一种减少碳化硅表面损伤的离子注入方法及碳化硅器件

    公开(公告)号:CN118039464A

    公开(公告)日:2024-05-14

    申请号:CN202211357785.9

    申请日:2022-11-01

    IPC分类号: H01L21/04 H01L29/16

    摘要: 一种减少碳化硅表面损伤的离子注入方法及碳化硅器件,包括:在碳化硅晶圆上依次生长第一掩膜介质层和第二掩膜介质层;在所述第二掩膜介质层上进行干法刻蚀,得到具有预设图案的第二掩膜介质层;对所述第一掩膜介质层进行退火处理,形成致密均匀的第一掩膜介质层;基于所述第一掩膜介质层和第二掩膜介质层对碳化硅晶圆进行离子注入;其中,所述第二掩膜介质层与所述第一掩膜介质层的厚度和材质不同。本发明中采取两层介质膜进行离子注入,由于第一掩膜介质层的存在,在对第二掩膜介质层进行刻蚀时可自截止在第二掩膜介质层刻蚀完成的地方,剩余的第一掩膜介质层可以防止刻蚀离子和注入离子对碳化硅晶圆表面轰击造成损伤。

    一种半导体芯片的测试装置

    公开(公告)号:CN111458623A

    公开(公告)日:2020-07-28

    申请号:CN202010307229.5

    申请日:2020-04-17

    IPC分类号: G01R31/28

    摘要: 本发明提供一种半导体芯片的测试装置,包括:箱体,所述箱体包括由导电材料制成的上底板、下底板,以及由绝缘材料制成的多个侧板;其中,所述上底板用于连接低压电源,所述下底板用于连接高压电源;芯片定位块,由导电材料制成,与所述下底板相接触,所述芯片定位块内设置有容置待测芯片的芯片凹槽;低压铜柱,贯穿所述上底板,通过相对于所述上底板的上下运动对位于所述芯片定位块内的待测芯片施加压力;其中所述低压铜柱的下底面尺寸与所述待测芯片的低压电极尺寸相匹配;流体出入口,位于其中两个相对的侧板上,用于供加热的绝缘流体介质流入或流出所述箱体。

    一种n型掺杂离子注入准确度的提升方法

    公开(公告)号:CN111293040A

    公开(公告)日:2020-06-16

    申请号:CN202010104556.0

    申请日:2020-02-20

    IPC分类号: H01L21/04

    摘要: 本发明公开了一种n型掺杂离子注入准确度的提升方法。本发明包括:根据目标值采用TRIM仿真继而确定n型掺杂离子的注入能量和剂量的仿真值;根据仿真值对碳化硅外延层进行离子注入;对注入后的碳化硅外延层进行SIMS检测获得实际注入值,比较实际注入值与目标值之间的偏差;根据偏差对仿真值进行校准,根据校准后的仿真值再次进行离子注入;重复上述对仿真值进行校准的步骤,确定最终离子注入能量和剂量以获得最接近目标值的实际注入值。本发明记载了相应的缩小离子注入目标值与实际注入值之间偏差的方法,通过多次对注入碳化硅外延层的n型掺杂离子的仿真值进行校准,进而使碳化硅器件的离子注入的实际注入值与目标值更加接近,以加快器件的研制。

    一种沟槽栅型IGBT器件及其制备方法、装置

    公开(公告)号:CN110571270A

    公开(公告)日:2019-12-13

    申请号:CN201910870940.9

    申请日:2019-09-16

    IPC分类号: H01L29/739 H01L21/331

    摘要: 本发明公开一种沟槽栅型IGBT器件及其制备方法、装置,其中,沟槽栅型IGBT器件,包括沟槽栅结构,其第四功能区层位于第三功能区层与第一电极之间,在第三功能区层上设置有第二功能区层,在第二功能区层的内部成型第一功能区层、第三电极、第一电极层和第二电极层,在第二电极上成型介质层,介质层位于第二电极与第三电极之间,第三电极的一端面与介质层接触,第三电极的另一端面和侧壁区域被第一电极层包围,第二电极层与介质层平行且与沟槽栅结构的底部区域接触,第一功能区层分别与第二电极和介质层接触且设置在沟槽栅结构的两侧,以及在沟槽栅结构设置第二电极层可使得沟槽栅型IGBT器件的反向传输电容得到有效降低。