公开(公告)号：CN112313240A

公开(公告)日：2021-02-02

申请号：CN201980040227.X

申请日：2019-07-26

Applicant: 优美科股份公司及两合公司

Inventor： N·拉乌 ,  J·松德迈尔 ,  H·舒曼 ,  A·里瓦斯纳斯 ,  A·弗雷 ,  W·朔恩 ,  E·韦尔纳 ,  R·卡希 ,  A·多皮乌

IPC: C07F15/00 ,  H01L33/00 ,  H01L21/00

Abstract: 本发明涉及符合通式[Ru(芳烃)(Ra‑N＝CR1‑CR3＝N‑Rb)]或[Ru(芳烃)((Rc,Rd)N‑N＝CRH1‑CRH3＝N‑N(Re,Rf))]的化合物。在这种情况下，芳烃选自由以下项组成的组：单核和多核芳烃以及杂芳烃。R1、R3、RH1、RH3和Ra‑Rf独立地选自由以下项组成的组：H、烷基基团(C1‑C10)和芳基基团。本发明还涉及用于制备这些化合物的方法、能够根据这些方法获得的化合物、它们的用途以及在其表面上具有钌层或含钌层的衬底。此外，本发明涉及用于制备化合物[Ru(芳烃)X2]2的方法、能够根据该方法获得的该类型的化合物以及它们的用途，其中芳烃选自由以下项组成的组：单核和多核芳烃，并且X＝卤素。上述钌(0)化合物可以简单、经济有效和可再现的方式以高纯度和良好收率制备。由于它们的高纯度，它们适合用作钌(0)前体。

公开(公告)号：CN112292383A

公开(公告)日：2021-01-29

申请号：CN201980039184.3

申请日：2019-07-26

Applicant: 优美科股份公司及两合公司

Inventor： N·劳 ,  J·松德迈尔 ,  A·里瓦斯纳斯 ,  R·卡奇 ,  A·弗雷 ,  A·多皮乌 ,  E·沃尔奈尔

IPC: C07F15/00 ,  C23C16/18

Abstract: 本发明涉及用于ALD和CVD方法中的基于双(烷基亚胺)乙二醛和双(二烷基腙)乙二醛配体与环戊二烯基和烷基配体组合的新一类挥发性金属有机化合物的合成和提供。

公开(公告)号：CN110691785A

公开(公告)日：2020-01-14

申请号：CN201880035625.8

申请日：2018-05-25

Applicant: 优美科股份公司及两合公司

Inventor： W·肖恩 ,  R·卡驰 ,  A·弗赖 ,  A·杜匹 ,  A·里瓦斯纳斯 ,  E·沃尔奈尔

IPC: C07F5/00

Abstract: 本发明涉及用于生产三烷基铟(InR3)的方法，其中该生产在含有至少一种烷基铟卤化物、三烷基铝(AlR3)、羧酸盐、以及溶剂的反应混合物中进行，其中R彼此独立地选自C1-C4烷基，并且X彼此独立地选自Cl、Br和I。

公开(公告)号：CN108699092A

公开(公告)日：2018-10-23

申请号：CN201780012853.9

申请日：2017-02-27

Applicant: 优美科股份公司及两合公司

Inventor： E·沃尔奈尔 ,  T·艾伯特 ,  M·伦纳兹 ,  R·卡驰 ,  A·杜匹 ,  A·里瓦斯纳斯 ,  A·费里

IPC: C07F15/00 ,  C07C211/63 ,  B01J23/42 ,  C01G55/00

CPC classification number: C07F15/0093 ,  B01J21/04 ,  B01J21/08 ,  B01J23/42 ,  B01J35/04 ,  B01J37/035 ,  C07C211/63 ,  C07F15/0066 ,  C07F15/008

Abstract: 本发明涉及四烷基铵四羟基金属酸盐或六羟基金属酸盐，诸如四乙基铵六羟基铂酸盐(N(烷基)4)y[M(OH)x]，其制备方法，以及其用于制备催化剂的用途。