电编程熔丝结构及其制造方法

    公开(公告)号:CN100477202C

    公开(公告)日:2009-04-08

    申请号:CN200710086006.5

    申请日:2007-03-07

    CPC classification number: H01L23/5256 H01L2924/0002 H01L2924/00

    Abstract: 提供了一种电编程熔丝结构及其制造方法,其中熔丝具有由长熔丝元件互连的第一端部和第二端部。第一端部的最大宽度大于熔丝元件的最大宽度,并且熔丝具有窄宽度区域,在其处第一端部和熔丝元件连接。窄宽度区域至少部分延伸进所述第一端部并包括第一端部的部分。窄区域中第一端部的宽度小于第一端部的最大宽度以增强那里的电流积聚。在另一方案中,熔丝元件包括限制宽度区域,其中熔丝元件宽度小于其最大宽度以增强那里的电流积聚,并且限制宽度区域的长度小于熔丝元件的总长度。

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