公开(公告)号：CN101784958B

公开(公告)日：2013-03-27

申请号：CN200880103680.2

申请日：2008-08-20

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 妹尾将秀 ,  冈沢彻 ,  诹访充史

IPC: G03F7/023 ,  C08F299/00 ,  C08G77/14 ,  G02F1/1333 ,  G03F7/075 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L21/312 ,  C08G77/12 ,  C08G77/20 ,  C08G77/70 ,  C08K5/29 ,  C08L33/10 ,  C08L83/04 ,  G02B1/04 ,  G02B2006/12069 ,  G02F2001/133357 ,  G02F2202/023 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/0388 ,  G03F7/0757 ,  C08L2666/04

Abstract: 本发明涉及一种感光性组合物，含有(a)聚硅氧烷、(b)丙烯酸树脂、(c)醌二叠氮化合物、(d)溶剂，其中，(a)聚硅氧烷与(b)丙烯酸树脂的混合比率以重量比计为聚硅氧烷/丙烯酸树脂＝80/20～20/80，且(a)聚硅氧烷是可以通过1种以上通式(1)所示的有机硅烷进行反应来合成的聚硅氧烷。(式中，R1表示氢原子、碳原子数为1～10的烷基、碳原子数为2～10的链烯基、碳原子数为6～15的芳基中的任一种，多个R1分别可以相同也可以不同。R2表示氢原子、碳原子数为1～6的烷基、碳原子数为2～6的酰基、碳原子数为6～15的芳基中的任一种，多个R2分别可以相同也可以不同。n表示0～3的整数)。根据本发明，可以提供一种感光性组合物，该感光性组合物可用于形成TFT基板用平坦化膜、层间绝缘膜、或者光波导的芯和/或包覆材，并可以得到具有高耐热性、高透明性的特性、且与基板的粘附性良好的固化膜。

公开(公告)号：CN102918460A

公开(公告)日：2013-02-06

申请号：CN201180028270.8

申请日：2011-06-02

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 妹尾将秀 ,  藤原健典 ,  福原将 ,  诹访充史 ,  山本荣悟 ,  內田圭一

IPC: G03F7/075 ,  C08K3/28 ,  C08L83/00 ,  G02F1/1333 ,  G02F1/1368 ,  G03F7/004 ,  G03F7/023

CPC classification number: G03F7/0233 ,  C08G77/02 ,  C08G77/14 ,  C08G77/80 ,  C09D183/06 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0755 ,  G03F7/0757 ,  C08L83/00

Abstract: 感光性硅氧烷组合物，其含有（a）通过使通式（1）所示的有机硅烷的1种以上反应而合成的聚硅氧烷、（b）重氮醌化合物、（c）溶剂和（d）通式（2）所示的硅酸酯化合物。（式（1）中，R1表示氢、碳原子数为1～10的烷基、碳原子数为2～10的烯基、碳原子数为6～15的芳基的任一者，多个R1可以分别相同或不同，R2表示氢、碳原子数为1～6的烷基、碳原子数为2～6的酰基、碳原子数为6～15的芳基的任一者，多个R2可以分别相同或不同，n表示0～3的整数。）（式（2）中，R3～R6分别独立地表示氢、碳原子数为1～6的烷基、碳原子数为2～6的酰基、碳原子数为6～15的芳基的任一者，ｐ表示2～10的整数。）可以提供能够得到具有高耐热性、高透明性的特性、且耐药品性良好的固化膜的感光性硅氧烷组合物。。

公开(公告)号：CN102844708A

公开(公告)日：2012-12-26

申请号：CN201180018743.6

申请日：2011-04-04

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 荒木齐 ,  诹访充史 ,  冈泽彻

IPC: G03F7/004 ,  G02B1/10 ,  G03F7/038 ,  G03F7/075

CPC classification number: G02B1/10 ,  G02B1/11 ,  G02B5/20 ,  G02B5/22 ,  G03F7/0047 ,  G03F7/032 ,  G03F7/033 ,  G03F7/0388 ,  G03F7/0757

Abstract: 本发明是一种负型感光性树脂组合物，该组合物含有：(A)羧酸当量为200g/mol以上1400g/mol以下的碱可溶性树脂、(B)光聚合引发剂、(C)多官能单体、(D)锆化合物。本发明可提供一种能进行碱显影的负型感光性树脂组合物，该组合物的图案加工性优良，能通过UV固化和热固化获得高硬度、高透明性、耐湿热性优良的固化膜。

公开(公告)号：CN101542394B

公开(公告)日：2012-10-31

申请号：CN200780044027.9

申请日：2007-11-21

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 诹访充史

IPC: G03F7/075 ,  G03F7/004 ,  G03F7/023 ,  G03F7/085 ,  H01L21/027 ,  H01L21/312 ,  H01L21/768 ,  H01L23/522

CPC classification number: G03F7/0233 ,  G03F7/0755 ,  G03F7/0757 ,  H01L21/02126 ,  H01L21/02216 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/3122 ,  Y10T428/24802

Abstract: 本发明提供一种感光性硅氧烷组合物，该感光性硅氧烷组合物含有(a)聚硅氧烷、(b)重氮醌化合物、(c)溶剂、(d)一种以上通式(1)～(3)表示的酰亚胺基硅烷化合物，利用该感光性硅氧烷组合物可以得到一种固化膜，所述固化膜的固化收缩性低，且热固化后的透明性优异，可抑制在碱性溶剂中含浸后产生裂纹，与基板的粘合性优异。(各R1可以分别相同也可以不同，表示碳原子数1～6的烷基、碳原子数1～6的烷氧基、苯基、苯氧基或这些基团被取代而形成的有机基团。另外，R2和R4表示碳原子数1～10的2价有机基团，R3表示不含硅原子的碳原子数2～20的有机基团(其中，通式(1)中R3表示除苯基之外的有机基团，通式(2)中R3表示除脂环族基团之外的不具有不饱和键的有机基团。)，Ra表示氢原子或不含硅原子的碳原子数1～20的有机基团。)

公开(公告)号：CN1782878B

公开(公告)日：2011-08-10

申请号：CN200510128535.8

申请日：2005-11-28

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 诹访充史 ,  藤原健典 ,  妹尾将秀 ,  饭森弘和

IPC: G03F7/039 ,  H01L29/786 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0757 ,  C08K5/42 ,  G03F7/022 ,  C08L83/04

Abstract: 正型感光性硅氧烷组合物、由其形成的固化膜、以及具备固化膜的元件；本发明提供高感光度的正型感光性硅氧烷组合物，以用于形成具备高耐热性、高透明性、低介电常数性的特性的、TFT衬底用平坦化膜、层间绝缘膜、或者光波导路的芯或者包层材料。其是含有硅氧烷聚合物、醌二叠氮化合物、溶剂的正型感光性硅氧烷组合物，其中组合物的固化膜在波长400nm下平均3μm膜厚的透光率为95％以上。

公开(公告)号：CN1577088B

公开(公告)日：2010-12-01

申请号：CN200410062424.7

申请日：2004-07-07

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 藤田阳二 ,  弓场智之 ,  诹访充史

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/039

CPC classification number: G03F7/0233 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0751

Abstract: 本发明涉及曝光后放置稳定性优异的、可碱显影的正型感光性树脂前体组合物。此外，本发明为一种感光性树脂前体组合物，其特征为包含(a)以通式(1)所示结构单元为主成分的聚合物、(b)2种或其以上的光产酸剂、(c)含有烷氧基甲基的化合物。式中R1表示具有2个或其以上碳原子的2价到8价的有机基团、R2表示具有2个或其以上碳原子的2价到6价的有机基团、R3表示氢、或碳原子数为1到20的有机基团中的任何一种。n表示10到100000，m为0到2的整数、p、q表示0到4的整数。其中p+q＞0。

公开(公告)号：CN101784958A

公开(公告)日：2010-07-21

申请号：CN200880103680.2

申请日：2008-08-20

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 妹尾将秀 ,  冈沢彻 ,  诹访充史

IPC: G03F7/023 ,  C08F299/00 ,  C08G77/14 ,  G02F1/1333 ,  G03F7/075 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L21/312 ,  C08G77/12 ,  C08G77/20 ,  C08G77/70 ,  C08K5/29 ,  C08L33/10 ,  C08L83/04 ,  G02B1/04 ,  G02B2006/12069 ,  G02F2001/133357 ,  G02F2202/023 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/0388 ,  G03F7/0757 ,  C08L2666/04

Abstract: 本发明涉及一种感光性组合物，含有(a)聚硅氧烷、(b)丙烯酸树脂、(c)醌二叠氮化合物、(d)溶剂，其中，(a)聚硅氧烷与(b)丙烯酸树脂的混合比率以重量比计为聚硅氧烷/丙烯酸树脂＝80/20～20/80，且(a)聚硅氧烷是可以通过1种以上通式(1)所示的有机硅烷进行反应来合成的聚硅氧烷。(式中，R1表示氢原子、碳原子数为1～10的烷基、碳原子数为2～10的链烯基、碳原子数为6～15的芳基中的任一种，多个R1分别可以相同也可以不同。R2表示氢原子、碳原子数为1～6的烷基、碳原子数为2～6的酰基、碳原子数为6～15的芳基中的任一种，多个R2分别可以相同也可以不同。n表示0～3的整数)。根据本发明，可以提供一种感光性组合物，该感光性组合物可用于形成TFT基板用平坦化膜、层间绝缘膜、或者光波导的芯和/或包覆材，并可以得到具有高耐热性、高透明性的特性、且与基板的粘附性良好的固化膜。

公开(公告)号：CN100555078C

公开(公告)日：2009-10-28

申请号：CN200480022478.9

申请日：2004-05-27

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 诹访充史

IPC: G03F7/037 ,  C08G73/10 ,  C08L79/08 ,  H05B33/10 ,  H05B33/12 ,  H05B33/14

CPC classification number: G03F7/037 ,  C08G73/101 ,  Y10S430/107 ,  Y10S430/11

Abstract: 本发明涉及一种负性感光树脂组合物，所述组合物可在碱性显影剂中显影。所述感光树脂组合物包含：(a)在聚合物主链的末端具有至少一个选自羧基、酚羟基、磺酸基和巯基的基团的聚酰亚胺；(b)具有可聚合官能团的化合物，所述可聚合官能团包括不饱和的双键和/或三键；和(c)光聚合反应引发剂。

公开(公告)号：CN1480491A

公开(公告)日：2004-03-10

申请号：CN03152545.8

申请日：2003-08-01

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 藤田阳二 ,  诹访充史 ,  富川真佐夫

IPC: C08L79/08

CPC classification number: G03F7/0233 ,  G03F7/0048 ,  Y10S430/108

Abstract: 本发明公开了一种涂布均匀性好的感光性树脂前体组合物，含有(a)耐热性树脂前体聚合物，(b)辐射敏感性化合物，(c)通式(1)表示的溶剂。(式中，R1表示C1－C3的烷基，R2、R3、R4、R5分别表示氢或C1－C3的烷基。l表示0－3的整数)。

公开(公告)号：CN111919173B

公开(公告)日：2024-04-02

申请号：CN201980022025.2

申请日：2019-03-27

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 的羽良典 ,  日比野利保 ,  诹访充史

IPC: G03F7/075 ,  C08F299/08 ,  C08G77/20 ,  G03F7/004 ,  G03F7/023 ,  G03F7/20 ,  G03F7/38 ,  G03F7/40

Abstract: 本发明提供光透过性高、高耐热、图案加工性优异的正型感光性树脂组合物。本发明的正型感光性树脂组合物含有聚硅氧烷(A)、萘醌二叠氮化合物(B)及溶剂(C)，上述聚硅氧烷(A)包含选自下述通式(1)～(3)中的1种以上的结构、且包含选自下述通式(4)～(6)中的1种以上的结构。[化学式1]#imgabs0#(通式(1)～(3)中，R4为碳原子数为2～6的具有不饱和双键的烃基，R1表示单键、或碳原子数为1～4的亚烷基，式(2)的R2表示氢、或碳原子数为1～4的烷基。通式(3)中，R3表示有机基团。)[化学式2]#imgabs1#(通式(5)中，R2为氢、或碳原子数为1～4的烷基。通式(6)中，R3表示有机基团。)。