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公开(公告)号：CN107526018B9
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN201710475946.7
申请日：2017-06-21
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 提供一种被控制为所希望温度而使温度分布均匀化的探针卡、使用该探针卡的检查装置及检查方法。探针卡(1)包括：支承基板(3)；包含布线(2)而设于支承基板(3)的主面(8)的布线层(4)；配置在布线层(4)的与支承基板(3)侧相反一侧的面(11)并与布线(2)连接的探针(5)；多个加热器(6)。在探针卡(1)中，通过俯视下纵横排列的多个加热器区域(10)被假想地分割为加热器区域，各个加热器区域(10)分别配置有多个加热器(6)中的至少一个。使用探针卡(1)构成检查装置，使用该检查装置进行被检查体的检查。
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公开(公告)号：CN113016087A
公开(公告)日：2021-06-22
申请号：CN201980074668.1
申请日：2019-11-07
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
IPC: H01L49/00
Abstract: 本发明提供了一种用于改善二次电池的性能的技术。本实施方式的二次电池(100)包括：第一电极(21)；第二电极(22)；第一层(11)，其设置在第一电极(21)上，并且包含第一n型氧化物半导体；第二层(12)，其设置在第一层上(11)，并且包含第二n型氧化物半导体材料和第一绝缘材料；第三层(13)，其设置在第二层(12)上，并且包含氧化钽；以及第四层(14)，其设置在第三层(13)上，并且包含第二绝缘材料。
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公开(公告)号：CN108351371B
公开(公告)日：2021-04-27
申请号：CN201680061723.X
申请日：2016-10-13
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 为了在进行通电检查期间施加有高电流时，通过抑制探针的温度过度升高来降低探针的弹簧性能下降的风险并且改善通电检查的检查精度，根据本发明的探针卡(11)包括具有弹簧性能的探针(3)和保持该探针(3)的探针头(15)，其中探针头(15)具有以能够在轴向(Z)上移动的方式保持探针(3)的引导单元(27)，并且该引导单元(27)设置有中间引导部(57A、57B、57C)作为散热结构(29)，该散热结构(29)吸收探针(3)因通电而产生的热并且使该热流动到探针(3)的外部。
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公开(公告)号：CN112345911A
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：CN202010787368.2
申请日：2020-08-07
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种电触头及电连接装置，可以使流至电触头的电信号的导通特性变得良好，从而使被检查体的电气检查变得良好。本发明的电触头具备：台座部，其在下端具有与作为第1接触对象的被检查体接触的接触部；基端部，其与安装部相连地延伸，所述安装部与作为第2接触对象的基板接触，所述基板与检查装置侧电连接；以及至少3根以上的臂部，它们设置在基端部与台座部之间，一端部支承在基端部上，另一端部与台座部连结，从而以弹性方式支承接触部。
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公开(公告)号：CN112005352A
公开(公告)日：2020-11-27
申请号：CN201980023465.X
申请日：2019-03-25
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 本发明的课题在于，提供一种能够降低来自卡盘载物台的电流泄漏、外来噪声的影响，进而消除卡盘载物台的对探针台框体杂散电容，保持晶圆状态地精度良好地进行半导体器件的检查的探针台，通过提供如下这样的探针台来解决上述课题：探针台具有：上表面开口的卡盘罩导电体，其具有底部导体和侧部导体，能够在由底部导体和侧部导体围成的空间内收容所述卡盘载物台；上部罩导电体，其具有正面电极用探针以及背面电极用探针的支承导电部能够通过的贯通孔，且在检查时，在正面电极用探针的接触部在检查对象晶圆内相对地移动时，在俯视的情况下，也至少具有遮盖卡盘罩导电体的所述开口的大小；以及使卡盘罩导电体与上部罩导电体接触并电导通的单元。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109073677B
公开(公告)日：2020-11-13
申请号：CN201780022545.4
申请日：2017-03-21
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
IPC: G01R1/06 , G01R1/07 , G01R1/073 , G01R31/302 , H01L21/66
Abstract: 提供使探针的针尖部的高度不均的调节及与被检查体之间的平行度的调节变得简便的探针卡。探针卡1具有在内部、表面等具有布线4的布线基板2、多个探针3和电介质膜6。对于电介质膜6而言，以在与探针3的针尖部13相比更远离布线基板2的位置处，一个面21与作为布线基板2的探针设置面的主表面8相对且还与针尖部13相对的方式，相对于布线基板2的主表面8隔开间隔地配置。当对被检查体进行检查时，探针卡1构成如下状态：针尖部13夹着电介质膜6而与被检查体的电极相对。将从检查装置向探针3供给的检查信号设为交流信号，探针卡1使针尖部13和被检查体的电极电容耦合，从而传输检查信号。
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公开(公告)号：CN111751586A
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN202010216412.4
申请日：2020-03-25
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Inventor： 水谷正吾
Abstract: 本发明提供一种多针结构探针体及探针卡，能够应对半导体集成电路的电极端子之间的窄间距化。本发明的多针结构探针体的特征在于，具有：多个接触部，它们与第一接触对象和第二接触对象电接触，由导电性材料形成；以及基部，其安装在基板上，并且支承所述多个接触部的每一个，由合成树脂材料形成，所述基部具有：安装部；以及多个负载部，它们分别在所述安装部的下部隔开间隔地设置，在沿长度方向延伸的臂部的顶端侧保持所述接触部，并弹性地支承所述接触部。
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公开(公告)号：CN111542938A
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN201880069521.9
申请日：2018-04-24
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 本发明的目的在于提供一种蓄电装置结构，其相对于现有的蓄电装置的层叠数减少。本发明的蓄电装置将导电性电极、具有绝缘体和n型金属氧化物半导体的蓄积电荷的充电层、以及由作为固态电致变色元件的电介质层所使用的材料的氧化铱形成的氧化铱层依次层叠。由于氧化铱具有低电阻率，因此可使氧化铱层具有导电性电极的功能，省略了导电性电极而使层叠数减少。
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公开(公告)号：CN108778967B
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN201780014705.0
申请日：2017-02-16
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种片材分离装置(100)。该片材分离装置包括：具有用于配置层叠起来的多张片材的配置面(10a)的主体部(10)、突出于配置面(10a)并配置在片材(50)的端部的凸部(11)、以及配置在主体部(10)上的磁路(20)。其中，磁路(20)具有：多个永久磁铁(21)，其沿配置面内的X方向并排设置，且配置成相邻的同极之间彼此相对；第一磁轭(22)，其配置在多个永久磁铁(21)之间；多个非磁性材料(24)，其配置在多个永久磁铁(21)与片材(50)之间；以及第二磁轭(23)，其配置在多个非磁性材料(24)之间。
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