-
公开(公告)号:CN118676239B
公开(公告)日:2024-11-05
申请号:CN202411147335.6
申请日:2024-08-21
申请人: 广州市南沙区北科光子感知技术研究院 , 北京信息科技大学
IPC分类号: H01L31/105 , H01L31/032 , H01L31/0336 , H01L31/18
摘要: 本发明涉及红外探测器技术领域,提供了一种基于Bi2Te3的双i型异质结红外探测器及其制作方法,包括衬底、MoSe2材料层、Bi2Te3材料层、WS2材料层、源电极以及漏电极;MoSe2材料层设置在衬底表面;Bi2Te3材料层设置在所述衬底表面且Bi2Te3材料层的一端与MoSe2材料层的表面接触,与MoSe2材料层形成i型异质结;WS2材料层设置在衬底表面且所述WS2材料层的一端与所述Bi2Te3材料层的表面接触,与Bi2Te3材料层形成i型异质结;源电极设置在衬底表面且与MoSe2材料层相接触,漏电极设置在衬底表面且与WS2材料层相接触,Bi2Te3材料层不与源电极、漏电极接触。本发明有效抑制了光生电子‑空穴对的层间复合和界面捕获效应,从而提高了红外探测器器的光电转换效率和响应速度。
-
公开(公告)号:CN118884607A
公开(公告)日:2024-11-01
申请号:CN202411390757.6
申请日:2024-10-08
申请人: 广州市南沙区北科光子感知技术研究院 , 北京信息科技大学
IPC分类号: G02B6/12
摘要: 本发明公开了一种基于梯度沟槽线结构的片上集成解波复用器件及设计方法,该解波复用器件在SOI平台的波导硅层上沿长度方向顺次刻蚀有第一层沟槽线组和第二层沟槽线组,其中,第一层沟槽线组为聚焦层,复用光波耦入聚焦层内,聚焦层将复用光波中的第一波长光波进行聚焦,将复用光波中的其他波长光波折射到第一波长光波焦点的两侧范围内;第二层沟槽线组为波分层,波分层对不同波长光波产生不同的等效折射率,以使不同波长的光波沿不同路径输出,实现复用光波的解复用。本发明结构设计直观,通过聚焦方法减少光波损耗,解决了传统设计中的复杂性、损耗高和调控性不足的问题,且器件体积小、重量轻,便于集成和部署。
-
公开(公告)号:CN118676239A
公开(公告)日:2024-09-20
申请号:CN202411147335.6
申请日:2024-08-21
申请人: 广州市南沙区北科光子感知技术研究院 , 北京信息科技大学
IPC分类号: H01L31/105 , H01L31/032 , H01L31/0336 , H01L31/18
摘要: 本发明涉及红外探测器技术领域,提供了一种基于Bi2Te3的双i型异质结红外探测器及其制作方法,包括衬底、MoSe2材料层、Bi2Te3材料层、WS2材料层、源电极以及漏电极;MoSe2材料层设置在衬底表面;Bi2Te3材料层设置在所述衬底表面且Bi2Te3材料层的一端与MoSe2材料层的表面接触,与MoSe2材料层形成i型异质结;WS2材料层设置在衬底表面且所述WS2材料层的一端与所述Bi2Te3材料层的表面接触,与Bi2Te3材料层形成i型异质结;源电极设置在衬底表面且与MoSe2材料层相接触,漏电极设置在衬底表面且与WS2材料层相接触,Bi2Te3材料层不与源电极、漏电极接触。本发明有效抑制了光生电子‑空穴对的层间复合和界面捕获效应,从而提高了红外探测器器的光电转换效率和响应速度。
-
公开(公告)号:CN117747692B
公开(公告)日:2024-06-18
申请号:CN202311563565.6
申请日:2023-11-22
申请人: 广州市南沙区北科光子感知技术研究院 , 北京信息科技大学
IPC分类号: H01L31/101 , H01L31/0352 , H01L31/0304
摘要: 本发明提供了一种高量子效率的短中波超晶格双色探测器,包括衬底,以及在衬底上外延生长的缓冲层;双色探测器还包括短波通道层和中波通道层,短波通道层和所述中波通道层之间外延生长中间势垒层;其中,短波通道层包括:在缓冲层上外延生长第一M型结构,以及在第一M型结构上外延生长第二M型结构,其中,第一M型结构和第二M型结构为InAs/GaSb/AlSb/GaSb结构。本发明结合了NBN型探测器与M结构探测器的优点,使得探测器具有良好的探测性能,降低器件的暗电流密度以及提高器件的量子效率。
-
公开(公告)号:CN117747692A
公开(公告)日:2024-03-22
申请号:CN202311563565.6
申请日:2023-11-22
申请人: 广州市南沙区北科光子感知技术研究院 , 北京信息科技大学
IPC分类号: H01L31/101 , H01L31/0352 , H01L31/0304
摘要: 本发明提供了一种高量子效率的短中波超晶格双色探测器,包括衬底,以及在衬底上外延生长的缓冲层;双色探测器还包括短波通道层和中波通道层,短波通道层和所述中波通道层之间外延生长中间势垒层;其中,短波通道层包括:在缓冲层上外延生长第一M型结构,以及在第一M型结构上外延生长第二M型结构,其中,第一M型结构和第二M型结构为InAs/GaSb/AlSb/GaSb结构。本发明结合了NBN型探测器与M结构探测器的优点,使得探测器具有良好的探测性能,降低器件的暗电流密度以及提高器件的量子效率。
-
公开(公告)号:CN117747693B
公开(公告)日:2024-06-28
申请号:CN202311568221.4
申请日:2023-11-22
申请人: 广州市南沙区北科光子感知技术研究院 , 北京信息科技大学
IPC分类号: H01L31/101 , H01L31/0304 , H01L31/105 , H01L31/0352 , H01L31/0376
摘要: 本发明提供了一种基于GaSb光子晶体板的多光谱短波红外探测器,包括二类超晶格PBIN探测单元,以及在二类超晶格PBIN探测单元的GaSb盖层上集成的GaSb光子晶体板;GaSb光子晶体板包括多个晶体板单元,并且多个晶体板单元的周期不同、晶格常数不同;每一个晶体板单元开设多个探测孔,多个晶体板单元的探测孔的孔尺寸不同。本发明具有波长选择性、光谱多样性、高分辨率、工作波段广泛的优势。
-
公开(公告)号:CN117747693A
公开(公告)日:2024-03-22
申请号:CN202311568221.4
申请日:2023-11-22
申请人: 广州市南沙区北科光子感知技术研究院 , 北京信息科技大学
IPC分类号: H01L31/101 , H01L31/0304 , H01L31/105 , H01L31/0352 , H01L31/0376
摘要: 本发明提供了一种基于GaSb光子晶体板的多光谱短波红外探测器,包括二类超晶格PBIN探测单元,以及在二类超晶格PBIN探测单元的GaSb盖层上集成的GaSb光子晶体板;GaSb光子晶体板包括多个晶体板单元,并且多个晶体板单元的周期不同、晶格常数不同;每一个晶体板单元开设多个探测孔,多个晶体板单元的探测孔的孔尺寸不同。本发明具有波长选择性、光谱多样性、高分辨率、工作波段广泛的优势。
-
公开(公告)号:CN117779187A
公开(公告)日:2024-03-29
申请号:CN202311803238.3
申请日:2023-12-26
申请人: 北京信息科技大学
IPC分类号: C30B25/16 , C30B25/18 , C30B29/40 , C30B29/68 , H01L31/0352 , H01L31/0304 , H01L31/18 , G01Q60/24 , G01N23/207 , G01N23/2273 , G01N23/04 , G01N23/223
摘要: 本发明提供了一种InAs/GaSb长波红外超晶格的制备方法包括如下方法步骤:S1、将GaSb:GaTe衬底加热到300℃除气10分钟;S2、在520℃且富Sb生长的束流下,对GaSb:GaTe衬底脱氧10分钟;S3、降低GaSb:GaTe衬底温度至440℃,在GaSb:GaTe衬底上生长500nm的GaSb缓冲层;其中,GaSb缓冲层生长过程中Sb/Ga束流比为5;S4、在GaSb缓冲层上生长InAs/GaSb长波红外超晶格;其中,InAs/GaSb长波红外超晶格生长过程中,生长温度保持在420℃;As/In的V/Ⅲ等效束流比为7,Sb/Ga的V/Ⅲ等效束流比为5。本发明综合多种表征技术,对InAs/GaSb长波红外超晶格全面表征,增强了对InAs/GaSb长波红外超晶格(吸收区)特性的理解,为InAs/GaSb长波红外超晶格的结构优化提供重要的信息和依据。
-
-
公开(公告)号:CN117784291B
公开(公告)日:2024-09-24
申请号:CN202311810095.9
申请日:2023-12-26
申请人: 北京信息科技大学
IPC分类号: G02B1/00 , G01N21/3563
摘要: 本发明提供了一种基于光子晶体的宽谱段多光谱超表面,包括阵列的多个光子晶体单元结构;每一个所述光子晶体单元结构包括3×3组光子晶体阵列,每一组光子晶体具有不同周期的光子晶体;每一组光子晶体阵列的参数如下:光子晶体的厚度为光子晶体的晶格常数的一半,光子晶体的孔穴半径为0.4μm~2.8μm,光子晶体的晶格常数为1μm~3.6μm;光子晶体阵列的相邻两行之间,对应的光子晶体之间的连线与水平线的夹角θ为30°~90°。本发明实现对不同波段光的准确识别和测量,长波红外8‑10μm激光的多光谱兼容和识别。
-
-
-
-
-
-
-
-
-