一种PECVD镀多晶硅用石墨舟的清洗方法

    公开(公告)号:CN115921463A

    公开(公告)日:2023-04-07

    申请号:CN202310111262.4

    申请日:2023-02-14

    IPC分类号: B08B9/08 B08B7/00 B08B3/08

    摘要: 本发明公开一种PECVD镀多晶硅用石墨舟的清洗方法。将待清洗石墨舟置于水汽氧化炉内,于200‑300℃条件下通入水蒸气至炉内压力为10‑20个大气压,阶梯式升温至1100‑1200℃,保温3‑5h,惰性气氛下降温,得预处理石墨舟;将预处理石墨舟浸入氢氟酸溶液中进行酸洗,鼓泡水洗;然后,采用去离子水对石墨舟进行喷淋,风干,升温干燥,得清洁石墨舟。本发明提供的清洗方法,通过水汽氧化使石墨舟表面沉积的多晶硅完全转化为氧化硅,后续利用氢氟酸单一溶液进行酸洗,就可完全去除石墨舟表面沉积的多晶硅,且整个清洗工艺简单,清洗效率高,不会产生混酸和含氮酸溶液,经济效益和环境效益显著,具有广阔的应用前景。

    一种光伏组件的表面处理设备及其方法

    公开(公告)号:CN117318605A

    公开(公告)日:2023-12-29

    申请号:CN202311389142.7

    申请日:2023-10-25

    IPC分类号: H02S40/10

    摘要: 本发明属光伏电站运行维护技术领域,尤其涉及一种光伏组件的表面处理设备及其方法,包括无人机,无人机顶部固接有定位控制部,无人机底部设有局部负压清理组件;局部负压清理组件包括导向盘、倾斜盘、负压吸附组件、吹扫部、喷液部和清洁部;导向盘通过连接柱与无人机底部固接;倾斜盘万向活动设置在导向盘的底部;负压吸附组件设置在倾斜盘内,负压吸附组件与吹扫部连通,吹扫部与倾斜盘边缘固接;清洁部活动设置在倾斜盘底部中心,喷液部位于清洁部外侧,清洁部与喷液部传动连接;清洁部与负压吸附组件传动连接。本发明可针对光伏板表面顽固污物进行清理,配合光伏板清扫机器人一同使用,长效维护光伏板表面光洁,大大减少人力成本的消耗。

    一种晶硅生长用坩埚网格结构
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115216833A

    公开(公告)日:2022-10-21

    申请号:CN202210987698.5

    申请日:2022-08-17

    IPC分类号: C30B15/10 C30B28/06 C30B29/06

    摘要: 本发明涉及晶体硅生产技术领域,具体公开了一种晶硅生长用坩埚网格结构,设置在坩埚内,该网格结构包括若干间隔排列的条形凸起,所述条形凸起的凸起面呈圆弧状,所述条形凸起的高度为1~10mm,宽度为1~10mm,相邻的所述条形凸起间隔≥30mm;所述网格结构设置于坩埚的内部表面熔体流速最大的区域,产生降低坩埚内壁表面附近熔体流速的作用力,抑制坩埚杂质向熔体内的扩散。本发明的结构能使坩埚内的高温硅熔体流动速度减缓,从而减少对坩埚和涂层的冲刷,同时可以部分隔绝熔体与壁面的接触,降低了硅与坩埚的反应面积,最终达到降低内壁表面的化学反应速度和杂质向熔体扩散速度的目的。