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公开(公告)号：CN112563101A
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN202011007799.9
申请日：2020-09-23
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/26
Abstract: 本发明提供带电粒子束装置，能够使自动MS稳定化。带电粒子束装置是从试样中自动地制作试样片的带电粒子束装置，具备：带电粒子束照射光学系统，其照射带电粒子束；试样载台，其载置试样而移动；试样片移设单元，其保持从试样中分离并摘出的试样片而进行输送；支架固定台，其保持用于移设试样片的试样片支架；以及计算机，其基于根据针对与对象物相关的位置的第1判定的结果而进行的针对位置的第2判定的结果、以及包括通过带电粒子束的照射而取得的图像在内的信息，进行位置的控制。
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公开(公告)号：CN106941065B
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN201610866961.X
申请日：2016-09-30
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 本发明涉及样品位置对准方法和带电粒子束装置。在样品位置对准方法中，能够容易且迅速地将样品的观察对象部位位置对准于利用第一带电粒子束的观察视场内。是一种样品位置对准方法，其中，将配置在样品工作台（15）的样品（14）的观察对象部位位置对准于观察视场内，并且，包含：将包含样品（14）的图像显示在显示画面中；基于显示画面的图像来指定注目点；以使注目点位于当通过光学轴（Ob）上的轴上目标点时与光学轴（Ob）正交的轴上点探索面的方式对样品工作台的光学轴（Ob）方向的位置进行对准；进行注目点与轴上目标点的位置偏离的感测和轴上点探索面内移动，将注目点移动到轴上目标点；以及在注目点移动到轴上目标点之后，将注目点移动到带电粒子束光学系统的焦点深度内。
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公开(公告)号：CN106461516B
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN201580030690.8
申请日：2015-06-29
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: G01N1/28 , H01J37/31 , H01J37/317
Abstract: 本发明提供一种带电粒子束装置(10a)，具备计算机(21)，该计算机(21)至少基于样品片保持件(P)、机针(18)以及样品片(Q)的预先获取的多个带电粒子束的图像来控制多个带电粒子束照射光学系统、机针(18)以及气体供给部(17)，以使样品片(Q)移设至预定的样品片保持件(P)的位置。
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公开(公告)号：CN112563100A
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN202011022919.2
申请日：2020-09-25
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: H01J37/08 , H01J37/20 , H01J37/304
Abstract: 提供如下的会聚离子束装置：能够针对会聚离子束的多个照射位置，分别自动且高精度地与共心高度对齐。会聚离子束装置具有电子束镜筒、会聚离子束镜筒、以及能够以倾斜轴为中心倾斜且能够沿高度方向移动的试样载台，其中，会聚离子束装置还具有：坐标取得单元，在试样上指定了照射会聚离子束的多个照射位置时，其取得各照射位置的平面坐标；移动量计算单元，其根据平面坐标，针对各照射位置计算使所述试样载台移动到共心高度以使所述共心高度与如下的交叉位置一致的移动量，所述交叉位置是电子束和会聚离子束一致的位置；以及试样载台移动控制单元，其针对各照射位置，根据移动量使试样载台移动到共心高度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112563099A
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN202011022906.5
申请日：2020-09-25
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: H01J37/08 , H01J37/20 , H01J37/304
Abstract: 提供会聚离子束装置。在实际照射会聚离子束之前，至少能够掌握射束以怎样的朝向照射固定试样的试样台。会聚离子束装置具有：会聚离子束镜筒(20)，其用于对试样(200)照射会聚离子束(20A)；试样台(51)，其载置试样；以及试样载台，其载置试样台，至少能够沿水平方向和高度方向移动，其中，会聚离子束装置(100)还具有：存储部(6M)，其预先存储试样台和会聚离子束的照射轴线的三维数据，三维数据与试样载台的载台坐标相关联；显示部(7)；以及显示控制部(6A)，其根据试样台和会聚离子束的照射轴线的三维数据，使显示部显示使试样载台进行动作而使试样台移动到规定的位置时的虚拟的试样台(51v)和会聚离子束的照射轴线(20Av)的位置关系。
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公开(公告)号：CN111755305A
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN202010211741.X
申请日：2020-03-24
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: H01J37/22 , H01J37/28 , G01N23/2251
Abstract: 提供带电粒子束装置和控制方法，使加工自动化。带电粒子束装置具有：图像一致度判定部，其判定如下的一致度是否为规定的值以上，该一致度表示通过扫描型电子显微镜观察试样的截面而得到的SEM图像即加工截面图像和预先登记的加工截面图像即判定基准图像一致的程度；以及判定后处理部，其根据图像一致度判定部的判定结果进行规定的处理。
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公开(公告)号：CN108666190A
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：CN201810258355.9
申请日：2018-03-27
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 本发明提供便携式信息终端、射束照射系统以及存储介质。本发明的便携式信息终端能够在期望的位置进行第一操作项目的操作。该便携式信息终端是与通过向试样照射带电粒子束来对试样进行处理的带电粒子束照射装置分体的便携式信息终端，其具有显示控制部，该显示控制部使显示部显示包含GUI(Graphical User Interface：图形用户界面)的图像，该GUI是能够根据来自用户的操作来操作第一操作项目，该第一操作项目是能够在带电粒子束照射装置中进行操作的多个操作项目中的1个以上的一部分操作项目。
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公开(公告)号：CN107230649A
公开(公告)日：2017-10-03
申请号：CN201710182754.7
申请日：2017-03-24
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
CPC classification number: H01J37/222 , G02B21/361 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/30 , H01J37/3178 , H01J2237/221 , H01J2237/226 , H01L22/12
Abstract: 本发明涉及剖面加工观察方法、剖面加工观察装置。在短时间内高精度地进行包含特定观察对象物的特定部位的加工，并且，迅速地生成特定观察对象物的高分辨率的三维立体像。具有：位置信息取得工序，使用光学显微镜或电子显微镜对观察对象的样品整体进行观察，取得所述样品所包含的特定观察对象物的在所述样品内的大概的三维位置坐标信息；剖面加工工序，基于所述三维位置坐标信息，朝向所述样品之中所述特定观察对象物所存在的特定部位照射聚焦离子束，使该特定部位的剖面露出；剖面像取得工序，向所述剖面照射电子束，取得包含所述特定观察对象物的规定的大小的区域的图像；以及立体像生成工序，以规定间隔沿着规定方向多次重复进行所述剖面加工工序和所述剖面像取得工序，根据所取得的多个所述剖面图像来构筑包含所述特定观察对象物的三维立体像。
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公开(公告)号：CN106941065A
公开(公告)日：2017-07-11
申请号：CN201610866961.X
申请日：2016-09-30
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 本发明涉及样品位置对准方法和带电粒子束装置。在样品位置对准方法中，能够容易且迅速地将样品的观察对象部位位置对准于利用第一带电粒子束的观察视场内。是一种样品位置对准方法，其中，将配置在样品工作台（15）的样品（14）的观察对象部位位置对准于观察视场内，并且，包含：将包含样品（14）的图像显示在显示画面中；基于显示画面的图像来指定注目点；以使注目点位于当通过光学轴（Ob）上的轴上目标点时与光学轴（Ob）正交的轴上点探索面的方式对样品工作台的光学轴（Ob）方向的位置进行对准；进行注目点与轴上目标点的位置偏离的感测和轴上点探索面内移动，将注目点移动到轴上目标点；以及在注目点移动到轴上目标点之后，将注目点移动到带电粒子束光学系统的焦点深度内。
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