正確かつ高速に生成可能とする。本方法は、データ取得工程（Ｓ１）と、断層画像生成工程（Ｓ２乃至Ｓ７）とを備える。データ取得工程では、照明光Ｑ、オフアクシス球面波参照光Ｒ、インライン球面波参照光Ｌの波長を変えて各波長λ ｊ の光毎に物体光Ｏ等のホログラムＩ ｊ ＯＲ ，Ｉ ｊ ＱＲ ，Ｉ ｊ ＬＲ を取得する。断層画像生成工程では、これらのホログラムから、再生面ｚ＝ｚ Ｐ における物体光Ｏ ｊ の再生光波ｈ ｊ と照明光Ｑ ｊ の再生光波ｃ ｊ とを求める。位相を調整した再生光波ｈ ｊ ／（ｃ ｊ ／｜ｃ ｊ ｜）を各波長（ｊ＝１，・・，Ｎ）について加算して断層ホログラムＨ Ｐ を求める。これから、焦点の合った無歪で正確な断層画像Ｓ Ｐ ＝｜Ｈ Ｐ ｜ ２ が得られる。

Abstract translation: 在本发明中，可以在全息显微镜，全息（断层图像）图像生成方法和用于获取全息（断层图像）图像的数据的方法中高速精确地生成断层图像。 本方法包括数据获取处理（S1）和断层图像生成处理（S2〜S7）。 在数据采集处理中，通过改变照明光（Q）的波长，对于具有波长（λj）的每个光，获取对象光（O）等的全息图（Ij OR，Ij QR，Ij LR） - 轴球面波参考光（R）和直列球面参考光（L）。 在断层图像生成处理中，从这些全息图获取被摄体光（Oj）的再生光波（hj）和再现面（z = zP）上的照明光（Qj）的再生光波（cj） 。 对于每个波长（j = 1，⋅⋅，N），添加具有调整相位的再生光波（hj /（cj / | cj |））以获得断层全息图（HP），由此，聚焦断层图像SP = | HP | 2可以获得准确无畸变。

公开(公告)号：WO2010149403A1

公开(公告)日：2010-12-29

申请号：PCT/EP2010/054785

申请日：2010-04-13

Applicant: ASML NETHERLANDS B.V. ,  ASML HOLDING N.V. ,  DEN BOEF, Arie ,  VLADIMIRSKY, Yuli ,  SHMAREV, Yevgeniy ,  SCACCABAROZZI, Luigi ,  THARALDSEN, Robert ,  JACOBS, Richard

Inventor： DEN BOEF, Arie ,  VLADIMIRSKY, Yuli ,  SHMAREV, Yevgeniy ,  SCACCABAROZZI, Luigi ,  THARALDSEN, Robert ,  JACOBS, Richard

IPC: G01N21/94 ,  G01N21/956

CPC classification number: G03F1/84 ,  G01N21/94 ,  G01N21/95607 ,  G01N2021/95676 ,  G03H1/0443 ,  G03H2001/0264 ,  G03H2001/0447 ,  G03H2001/0456 ,  G03H2001/0458 ,  G03H2222/43 ,  G03H2223/12 ,  G03H2223/55

Abstract: Disclosed are systems and methods for object inspection, in particular for inspection of reticles used in a lithography process. The method includes interferometrically combining a reference radiation beam with a probe radiation beam, and storing their complex field images. The complex field image of one object is then compared with that of a reference object to determine the differences. The systems and methods have particular utility in the inspection of a reticle for defects.

Abstract translation: 公开了用于物体检查的系统和方法，特别是用于光刻工艺中使用的光罩的检查。 该方法包括将参考辐射束与探针辐射束干涉地组合，并存储其复杂场图像。 然后将一个对象的复杂场图像与参考对象的复合场图像进行比较以确定差异。 这些系统和方法在检查用于缺陷的掩模版时具有特殊的用途。

公开(公告)号：WO2004094942A3

公开(公告)日：2005-04-14

申请号：PCT/US2004012798

申请日：2004-04-23

Applicant: UT BATTELLE LLC ,  HANSON GREGORY R ,  BINGHAM PHILIP R

Inventor： HANSON GREGORY R ,  BINGHAM PHILIP R

IPC: G03H1/04 ,  G03H1/08 ,  G01B9/021 ,  G03H1/28

CPC classification number: G03H1/0406 ,  G03H1/0443 ,  G03H1/0866 ,  G03H1/265 ,  G03H2001/0456 ,  G03H2001/046 ,  G03H2001/0469 ,  G03H2001/2655 ,  G03H2210/56 ,  G03H2222/13 ,  G03H2223/26 ,  G03H2226/13

Abstract: Systems and methods are described for recording multiple spatially-heterodyned direct to digital holograms in one digital image. A method includes digitally recording, at a first reference beam-object beam angle, a first spatially-heterodyned hologram including spatial heterodyne fringes for Fourier analysis; Fourier analyzing the recorded first spatially-heterodyned hologram by shifting a first original origin of the recorded first spatially-heterodyned hologram to sit on top of a first spatial-heterodyne carrier frequency defined by the first reference beam-object beam angle; digitally recording, at a second reference beam-object beam angle, a second spatially-heterodyned hologram including spatial heterodyne fringes for Fourier analysis; Fourier analyzing the recorded second spatially-heterodyned hologram by shifting a second original origin of the recorded second spatially-heterodyned hologram to sit on top of a second spatial-heterodyne carrier frequency defined by the second reference beam-object beam angle; applying a first digital filter to cut off signals around the first original origin and define a first result; performing a first inverse Fourier transform on the first result; applying a second digital filter to cut off signals around the second original origin and define a second result; and performing a second inverse Fourier transform on the second result, wherein the first reference beam-object beam angle is not equal to the second reference beam-object beam angle and a single digital image includes both the first spatially-heterodyned hologram and the second spatially-heterodyned hologram.

Abstract translation: 描述了用于在一个数字图像中记录多个空间外差直接数字全息图的系统和方法。 一种方法包括以第一参考光束对象光束角度数字地记录包括用于傅立叶分析的空间外差条纹的第一空间外差全息图; 通过将所记录的第一空间外差全息图的第一原始原点移位以位于由第一参考光束 - 物体光束角定义的第一空间 - 外差载波频率的顶部上，傅里叶分析所记录的第一空间外差全息图; 以第二参考光束 - 物体光束角数字地记录包括用于傅立叶分析的空间外差条纹的第二空间外差全息图; 通过将所记录的第二空间外差全息图的第二原始原点移动到位于由第二参考光束 - 物体光束角度限定的第二空间 - 外差载波频率的顶部上来傅立叶分析所记录的第二空间外差全息图; 应用第一数字滤波器来切断围绕第一原始原点的信号并且定义第一结果; 对所述第一结果执行第一逆傅里叶变换; 施加第二数字滤波器以切断围绕第二原始原点的信号并限定第二结果; 以及对所述第二结果执行第二傅立叶逆变换，其中所述第一参考光束对象光束角度不等于所述第二参考光束对象光束角度，并且单个数字图像包括所述第一空间外差全息图和所述第二空间对象光束角度 - 全息全息图。

公开(公告)号：WO2005019945A1

公开(公告)日：2005-03-03

申请号：PCT/US2004/027766

申请日：2004-08-26

Applicant: UT-BATTELLE, LLC ,  HANSON, Gregory, R. ,  BINGHAM, Philip, R. ,  TOBIN, Ken, W.

Inventor： HANSON, Gregory, R. ,  BINGHAM, Philip, R. ,  TOBIN, Ken, W.

IPC: G03H1/08

CPC classification number: G03H1/0866 ,  G01B11/0675 ,  G03F1/84 ,  G03H2001/0456 ,  G03H2001/0469 ,  G03H2001/0471 ,  G03H2210/12

Abstract: ­ Systems and methods are described for spatial-heterodyne interferometry for reflection and transmission (SHIRT) measurements. A method includes digitally recording a first spatiallyheterodyned hologram using a first reference beam and a first object beam; digitally recording a second spatially-heterodyned hologram using a second reference beam and a second object beam; Fourier analyzing the digitally recorded first spatially-heterodyned hologram to define a first analyzed image; Fourier analyzing the digitally recorded second spatially-heterodyned hologram to define a second analyzed image; digitally filtering the first analyzed image to define a first result; and digitally filtering the second analyzed image to define a second result; performing a first inverse Fourier transform on the first result, and performing a second inverse Fourier transform on the second result. The first object beam is transmitted through an object (940, 1045) that is at least partially translucent, and the second object beam is reflected from the object.

Abstract translation: 描述了用于反射和透射（SHIRT）测量的空间 - 外差干涉测量的系统和方法。 一种方法包括使用第一参考光束和第一物体光束数字地记录第一空间被全息图; 使用第二参考光束和第二物体光束数字地记录第二空间外差的全息图; 傅立叶分析数字记录的第一空间外差全息图以定义第一分析图像; 对数字记录的第二空间外差全息图进行傅立叶分析以定义第二分析图像; 对第一分析图像进行数字滤波以定义第一结果; 并且数字地过滤第二分析图像以定义第二结果; 对所述第一结果执行第一傅里叶逆变换，并对所述第二结果执行第二傅里叶逆变换。 第一物体光束通过至少部分半透明的物体（940,1045）透射，并且第二物体光束从物体反射。

公开(公告)号：WO2004025567A2

公开(公告)日：2004-03-25

申请号：PCT/US2003/028869

申请日：2003-09-12

Applicant: NLINE CORPORATION

Inventor： DAI, XiaoLong ,  EL-KHASHAB, Ayman M. ,  HUNT, Martin ,  THOMAS, Clarence T. ,  VOELKL, Edgar ,  SCHULTZ, Mark

IPC: G06T7/00

CPC classification number: G06T7/0002 ,  G03H2001/0456 ,  G06T5/002 ,  G06T5/003 ,  G06T7/001 ,  G06T7/37 ,  G06T7/97 ,  G06T2207/20192

Abstract: In digital holographic imaging systems, streamed holograms are compared on a pixel-by-pixel basis for defect detection after hologram generation. An automated image matching, registration and comparison method with feedback confidence allows for runtime wafer inspection, scene matching refinement, rotational wafer alignment and the registration and comparison of difference images.

Abstract translation: 在数字全息成像系统中，在全息图生成之后，将流传输的全息图逐像素地进行比较以用于缺陷检测。 具有反馈置信度的自动化图像匹配，配准和比较方法可以实现运行时间晶圆检测，场景匹配细化，旋转晶圆对准以及差异图像的配准和比较。

公开(公告)号：WO2004023219A2

公开(公告)日：2004-03-18

申请号：PCT/US2003/027575

申请日：2003-09-03

Applicant: UT-BATTELLE, LLC ,  PRICE, Jeffery, R. ,  BINGHAM, Philip, R.

Inventor： PRICE, Jeffery, R. ,  BINGHAM, Philip, R.

IPC: G03H1/00

CPC classification number: G03H1/0866 ,  G01B9/021 ,  G03H1/0891 ,  G03H1/24 ,  G03H2001/0456 ,  G03H2260/54

Abstract: Systems and methods are described for rapid acquisition of fused off-axis illumination direct-to-digital holography. A method of recording a plurality of off-axis illuminated spatially heterodyne holograms, each of the off-axis illuminated spatially heterodyne holograms including spatially heterodyne fringes for Fourier analysis, includes digitally recording, with a first illumination source of an interferometer, a first off-axis illuminated spatially heterodyne hologram including spatially heterodyne fringes for Fourier analysis; and digitally recording, with a second illumination source of the interferometer, a second off-axis illuminated spatially heterodyne hologram including spatially heterodyne fringes for Fourier analysis.

Abstract translation: 描述了系统和方法，用于快速采集融合的离轴照明直接数字全息术。 一种记录多个离轴对象照明的空间外差全息图的方法，每个离轴对象照明的空间外差全息图包括用于傅立叶分析的空间外差条纹，包括与干涉仪的第一照明源（120）进行数字记录 第一个离轴物体照明的空间外差全息图，包括用于傅立叶分析的空间外差条纹; 以及用所述干涉仪的第二照明源（120）数字地记录第二离轴物体照明的空间外差全息图，其包括用于傅立叶分析的空间外差条纹。

公开(公告)号：WO0165314A2

公开(公告)日：2001-09-07

申请号：PCT/US0105593

申请日：2001-02-22

Applicant: SEMICONDUCTOR RES CORP ,  UNIV TENNESSEE RES CORP

Inventor： HERR DANIEL J C ,  JOY DAVID CHARLES

IPC: G03F7/20 ,  G03H1/08 ,  G03H5/00 ,  H01J37/317 ,  G03F

CPC classification number: G03H1/04 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/2002 ,  G03F7/2049 ,  G03F7/70408 ,  G03H1/02 ,  G03H1/0402 ,  G03H1/0866 ,  G03H5/00 ,  G03H2001/0038 ,  G03H2001/0094 ,  G03H2001/0204 ,  G03H2001/0456 ,  G03H2001/0469 ,  G03H2210/30 ,  G03H2222/34 ,  G03H2260/14 ,  G03H2260/62 ,  G03H2260/63 ,  H01J37/3174

Abstract: A method for patterning a layer on a substrate can include projecting coherent radiation toward a reflector surface so that the coherent radiation is reflected off the reflector surface to provide a holographic projection of a desired image wherein the reflector surface includes information that corresponds to an inverse of the holographic projection of the desired image. The substrate including the layer can be maintained in the path of the reflected radiation so that the holographic projection is projected onto the layer. Related systems are also discussed.

Abstract translation: 用于图案化衬底上的层的方法可以包括将相干辐射投射到反射器表面，使得相干辐射从反射器表面反射以提供期望图像的全息投影，其中反射器表面包括对应于 所需图像的全息投影。 包括该层的衬底可以保持在反射辐射的路径中，使得全息投影投影到该层上。 还讨论了相关系统。

公开(公告)号：WO2016051283A3

公开(公告)日：2016-08-04

申请号：PCT/IB2015002350

申请日：2015-08-12

Applicant: VYSOKÉ UČENÍ TECHNICKÉ V BRNĚ ,  TESCAN ORSAY HOLDING A S

Inventor： CHMELIK RADIM ,  DOSTÁL ZBYNĚK ,  KOLMAN PAVEL ,  SLABÝ TOMÁŠ ,  LOŠTÁK MARTIN

IPC: G01B9/02 ,  G01B9/023 ,  G02B21/00 ,  G03H1/00 ,  G03H1/04

CPC classification number: G01B9/02024 ,  G01B9/02032 ,  G01B9/02047 ,  G01B9/0209 ,  G02B21/0052 ,  G03H1/0443 ,  G03H2001/005 ,  G03H2001/0456 ,  G03H2222/24 ,  G03H2223/23

Abstract: Interferometric system with variable optics for non-coherent source of radiation and method of interferometric system alignment The invention relates to the interferometric system for creation of hologram with spatial carrier frequency comprising a source of radiation (1) with low coherence, behind which a field plane (2) optically conjugated with an output image plane (10) is arranged, a beam splitter (4) for splitting the beam of radiation into two separate branches of interferometer, an object branch with plurality of optical elements, a reference branch with plurality of optical elements, a diffraction grating (7), an extender (12), a transmission system of reflectors and a detector arranged in the output image plane (10), wherein the plurality of optical elements in the object branch includes a objective lens (5.12), wherein the objective lens used in the reference branch is not identical with the one used in the object branch, which means a significant financial saving. The system comprises object and reference input imaging systems (5.1) and (5.2) and object and reference output imaging systems (8.1) and (8.2) wherein one of them includes an optical element with variable focal length.

Abstract translation: 具有用于非相干辐射源的可变光学器件的干涉测量系统和干涉系统对准方法本发明涉及用于创建具有空间载波频率的全息图的干涉测量系统，其包括具有低相干性的辐射源（1） （2）与输出图像平面（10）光学共轭;分束器（4），用于将辐射束分成干涉仪的两个独立分支，具有多个光学元件的物体分支，具有多个光学元件的参考分支 光学元件，衍射光栅（7），扩展器（12），布置在输出图像平面（10）中的反射器的传输系统和检测器，其中物体分支中的多个光学元件包括物镜（5.12 ），其中在参考分支中使用的物镜与物体分支中使用的物镜不相同，这意味着显着的财政储蓄。 该系统包括对象和参考输入成像系统（5.1）和（5.2）以及对象和参考输出成像系统（8.1）和（8.2），其中一个包括具有可变焦距的光学元件。

公开(公告)号：WO2016046714A3

公开(公告)日：2016-05-26

申请号：PCT/IB2015057195

申请日：2015-09-18

Applicant: NANOLIVE SA

Inventor： COTTE YANN ,  COTTE PIERRE-ALAIN ,  EQUIS SEBASTIEN ,  KERN ANDREAS

IPC: G02B21/14 ,  G01N21/45 ,  G02B21/36 ,  G02B26/10 ,  G03H1/08

CPC classification number: G01B9/02047 ,  G01B9/02068 ,  G01N21/453 ,  G02B21/14 ,  G02B21/367 ,  G02B26/0816 ,  G02B26/108 ,  G03H1/0443 ,  G03H1/0866 ,  G03H1/265 ,  G03H1/268 ,  G03H2001/0038 ,  G03H2001/005 ,  G03H2001/0456

Abstract: Microscope (2) comprising a coherent light source (4) producing a coherent light beam (7), a light beam guide system (6) comprising a beam splitter (14) configured to split the coherent light beam (7) into a reference beam (7a) and a sample illumination beam (7b), a sample holder (18) configured to hold a sample (1) to be observed, a sample illumination device (28) configured to direct the sample illumination beam (7b) through the sample and into a microscope objective (37), a beam reuniter (16) configured to reunite the reference beam and sample illumination beam after passage of the sample illumination beam through the sample to be observed, and a light sensing system (8) configured to capture at least phase and intensity values of the coherent light beam downstream of the beam reuniter.

Abstract translation: 包括产生相干光束（7）的相干光源（4）的显微镜（2），包括分束器（14）的光束引导系统（6），所述分束器配置成将所述相干光束（7）分成参考光束 （7a）和样本照射束（7b）;样本保持器（18），其被配置为保持待观察的样本（1）;样本照明装置（28），其被配置为将样本照明束（7b）引导通过样本 并进入显微镜物镜（37）;光束聚光器（16），配置为在样品照明光束通过待观察样品之后使参考光束和样品照射光束重新聚集;以及光传感系统（8），配置为捕获 光束重聚器下游的相干光束的至少相位和强度值。

公开(公告)号：WO2005003681A2

公开(公告)日：2005-01-13

申请号：PCT/US2004/012618

申请日：2004-04-23

Applicant: UT-BATTELLE, LLC ,  HANSON, Gregory, R. ,  BINGHAM, Philip, R.

Inventor： HANSON, Gregory, R. ,  BINGHAM, Philip, R.

IPC: G01B9/00

CPC classification number: G03H1/0406 ,  G03H1/0443 ,  G03H1/0866 ,  G03H1/265 ,  G03H1/28 ,  G03H2001/0456 ,  G03H2001/046 ,  G03H2001/0469 ,  G03H2001/2655 ,  G03H2222/13 ,  G03H2223/16 ,  G03H2226/11 ,  G03H2226/13

Abstract: Systems and methods are described for faster processing of multiple spatially-heterodyned direct to digital holograms. A method includes of obtaining multiple spatially-heterodyned holograms, includes: digitally recording a first spatially-heterodyned hologram including spatial heterodyne fringes for Fourier analysis; digitally recording a second spatially-heterodyned hologram including spatial heterodyne fringes for Fourier analysis; Fourier analyzing the recorded first spatially-heterodyned hologram by shifting a first original origin of the recorded first spatially-heterodyned hologram including spatial heterodyne fringes in Fourier space to sit on top of a spatial-heterodyne carrier frequency defined as a first angle between a first reference beam and a first object beam; applying a first digital filter to cut off signals around the first original origin and performing an inverse Fourier transform on the result; Fourier analyzing the recorded second spatially-heterodyned hologram by shifting a second original origin of the recorded second spatially-heterodyned hologram including spatial heterodyne fringes in Fourier space to sit on top of a spatial-heterodyne carrier frequency defined as a second angle between a second reference beam and a second object beam; and applying a second digital filter to cut off signals around the second original origin and performing an inverse Fourier transform on the result, wherein digitally recording the first spatially-heterodyned hologram is completed before digitally recording the second spatially-heterodyned hologram and a single digital image includes both the first spatially-heterodyned hologram and the second spatially-heterodyned hologram.

Abstract translation: 描述了用于更快处理多空间外差直接数字全息图的系统和方法。 一种包括获得多空间外差全息图的方法，包括：数字记录包括用于傅里叶分析的空间外差条纹的第一空间外差全息图; 数字记录包括用于傅立叶分析的空间外差条纹的第二空间外差全息图; 通过将所记录的第一空间外差全息图的第一原始原始位置（包括傅立叶空间中的空间外差条纹）移位到位于第一参考点之间的第一角度的空间外差载波频率之上，从而傅里叶分析所记录的第一空间外差全息图 光束和第一物体光束; 施加第一数字滤波器以切断围绕第一原始原点的信号，并对该结果执行逆傅里叶变换; 通过将所记录的第二空间外差全息图的第二原始原点移动到傅立叶空间中的空间外差条纹，以置于空间外差载波频率的顶部上来对第二空间外差全息图进行傅立叶分析，该空间外差载波频率定义为第二参考 光束和第二物体光束; 以及施加第二数字滤波器以截断所述第二原始原点周围的信号并对所述结果执行逆傅里叶变换，其中在对所述第二空间外差全息图和单个数字图像进行数字记录之前完成数字记录所述第一空间外差全息图 包括第一空间外差全息图和第二空间外差全息图。