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公开(公告)号：CN111063599B
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN201811201334.X
申请日：2018-10-16
申请人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC分类号： H01J37/10 , H01J37/317 , H01J37/244 , H01J37/147 , H01L21/67
摘要： 一种离子注入装置，包括屏蔽房、依次设置的离子源、引出电极、分析器、分析光栏、聚焦透镜、加速管、对称静电扫描电极以及均匀磁场平行透镜，屏蔽房内设有相互隔离的第一腔室和第二腔室，第一腔室内设有高压仓，第二腔室内设有靶室，离子源、引出电极、分析器、及分析光栏设于高压仓内，加速管设于第一腔室内，高压仓上设有供离子束进入加速管的第一出口，第一腔室上设有供离子束进入对称静电扫描电极的第二出口，对称静电扫描电极和均匀磁场平行透镜设于第二腔室内，靶室内设有靶台、定向台、片库以及至少一个用于传递晶圆的机械手，靶室上设有供离子束注入靶台上晶圆的注入口。本发明具有结构简单、成本低、便于实现高能高精度注入等优点。
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公开(公告)号：CN111128650A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201811276370.2
申请日：2018-10-30
申请人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC分类号： H01J37/08 , H01J37/24 , H01J37/317
摘要： 本发明公开了一种直热式固体金属离子源，包括离子源弧室、灯丝部件和含铝部件，灯丝部件包括灯丝端面、螺旋侧面和导电部，灯丝端面由单根灯丝径向盘旋形成，螺旋侧面由单根灯丝轴向螺旋形成，导电部与灯丝端面和螺旋侧面连接，含铝部件包括相互连接的第一环体和第二环体，离子源弧室一端具有安装孔，第二环体装于安装孔内，第一环体伸入离子源弧室内，灯丝端面和螺旋侧面设于第一环体内，导电部穿出第二环体位于离子源弧室外。本发明简化了离子源本身和其外围配电的结果，提高了离子源运行的可靠性，同时Al离子源的寿命有较大程度的提升。
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公开(公告)号：CN111042691A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201811189641.0
申请日：2018-10-12
申请人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC分类号： E05F15/57 , E05D15/20 , E05F15/40 , E06B7/30 , H01J37/317
摘要： 本发明公开了一种真空腔体的密封门结构，包括门板、门板升降组机构和门板压紧机构，门板升降机构包括两个升降导轨和两个升降驱动，两个升降导轨位于真空腔体门口的两侧，升降导轨上设有滑动组件，各升降驱动的固定端分别固定在各升降导轨的一侧，各升降驱动的驱动端分别与各滑动组件连接，并驱动滑动组件在升降导轨上移动，门板压紧机构包括两个水平伸缩驱动，各水平伸缩驱动分别固定于各滑动组件上，门板固定于两个水平伸缩驱动的驱动端。本发明具有结构简单、占用空间小、自动化程度高的优点。
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公开(公告)号：CN106571321B
公开(公告)日：2019-12-06
申请号：CN201611015616.1
申请日：2016-11-18
申请人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/687
摘要： 本发明公开了一种用于快速热处理设备的载片台，包括晶片支撑组件及用来驱动晶片支撑组件旋转的驱动组件，所述晶片支撑组件包括支撑筒和晶片托环，所述支撑筒设于所述驱动组件上且上端筒壁为尖角状，所述晶片托环下表面设有倒置的V型限位环槽，所述支撑筒上端嵌入所述V型限位环槽内。本发明具有结构简单、晶片定位准确、工艺均匀性和一致性好等优点。
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公开(公告)号：CN106334873B
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201610852391.9
申请日：2016-09-26
申请人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC分类号： B23K26/067 , B23K26/064 , B23K26/046 , B23K101/36
摘要： 本发明公开了一种用于太阳能电池片激光消融机的激光加工单元，包括激光组件、台板及用于调节台板高度的升降调整平台，所述激光组件包括沿激光传输方向依次布置的激光器、扩束镜、整形镜片套件、振镜及场镜，所述激光器、扩束镜、整形镜片套件及振镜安装于所述台板上，所述场镜垂直安装于振镜下方，所述激光器的光输出口的中心线、扩束镜的中心线和整形镜片套件的中心线重合。本发明具有结构简单、成本低、激光光路短、传输效率高等优点。
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公开(公告)号：CN109935510A
公开(公告)日：2019-06-25
申请号：CN201711349060.4
申请日：2017-12-15
申请人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/32
摘要： 本发明涉及一种多维静电扫描系统，包括对称的扫描电极一和非对称的扫描电极二，且所述对称的扫描电极一与非对称的扫描电极二的扫描方向相互垂直，所述对称的扫描电极一包括对称布置的扫描板一和二，所述扫描板一、二之间的电场至少部分分布不均匀；所述非对称的扫描电极二包括相对布置的扫描板三和扫描板四，所述扫描板三呈平板状，所述扫描板四包括扫描前段和扫描后段，所述扫描板四的所述扫描前段与所述扫描板三平行，所述扫描板四的所述扫描后段相对于所述扫描前段呈远离所述离子束的方向往外折弯。本发明还涉及一种基于上述多维静电扫描系统的离子注入系统。本发明具有能够在除去离子束中的中性粒子的同时提高离子注入角度一致性的优点。
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公开(公告)号：CN107134399B
公开(公告)日：2019-06-25
申请号：CN201710220775.3
申请日：2017-04-06
申请人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC分类号： H01J37/04 , H01J37/317
摘要： 本发明公开了一种用于高能离子注入机的射频加速调谐装置，包括射频电源、调谐控制器、调谐筒和调谐电机，调谐控制器包括调谐控制单元、调谐电机控制单元和谐振状态检测单元，调谐控制单元分别与调谐电机控制单元和谐振状态检测单元相连，调谐电机与调谐电机控制单元相连。本发明的调谐控制方法包括S01、谐振状态检测单元用于检测射频电源的输出信号并发送至调谐控制单元；S02、调谐控制单元用于根据射频电源的输出信号输出控制信号至调谐电机控制单元；S03、调谐电机控制单元根据控制信号控制调谐电机的谐振以使调谐筒处于谐振状态。本发明的用于高能离子注入机的射频加速调谐装置及控制方法均具有操作简便、控制精准等优点。
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公开(公告)号：CN106505015A
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201610870861.4
申请日：2016-09-30
申请人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67248
摘要： 本发明公开了一种用于快速热处理设备的温度测量装置，包括温度测量红外探头组件、发射率测量探头、安装座及反射板，所述反射板位于所述安装座上方，所述温度测量红外探头组件和所述发射率测量探头安装于所述安装座上，所述温度测量红外探头组件穿过所述反射板，所述反射板上开设有通孔，所述发射率测量探头位于所述通孔下方。本发明具有结构简单可靠，不受被测物体发射率差异的影响，温度测量准确等优点。
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公开(公告)号：CN106409641A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201610857751.4
申请日：2016-09-28
申请人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/30
摘要： 本发明公开了一种引出电极的电极轴驱动装置，包括电机、主动带轮、从动带轮及绕设于主动带轮和从动带轮上的传动带，所述电机的输出轴与所述主动带轮的轮轴连接，还包括连续调节组件，所述连续调节组件包括凸轮、摆杆及用于使摆杆的摆动端与凸轮紧贴的弹性件，所述凸轮安装于所述从动带轮的轮轴上，所述摆杆安装于引出电极的电极轴上。本发明具有结构简单、能实现连续调节和微小角度调节等优点。
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公开(公告)号：CN105655217A
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201510921731.4
申请日：2015-12-14
申请人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
IPC分类号： H01J37/08
摘要： 本发明公开了一种射频偏压供电的磁控溅射金属铝离子源，包括：弧室，作为等离子体生成弧室和阳极，弧室内导入含氟可电离气体；灯丝，作为热阴极灯丝并设置在弧室内，灯丝用来发射电子；氮化铝反射电极，设置在弧室内的一侧，作为铝离子生成源，在阳极与氮化铝反射极间施加来自于射频电源的电压；磁铁，安装在弧室内以产生磁场；引出电极，用来引出铝离子束流；偏压电源，设置在灯丝和弧室之间，电子在偏压电源生成的电场作用下飞向弧室，氟离子在电场作用下加速飞向灯丝。本发明具有结构简单紧凑、成本低廉、效率更高等优点。
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