一种检测装置和方法
    112.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103968759A

    公开(公告)日:2014-08-06

    申请号:CN201410189782.8

    申请日:2014-05-07

    Abstract: 本发明实施例提供一种检测装置和方法,涉及薄膜场效应晶体管制造技术领域,解决了在检测基板上的ID图形的位置时,采用人工查看导致ID图形存在位置偏差或错误的问题,避免了生产事故的发生,提高了工作效率。该装置包括:光源发出第一光信号为基板提供光亮;第一影像信息获取设备位于基板上的第一ID图形的上方,将接收到的第一光信号发射至基板并获取第一光信号发射到基板上的第一ID图像的边沿和基板的边沿产生的第一图像光信号,将第一图像光信号发射至第一分光片;第一分光片将第一图像光信号发射至第一CCD;第一CCD对第一图像光信号进行波峰分析,得到基板上的第一ID图形的边沿与基板边沿之间的距离。本发明应用于基板检测中。

    具有多个扫描架的干涉仪
    114.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103885179A

    公开(公告)日:2014-06-25

    申请号:CN201310593817.X

    申请日:2013-11-21

    Abstract: 一种干涉仪包括固定组件和可移动组件,所述固定组件包括基座、分束器组件和固定反射镜,所述可移动组件包括上扫描架、下扫描架和连接到下扫描架的可移动反射镜。一对内挠曲支承件连接到基座和上扫描架,允许上扫描架相对于基座的运动,并且一对外挠曲支承件连接到上和下扫描架,允许下扫描架相对于上扫描架的运动。上和下扫描架的运动允许可移动反射镜在扫描方向上的扫描运动,所述扫描运动被限制成使得在扫描运动期间,扫描运动保持包含可移动反射镜的平面,平行于在可移动和固定组件之间的相应距离处的包含可移动反射镜的多个平面。

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