Invention Grant
CN109554688B 等离子处理装置
失效 - 权利终止
- Patent Title: 等离子处理装置
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Application No.: CN201811072892.0Application Date: 2018-09-14
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Publication No.: CN109554688BPublication Date: 2020-10-23
- Inventor: 加藤典之
- Applicant: 丰田自动车株式会社
- Applicant Address: 日本爱知县丰田市
- Assignee: 丰田自动车株式会社
- Current Assignee: 丰田自动车株式会社
- Current Assignee Address: 日本爱知县丰田市
- Agency: 中原信达知识产权代理有限责任公司
- Agent 高培培; 车文
- Priority: 2017-183356 2017.09.25 JP
- Main IPC: C23C16/50
- IPC: C23C16/50 ; C23C16/458 ; C23C16/04 ; C23F4/00 ; H01J37/32
Abstract:
本发明提供一种等离子处理装置，构成为对具有导电性的平板状的工件进行等离子处理，具备：导电性的真空容器，具有凹陷部和从凹陷部连续地设置在凹陷部的外侧的周缘部，该凹陷部构成为供平板状的工件的至少单侧的处理对象部分配置；保持构件，构成为以使所述工件相对于周缘部分离且绝缘的方式保持所述工件；电压施加部，构成为对工件与真空容器之间施加电压；及绝缘层，构成为覆盖周缘部中与工件对向的部位。
Public/Granted literature
- CN109554688A 等离子处理装置 Public/Granted day:2019-04-02
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IPC分类:
