半导体装置及其制造方法
    10.
    发明申请

    公开(公告)号:WO2021243653A1

    公开(公告)日:2021-12-09

    申请号:PCT/CN2020/094413

    申请日:2020-06-04

    Inventor: 黄敬源 李启珍

    Abstract: 半导体装置包括半导体层(11)、设置于所述半导体层(11)上的第一经掺杂氮化物半导体层、设置于所述第一经掺杂氮化物半导体层上的第二经掺杂氮化物半导体层;位于所述半导体层(11)及所述第一经掺杂氮化物半导体层之间的未经掺杂氮化物半导体层(12),所述未经掺杂氮化物半导体层(12)具有与所述半导体层(11)接触之第一表面及与所述第一经掺杂氮化物半导体层接触之第二表面。

Patent Agency Ranking