一种芯片封装用硫酸铜电镀液配制装置及方法

    公开(公告)号:CN118908437A

    公开(公告)日:2024-11-08

    申请号:CN202410402683.7

    申请日:2024-04-03

    申请人: 重庆大学

    摘要: 本发明公开了一种芯片封装用硫酸铜电镀液配制装置及方法,涉及芯片封装技术领域,其技术方案要点是:包括五水硫酸铜储罐、负压进料机、进料体积仓、电子秤、硫酸铜溶液配制槽、配制泵一、微孔过滤器一、树脂桶、电镀液配制槽、螺旋喷头、配制泵二、换热器、微孔过滤器二;五水硫酸铜储罐经负压进料机、进料体积仓、电子秤与硫酸铜溶液配制槽连接;硫酸铜溶液配制槽经过微孔过滤器一、树脂桶与电镀液配制槽连通,硫酸铜溶液在硫酸铜溶液配制槽配制后通过配制泵一加入电镀液配制槽;电镀液配制槽与配制泵二、换热器形成循环系统,并经微孔过滤器二进行电镀液充填。本发明的整套配制装置采用自动化仪表及逻辑控制,全流程可实现自动化与智能化操作。

    一种用于芯片封装电沉积铜填充工艺的电解液

    公开(公告)号:CN118186514B

    公开(公告)日:2024-09-20

    申请号:CN202410151138.5

    申请日:2024-02-02

    申请人: 重庆大学

    摘要: 本发明提供一种用于芯片封装电沉积铜填充工艺的电解液。其电沉积铜电解液含有加速剂、抑制剂、整平剂等添加剂。本发明提供的添加剂同时具有磺酸基、双硫键以及苯并噻唑结构,以双硫健为中心以对称结构引入苯并噻唑结构,并在分子链两端引入磺酸基,在确保良好的水溶性的同时,加速剂中N+、S原子、噻唑环作为活性位点使所述加速剂吸附在铜表面,加速剂分子两端的磺酸基更好的协同氯离子加速铜离子的沉积。本加速剂不含钠离子,避免后续封测工艺对电信号传输的影响,苯杂环结构设计显著降低了镀层分子间的内应力作用。本发明提供的加速剂配置的电镀液,能够满足深宽比超过1的通孔充填,符合先进封装的要求,具有广阔的应用前景。

    一种微弧陶瓷氧化电镀过程动态监测方法

    公开(公告)号:CN115807257B

    公开(公告)日:2023-09-26

    申请号:CN202211018142.1

    申请日:2022-08-24

    申请人: 重庆大学

    IPC分类号: C25D21/12 C25D11/06

    摘要: 本发明公开一种微弧陶瓷氧化电镀过程动态监测方法,包括以下步骤:1)对微弧陶瓷氧化槽液进行实时取样,得到待测溶液;2)利用离子源对待测溶液分子进行电离,将得到的离子汇聚成离子束,输入到高分辨质谱仪中;3)利用内置质量分析器对离子束进行质量分析,得到待测溶液中微弧陶瓷氧化槽液各组分的特征离子及其质荷比,并输入到电镀过程动态监测模块中;4)所述电镀过程动态监测模块将待测溶液中微弧陶瓷氧化槽液各组分的特征离子及其质荷比输入到电镀过程动态监测模型中,得到微弧陶瓷氧化槽液各组分实时浓度。对微弧陶瓷氧化电镀过程进行动态监测,为微弧陶瓷氧化生产过程提供了技术支撑。

    具有织物结构的摩擦纳米发电传感器阵列

    公开(公告)号:CN110864827B

    公开(公告)日:2020-11-03

    申请号:CN201810982169.X

    申请日:2018-08-27

    申请人: 重庆大学

    IPC分类号: G01L1/00 H02N1/04

    摘要: 本发明提供了一种具有织物结构的摩擦纳米发电传感器阵列,其特征在于:由绝缘间隔线、低亲电性摩擦发电纤维电极、高亲电性摩擦发电纤维电极和其它不导电纤维经纬交错编织而成,一根所述高亲电摩擦发电纤维电极与两根所述绝缘间隔线构成一组纤维组,所述高亲电性摩擦发电纤维电极位于两根绝缘间隔线之间,且所述绝缘间隔线的直径大于高亲电摩擦发电纤维电极的直径,在其中一个方向其它不导电纤维和低亲电性摩擦发电纤维电极间隔分布,在另一个方向上,纤维组和其它不导电纤维间隔分布;在编织过程中,单根经线与纬线的界面压强为0.5kPa‑5MPa,单根经线的拉力范围为10‑3N‑10N。可以感知压力形状及大小,并且可以适用于任意工作平面,轻薄、柔软、可穿戴。

    一种提高流体混合效果的新型弹性搅拌桨

    公开(公告)号:CN108310997A

    公开(公告)日:2018-07-24

    申请号:CN201810209935.9

    申请日:2018-03-14

    申请人: 重庆大学

    IPC分类号: B01F7/00

    摘要: 本发明公开了一种提高流体混合效果的新型弹性搅拌桨,其特征在于,包括搅拌轴、刚性搅拌桨、环、弹簧和连接装置;弹性搅拌桨至少有上中下三层,上下两层刚性桨固定在搅拌轴上,中间层可以上下滑动,三层刚性桨通过环与圆柱螺旋压缩弹簧连接;通过电机带动弹性搅拌桨在搅拌槽内转动,使流体获得机械能,强化搅拌槽内物料的混合过程;本发明中的弹簧在搅拌轴和流体的相互作用下,不断地作收缩运动,使中间层的刚性桨在随搅拌轴转动的同时还能上下滑动,破坏流体的混合隔离区,提高流体的湍动程度,增大流体的混沌混合程度。同时,圆柱螺旋压缩弹簧本身的结构特点使得对流体的切割作用更强,能更加有效的破坏搅拌槽中流体较为稳定的结构界面。