-
公开(公告)号：CN102376516B
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201110222290.0
申请日：2011-08-04
申请人： FEI公司
发明人： G.C.范霍夫滕 , J.洛夫 , F.J.P.舒尔曼斯 , M.A.W.斯特克伦堡 , R.亨德森 , A.R.法鲁奇 , G.J.麦克穆兰 , R.A.D.图尔切塔 , N.C.古里尼
IPC分类号： H01J37/22 , H01J37/26 , H01L27/146
CPC分类号： H01J37/244 , H01J37/22 , H01J37/26 , H01J37/263 , H01J2237/2441 , H01J2237/24455 , H01J2237/2446 , H01J2237/2447 , H01J2237/24578 , H01J2237/26 , H01J2237/2802
摘要： 本发明涉及薄电子探测器中的反向散射降低。在直接电子探测器中，防止电子从传感器下面到探测器部中的反向散射。在某些实施例中，在传感器下面保持空间。在其它实施例中，在传感器下面的结构包括：或者延伸到传感器或者从传感器延伸以捕获电子的几何形状，诸如多个高纵横比通道；或者用于偏转通过传感器的电子的斜向表面的结构。
-
公开(公告)号：CN102282642B
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201080004718.8
申请日：2010-04-20
申请人： KHS有限责任公司
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/304 , H01J33/02 , B65B55/08 , A61L2/08
CPC分类号： H01J37/244 , A61L2/087 , H01J37/304 , H01J2237/164 , H01J2237/2441 , H01J2237/24507
摘要： 所述方法和装置用于监测电子束的强度。为了探测所述电子束强度的变化，探测和评估所述电子束直接或间接产生的电磁辐射。这尤其是指紫外线辐射和/或可见光范围内的辐射。
-
公开(公告)号：CN1310025C
公开(公告)日：2007-04-11
申请号：CN02141674.5
申请日：2002-09-10
IPC分类号： G01N23/18
CPC分类号： H01J37/244 , G01N21/9501 , G03F1/84 , H01J37/285 , H01J2237/2441 , H01J2237/2446
摘要： 一种检测设备，用于检测样本表面上精细几何图形，其中辐射波束照射到不同于大气的差异环境中放置的样本，并利用传感器检测从该样本上射出的二次电子，其中传感器放置在差异环境之内，处理来自传感器检测信号的处理装置放置在差异环境之外，而传输装置发射来自传感器的检测信号到处理装置。
-
公开(公告)号：CN102637571B
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：CN201210032344.1
申请日：2012-02-14
申请人： FEI公司
IPC分类号： H01J37/26 , H01J37/244
CPC分类号： H01J37/244 , G01N21/6447 , G01N2201/08 , H01J37/224 , H01J37/226 , H01J37/28 , H01J2237/2441 , H01J2237/2443 , H01J2237/2445 , H01J2237/26 , H01J2237/2605 , H01J2237/2802 , H01J2237/31749
摘要： 一种利用带电粒子显微镜研究样本的方法，包括步骤：-提供带电粒子显微镜，具有粒子光柱；-利用粒子光柱使带电粒子的成像射束对准样本；-用成像射束照射样本，其结果引起输出辐射通量从样本发出；-利用检测器检查所述输出辐射的至少一部分，该方法包括以下附加步骤：-将所述检测器配备为包括与提供可调电偏置的电源相连接的固态光电倍增器；-调整所述偏置以便调整固态光电倍增器的增益值；-匹配所述增益值与所述通量的大小以便使得固态光电倍增器在其饱和阈值以下操作。固态光电倍增器有时也指的是硅光电倍增器（SiPM）、芯片内像素化的雪崩光电二极管阵列（具有共享/公共检测电路）、MPPC？等。
-
公开(公告)号：CN104681382A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201410718566.8
申请日：2014-12-02
申请人： FEI公司
发明人： A.A.S.斯鲁伊特曼恩 , E.G.T.博世
CPC分类号： H01J37/244 , G01N23/225 , G01N2223/418 , H01J37/222 , H01J37/26 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/153 , H01J2237/221 , H01J2237/2441 , H01J2237/24495 , H01J2237/2804 , H01J2237/2813 , H01J37/22
摘要： 具有增强的电子检测的带电粒子显微术。一种研究从带电粒子显微镜中的样本发出的输出电子的通量的方法，该方法包括下列步骤：使用检测器来拦截通量的至少一部分，以便产生样本的至少一部分的像素化图像Ij的集合{Ij}，由此，集合{Ij}的基数是M＞1；对每个图像Ij中的每个像素pi，确定累积信号强度Sij，因此产生信号强度的相关集合{Sij}；使用集合{Sij}计算下列值：每像素位置i的平均信号强度S；每像素位置i的S中的方差σ2S；将这些值S和σ2S用于选自包括如下的组的样本的所述部分的至少一个图：表示作为位置的函数的检测的电子的能量的变化的第一图；表示作为位置的函数的检测的电子的数目的变化的第二图。
-
公开(公告)号：CN107112182A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201580047907.6
申请日：2015-10-21
申请人： 科学明天有限责任公司
发明人： 乔蒂·乔蒂阿拉瓦克人 , 萨哈达史·萨哈达史纳亚克 , 大卫·大卫C乔伊
IPC分类号： H01J37/244
CPC分类号： H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J2237/2441 , H01J2237/2446 , H01J2237/2448 , H01J2237/24495
摘要： 使用基于固态装置(SSD)阵列的电子计数器的定量二次电子检测(QSED)能够在诸如半导体、纳米材料和生物样品之类的材料中进行关键尺寸的计量学测量(图3)。使用固态检测器阵列实现二次电子定量检测的方法和装置包括多个固态检测器。阵列使用多个固态检测器对二次电子的数目进行感测，用计数器模式中的时数转换器电路来对二次电子的数目进行计数。
-
公开(公告)号：CN104681382B
公开(公告)日：2017-07-07
申请号：CN201410718566.8
申请日：2014-12-02
申请人： FEI 公司
发明人： A.A.S.斯鲁伊特曼恩 , E.G.T.博世
CPC分类号： H01J37/244 , G01N23/225 , G01N2223/418 , H01J37/222 , H01J37/26 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/153 , H01J2237/221 , H01J2237/2441 , H01J2237/24495 , H01J2237/2804 , H01J2237/2813
摘要： 具有增强的电子检测的带电粒子显微术。一种研究从带电粒子显微镜中的样本发出的输出电子的通量的方法，该方法包括下列步骤：使用检测器来拦截通量的至少一部分，以便产生样本的至少一部分的像素化图像Ij的集合{Ij}，由此，集合{Ij}的基数是M>1；对每个图像Ij中的每个像素pi，确定累积信号强度Sij，因此产生信号强度的相关集合{Sij}；使用集合{Sij}计算下列值：每像素位置i的平均信号强度S；每像素位置i的S中的方差σ2S；将这些值S和σ2S用于选自包括如下的组的样本的所述部分的至少一个图：表示作为位置的函数的检测的电子的能量的变化的第一图；表示作为位置的函数的检测的电子的数目的变化的第二图。
-
公开(公告)号：CN106796861A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201580030835.4
申请日：2015-04-14
申请人： 加坦公司
发明人： 亚历山大·约瑟夫·古本斯 , 保罗·穆尼 , 马修·兰特
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/26
CPC分类号： G01T1/2018 , H01J37/244 , H01J2237/2441 , H01J2237/2443 , H01J2237/2446 , H01J2237/24485
摘要： 本发明公开了布置在一个检测器中的多个电子能量转换机构的混合布置方式，从而能以下列方式从两个能量转换器1002,1001中获取电子图像，即，图像的选定高光照部分能通过间接耦合1003的闪烁体检测器1002成像，而检测器1001的高敏感性/直接电子部分获取的其余图像无需重新调整光束位置或机械定位检测器部分。本发明还公开了使图像各像素的线性和计数处理之间的动态或同时切换机构，因此无需严格限制计数量率即可线性获取高光照区域，并可通过计数获取低光照区域，而切换点由信号质量在线性模式和计数模式之间突变的量率确定。
-
公开(公告)号：CN102637571A
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN201210032344.1
申请日：2012-02-14
申请人： FEI公司
IPC分类号： H01J37/26 , H01J37/244
CPC分类号： H01J37/244 , G01N21/6447 , G01N2201/08 , H01J37/224 , H01J37/226 , H01J37/28 , H01J2237/2441 , H01J2237/2443 , H01J2237/2445 , H01J2237/26 , H01J2237/2605 , H01J2237/2802 , H01J2237/31749
摘要： 一种利用带电粒子显微镜研究样本的方法，包括步骤：-提供带电粒子显微镜，具有粒子光柱；-利用粒子光柱使带电粒子的成像射束对准样本；-用成像射束照射样本，其结果引起输出辐射通量从样本发出；-利用检测器检查所述输出辐射的至少一部分，该方法包括以下附加步骤：-将所述检测器配备为包括与提供可调电偏置的电源相连接的固态光电倍增器；-调整所述偏置以便调整固态光电倍增器的增益值；-匹配所述增益值与所述通量的大小以便使得固态光电倍增器在其饱和阈值以下操作。固态光电倍增器有时也指的是硅光电倍增器（SiPM）、芯片内像素化的雪崩光电二极管阵列（具有共享/公共检测电路）、MPPC®等。
-
公开(公告)号：CN1776413A
公开(公告)日：2006-05-24
申请号：CN200510113505.X
申请日：2005-10-14
申请人： 株式会社荏原制作所
IPC分类号： G01N23/04 , G01N21/892
CPC分类号： G11B7/268 , H01J2237/2441 , H01J2237/2446
摘要： 本发明公开了一种检查装置，其中电子枪(12)利用电子束照射信息记录介质上的所希望的位置。载物台(18)保持信息记录介质，使得信息记录介质可以沿旋转方向和径向方向移动。检测器(22)通过利用电子束照射信息记录介质，来检测已经获得信息记录介质之表面的信息的电子。图像产生单元(24)根据由检测器(22)检测的电子来获得信息记录介质之表面的图像。检查装置可以检查是否诸如CD和DVD的信息记录介质上存储缺陷，而且可以检查其缺陷的形状。检查装置还可以检查具有大存储容量的信息记录介质。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
18 条记录 (耗时 0.014 秒)
