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公开(公告)号：CN104755897B
公开(公告)日：2018-01-23
申请号：CN201380054704.0
申请日：2013-10-18
Applicant: 皮卡罗股份有限公司
CPC classification number: G01M3/20 , G01M3/38 , G01N21/3504 , G01N21/39 , G01N2021/0314 , G01N2201/025
Abstract: 提供了来自移动平台的改进的气体泄漏检测。可执行自动水平空间尺度分析，以将被测气体的泄漏与背景水平区分开。通过使用同位素比和/或化学示踪器来将被测气体的泄漏与其它源区分开，可提供源标识。与多点测量结果的空间分析相组合的多点测量可提供泄漏源距离估计。可单独地或以任何组合来实施这些方法。
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公开(公告)号：CN105229334B
公开(公告)日：2018-01-12
申请号：CN201480028684.4
申请日：2014-03-28
Applicant: 科磊股份有限公司
CPC classification number: G01N21/01 , F16F7/01 , F16F9/306 , F16F15/02 , F16F15/023 , F16F15/04 , G01N21/9501 , G01N2201/025 , G10K11/1785 , G10K11/17873 , G10K2210/10 , G10K2210/129
Abstract: 本发明提供测量工具，其包括主动振动隔离装置及被动振动隔离装置两者。测量工具可包括组合在所述测量工具的不同支撑结构中以阻尼及减少广泛频率及强度范围中的振动的被动隔离系统或主动隔离系统，例如约束层阻尼器、颗粒冲击阻尼器或液体冲击阻尼器及/或噪声消除转换器。可应用频率范围的频谱分析及优化以根据所提供的原理确定特定工具配置。
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公开(公告)号：CN106959073A
公开(公告)日：2017-07-18
申请号：CN201710346882.0
申请日：2017-05-16
Applicant: 广东微米测量技术有限公司
CPC classification number: G01B11/00 , G01N21/01 , G01N21/84 , G01N2021/0112 , G01N2201/025 , G01N2201/0407
Abstract: 双镜头双底光横向同步移动系统，所述镜头台上设置横向并列的两个所述镜头检测模组和两镜头相对移动装置；所述镜头台与所述底光台通过同步牵引装置连接；所述底光台上设置横向并列的两个所述底光照射模组和两底光相对移动装置。采用上述双镜头双底光横向同步移动系统的影像检测仪，所述龙门框架上设置上述双镜头双底光横向同步移动系统；因此，本发明的双镜头双底光横向同步移动系统，可将两个镜头、两个底光快速走位到两个待检工件在横向上的位置，可使检测效率进一步得到提升，而且还具有结构简单、制造成本低的特点。当然，采用本发明的双镜头双底光横向同步移动系统的影像检测仪也就具备检测效率高、结构简单、制造成本低的有益效果。
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公开(公告)号：CN104736986A
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201380054693.6
申请日：2013-10-18
Applicant: 皮卡罗股份有限公司
CPC classification number: G01M3/20 , G01M3/38 , G01N21/01 , G01N21/31 , G01N21/3504 , G01N21/39 , G01N2021/0314 , G01N2201/025
Abstract: 提供了来自移动平台的改进的气体泄漏检测。可执行自动水平空间尺度分析，以将被测气体的泄漏与背景水平区分开。通过使用同位素比和/或化学示踪器来将被测气体的泄漏与其它源区分开，可提供源标识。与多点测量结果的空间分析相组合的多点测量可提供泄漏源距离估计。可单独地或以任何组合来实施这些方法。
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公开(公告)号：CN101551337B
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN200910137895.2
申请日：2002-02-06
Applicant: 麻省理工学院
Inventor： 詹姆斯·道格拉斯·哈佩尔 , 理查德·哈特·马修斯 , 贝尔纳黛特·约翰逊 , 马莎·苏珊·彼得罗维克 , 安·朗德尔 , 弗朗西丝·艾伦·纳吉 , 蒂莫西·斯蒂芬斯 , 琳达·玛丽·门登霍尔 , 马克·亚历山大·霍利斯 , 阿尔贝特·M·扬 , 托德·哈里森·赖德 , 埃里克·戴维·施沃贝尔 , 特里纳·雷·维安
IPC: G01N21/76 , G01N33/569 , G01N33/554 , G01N33/58
CPC classification number: G01N33/554 , G01N15/0205 , G01N21/07 , G01N21/64 , G01N21/6428 , G01N21/75 , G01N21/76 , G01N33/54373 , G01N33/54393 , G01N33/56983 , G01N33/582 , G01N2021/6439 , G01N2201/025 , G01N2201/061 , Y10S435/808 , Y10S436/805
Abstract: 本发明涉及探测一或多种靶颗粒的光电子系统。该系统包括一个反应室，一个样品收集器，一个光学探测器，和一个含有细胞的容器，每个所述细胞都具有受体，所述受体存在于每个细胞的表面上并且对待测靶颗粒具有特异性，其中所述靶颗粒与所述受体的结合将直接或间接地激活一个报告分子，由此产生一个可测量的光学信号。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104681465B
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201410705549.0
申请日：2014-11-27
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
CPC classification number: H01L21/30604 , G01B11/0641 , G01N2201/025 , G01N2201/061 , H01L21/67253 , H01L22/12 , H01L22/20
Abstract: 本发明公开了一种集成系统操作方法，该方法包括以下步骤：通过计量装置测量衬底的膜以获得膜信息。将衬底从计量装置移至邻近转移装置的工艺装置。将膜信息发送至工艺装置。根据膜信息对衬底施加膜处理。本发明还涉及集成系统以及膜处理方法。
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公开(公告)号：CN104620371B
公开(公告)日：2017-10-31
申请号：CN201380045370.0
申请日：2013-09-02
Applicant: 联达科技设备私人有限公司
IPC: H01L21/683
CPC classification number: H01L21/681 , B25J11/0095 , B25J15/0616 , B25J15/0658 , B25J15/0666 , G01B11/27 , G01N21/9501 , G01N2201/025 , H01L21/67144 , H01L21/67706 , H01L21/6838 , H01L21/68757 , Y10T29/49826
Abstract: 一种晶圆台结构，其提供了适合于操持晶圆和膜片架的单个晶圆台表面，该晶圆台结构包括具有借助于形成在内基底托盘表面上或中的一组脊状物而形成在其中的一组隔室；布置在一组基底托盘隔室内的可硬化流体可渗透隔室材料；以及形成在基底托盘内表面中的一组开口，硬化隔室材料可通过该组开口暴露于负压或正压。基底托盘包括第一陶瓷材料(例如，瓷件)，并且可硬化隔室材料包括第二陶瓷材料。借助于标准加工处理同时加工基底托盘和隔室材料，从而使得以基本上相同的速率对基底托盘和隔室材料的暴露的外表面进行平面化，以形成具有高或超高平面性的晶圆台表面。
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公开(公告)号：CN104718607B
公开(公告)日：2017-10-03
申请号：CN201380045373.4
申请日：2013-09-02
Applicant: 联达科技设备私人有限公司
Inventor： 林靖
IPC: H01L21/68 , H01L21/677 , H01L21/683
CPC classification number: H01L21/681 , B25J11/0095 , B25J15/0616 , B25J15/0658 , B25J15/0666 , G01B11/27 , G01N21/9501 , G01N2201/025 , H01L21/67144 , H01L21/67706 , H01L21/6838 , H01L21/68757 , Y10T29/49826
Abstract: 自动地校正未适当地安装在膜片架上的晶圆的旋转错位包括在检查系统开始晶圆检查过程之前，使用图像捕获装置捕获晶圆的多个部分的图像；数字地确定晶圆相对于膜片架和/或图像捕获装置的视野的一组参考轴的旋转错位角度和旋转错位方向；以及借助于与检查系统分离的膜片架操持设备校正晶圆的旋转错位，所述晶圆操持设备被构造为在与旋转错位方向相反的方向上将膜片架旋转旋转错位角度。能够在没有减少膜片架操持吞吐量或检查处理吞吐量的情况下，在将膜片架放置在晶圆台上之前进行这样的膜片架旋转。
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公开(公告)号：CN106990074A
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201710273684.6
申请日：2017-04-25
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
CPC classification number: G01N21/61 , G01N2201/0231 , G01N2201/025
Abstract: 本发明公开了一种近红外多个激光波段整层大气透过率和水汽总量的测量仪，可见到近红外多个激光波段整层大气透过率和水汽总量测量仪，工作时太阳跟踪测量探头和二维旋转转台正面朝南水平放置，工控机发命令给采集控制电路板，通过光电开关零位检测找到水平和俯仰零位后控制二维旋转转台回到正南和水平初始位置，根据天文视日轨迹粗跟踪方法使太阳跟踪测量探头指向太阳，并启动四象限精跟踪，使探头的测量光筒对准太阳，太阳平行光经光筒内透镜聚焦后，可见到近红外光经滤光片分光后到达探测器，形成电信号送入采集控制电路板，通过滤光片旋转，可将11个波段和背景信号存入采集控制电路板，再传送到工控机存储和显示。
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公开(公告)号：CN104681465A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201410705549.0
申请日：2014-11-27
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
CPC classification number: H01L21/30604 , G01B11/0641 , G01N2201/025 , G01N2201/061 , H01L21/67253 , H01L22/12 , H01L22/20
Abstract: 本发明公开了一种集成系统操作方法，该方法包括以下步骤：通过计量装置测量衬底的膜以获得膜信息。将衬底从计量装置移至邻近转移装置的工艺装置。将膜信息发送至工艺装置。根据膜信息对衬底施加膜处理。本发明还涉及集成系统以及膜处理方法。
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