基于Bi2Te3的双i型异质结红外探测器及其制作方法
摘要:
本发明涉及红外探测器技术领域,提供了一种基于Bi2Te3的双i型异质结红外探测器及其制作方法,包括衬底、MoSe2材料层、Bi2Te3材料层、WS2材料层、源电极以及漏电极;MoSe2材料层设置在衬底表面;Bi2Te3材料层设置在所述衬底表面且Bi2Te3材料层的一端与MoSe2材料层的表面接触,与MoSe2材料层形成i型异质结;WS2材料层设置在衬底表面且所述WS2材料层的一端与所述Bi2Te3材料层的表面接触,与Bi2Te3材料层形成i型异质结;源电极设置在衬底表面且与MoSe2材料层相接触,漏电极设置在衬底表面且与WS2材料层相接触,Bi2Te3材料层不与源电极、漏电极接触。本发明有效抑制了光生电子‑空穴对的层间复合和界面捕获效应,从而提高了红外探测器器的光电转换效率和响应速度。
IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件(使用半导体器件的测量入G01;一般电阻器入H01C;磁体、电感器、变压器入H01F;一般电容器入H01G;电解型器件入H01G9/00;电池组、蓄电池入H01M;波导管、谐振器或波导型线路入H01P;线路连接器、汇流器入H01R;受激发射器件入H01S;机电谐振器入H03H;扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R;一般电光源入H05B;印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K;在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类)
H01L31/00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或设备;其零部件(H01L51/42优先;由形成在一共用衬底内或其上的多个固态组件,而不是辐射敏感元件与一个或多个电光源的结合所组成的器件入H01L27/00)
H01L31/08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31/10 ..特点在于至少有一个电位跃变势垒或表面势垒的,例如光敏晶体管
H01L31/101 ...对红外、可见或紫外辐射敏感的器件
H01L31/102 ....仅以一个势垒或面垒为特征的
H01L31/105 .....为PIN型势垒的
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