处理液的脱气判定方法
    11.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107427743A

    公开(公告)日:2017-12-01

    申请号:CN201580078446.9

    申请日:2015-03-31

    Inventor: 村山隆史

    CPC classification number: B01D19/00 C25D7/00 C25D7/12 C25D21/04 C25D21/12

    Abstract: 不管气体的种类等而可靠地判定用于处理在表面具有由槽、孔构成的精细图案的作业对象物的处理液的脱气程度。本发明的处理液的脱气判定方法在进行用于处理在表面具有由槽、孔构成的精细图案的作业对象物的处理液所包含的气体的脱气的脱气处理槽内,浸渍用于判定该脱气处理槽内的上述处理液的脱气程度的在表面具备具有需要的凹凸的精细图案的模拟作业对象物,根据该模拟作业对象物的表面状态的时间变化,判定上述处理液的脱气程度。

    基板镀敷装置
    14.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105209670A

    公开(公告)日:2015-12-30

    申请号:CN201480026900.1

    申请日:2014-03-27

    CPC classification number: C25D21/10 C25D17/001

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种镀敷装置,其无须在镀敷槽外设置循环泵,而可提高镀敷液的流速,并可使流速从镀敷槽的底部至液面相同,其结果,可遍及基板全部区域地,进行镀敷膜厚均匀且析出速度快速的镀敷,镀敷装置具备:收容镀敷液的镀敷槽;拆装自如地保持基板的基板保持件;与基板保持件所保持的基板相对置地配置的阳极;以与基板保持件平行的方式架设在镀敷槽的上方的轨道部;以及悬垂支持于该轨道部且可沿轨道部往返移动的桨叶,其特征在于;在该桨叶上垂直设置有以轴部为中心旋转自如或转动自如的叶片部。

    着色用镀敷液以及着色方法

    公开(公告)号:CN110191977B

    公开(公告)日:2022-04-26

    申请号:CN201780083664.0

    申请日:2017-12-14

    Abstract: 本发明提供一种不存在废水、颜色的显色、析出的稳定性问题的、用于进行着色的技术。一种着色用镀敷液,其特征在于,含有:钼酸盐以及、具有一个以上的羧基和一个以上的羟基且碳数为2以上的羧酸或其盐,且pH为4.5~7.5;以及一种被镀敷构件的着色方法,其特征在于,在该着色用镀敷液中,将被镀敷构件作为阴极进行电解。

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