- 专利标题: 基于Bi2Te3的双i型异质结红外探测器及其制作方法
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申请号: CN202411147335.6申请日: 2024-08-21
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公开(公告)号: CN118676239B公开(公告)日: 2024-11-05
- 发明人: 祝连庆 , 肖惠锦 , 鹿利单 , 陈伟强 , 董明利 , 何彦霖
- 申请人: 广州市南沙区北科光子感知技术研究院 , 北京信息科技大学
- 申请人地址: 广东省广州市南沙区珠江街南江二路8号9栋1层、2层;
- 专利权人: 广州市南沙区北科光子感知技术研究院,北京信息科技大学
- 当前专利权人: 广州市南沙区北科光子感知技术研究院,北京信息科技大学
- 当前专利权人地址: 广东省广州市南沙区珠江街南江二路8号9栋1层、2层;
- 代理机构: 北京慧智兴达知识产权代理有限公司
- 代理商 李丽颖
- 主分类号: H01L31/105
- IPC分类号: H01L31/105 ; H01L31/032 ; H01L31/0336 ; H01L31/18
摘要:
本发明涉及红外探测器技术领域,提供了一种基于Bi2Te3的双i型异质结红外探测器及其制作方法,包括衬底、MoSe2材料层、Bi2Te3材料层、WS2材料层、源电极以及漏电极;MoSe2材料层设置在衬底表面;Bi2Te3材料层设置在所述衬底表面且Bi2Te3材料层的一端与MoSe2材料层的表面接触,与MoSe2材料层形成i型异质结;WS2材料层设置在衬底表面且所述WS2材料层的一端与所述Bi2Te3材料层的表面接触,与Bi2Te3材料层形成i型异质结;源电极设置在衬底表面且与MoSe2材料层相接触,漏电极设置在衬底表面且与WS2材料层相接触,Bi2Te3材料层不与源电极、漏电极接触。本发明有效抑制了光生电子‑空穴对的层间复合和界面捕获效应,从而提高了红外探测器器的光电转换效率和响应速度。
公开/授权文献
- CN118676239A 基于Bi2Te3的双i型异质结红外探测器及其制作方法 公开/授权日:2024-09-20
IPC分类: