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公开(公告)号:CN101997511A
公开(公告)日:2011-03-30
申请号:CN201010255655.5
申请日:2010-08-16
Applicant: 日本电波工业株式会社
Inventor: 津田稔正
Abstract: 本发明涉及一种压电部件及其制造方法。压电部件由压电基板、形成于该压电基板的主表面的栉状电极、由具有邻接该栉状电极配设的元件配线部的配线电极构成的压电元件、形成于该元件配线部的上表面的绝缘层、形成于该绝缘层的上表面的再配线层、从该再配线层的上表面除该栉状电极以外,覆盖其整个面的由无机材料构成的保护膜层、将感光性树脂薄膜层压在该保护膜层上而形成的外围壁部、将添加了纳米填料或云母的感光性树脂薄膜层压在该外围壁部的开口前端部而形成的顶部、以及贯通该外围壁部和顶部而形成的电极柱构成,其中,感光性树脂薄膜由添加了平均粒径为1.0nm以下的无机材料构成的纳米填料、且弹性模量为3.0GPa以上的感光性树脂构成。
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公开(公告)号:CN101335508A
公开(公告)日:2008-12-31
申请号:CN200810125003.2
申请日:2008-06-25
Applicant: 日本电波工业株式会社
Inventor: 津田稔正
CPC classification number: H03H9/059 , H01L41/053 , H01L41/0533 , H01L2224/0554 , H01L2224/0557 , H01L2224/05571 , H01L2224/05573 , H01L2224/16225 , H01L2924/00014 , H01L2924/1461 , H01L2924/15174 , H03H3/08 , H03H9/0547 , Y10T29/42 , H01L2224/05599 , H01L2224/0555 , H01L2224/0556
Abstract: 本发明涉及压电部件及其制造方法。压电部件具有压电元件,压电元件具有压电基片、形成在基片上的至少一个振荡部分、连接到振荡部分的元件布线部分,其特征在于,由感光性树脂构制成的侧面侧中空部分形成层和盖面侧中空部分形成层围绕振荡部分的顶面和侧面形成空隙,以提供中空部分,还具有:感光性树脂制成的绝缘保护层,覆盖并保护元件布线部分除电极构成部分之外的顶面、侧面侧中空部分形成层的侧面、盖面侧中空部分形成层的侧面;感光性树脂制成的绝缘层,覆盖并密封绝缘保护层的整个表面;贯通电极,设置在穿过绝缘层形成的通孔中以连接元件布线电极部分;外部电极端子,形成在绝缘层的同一外表面上以连接贯通电极。
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公开(公告)号:CN106688180A
公开(公告)日:2017-05-17
申请号:CN201580048213.4
申请日:2015-07-31
Applicant: 日本电波工业株式会社
CPC classification number: H01L41/0471 , H01L41/0475 , H01L41/297 , H03H3/08 , H03H9/02992 , H03H9/059 , H03H9/1071 , H03H9/14538 , H03H9/25
Abstract: 本发明涉及获得以简单的构成便能够将安装端子形成于所需位置的低成本的压电元件。本发明的压电元件包括:引出配线3,连接于形成在压电基板1的主表面的梳齿电极2且沿压电基板1的外缘延伸设置;外围壁层6,环绕包含引出配线的压电基板的外周而设置且形成作为梳齿电极的动作空间的中空部;以及顶板7,桥接于外围壁层而将中空部密封,顶板7包含混入无机材料的填料而提高了机械强度的耐热性树脂,引出配线3分别形成于外围壁层的相向的一对侧面侧,跨及外围壁层6的相向的一对侧面、顶板7的与外围壁层6的相向的一对侧面连接的上表面、及压电基板1的与外围壁层6的相向的一对侧面连接的压电基板1的所述外缘,而在多个区块形成着绝缘的金属镀敷层,金属镀敷层在压电基板1的外缘与引出配线3电气连接,将金属镀敷层的所述顶板的上表面作为安装端子11,将金属镀敷层的外围壁层的侧面作为连接引出配线与安装端子的侧面配线10。
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公开(公告)号:CN102035470B
公开(公告)日:2014-11-12
申请号:CN201010500820.9
申请日:2010-09-30
Applicant: 日本电波工业株式会社
IPC: H03B5/32
CPC classification number: H03B5/1243 , H03B5/1203 , H03B2200/0008
Abstract: 本发明提供一种电压控制振荡器,该电压控制振荡器小型且能够以低成本制造。本发明的电压控制振荡器具备:谐振部,其包括静电容量根据从外部输入的频率控制用的控制电压发生变化的可变电容元件和电感元件,串联谐振频率根据所述静电容量被调节;放大部,其用于将来自该谐振部的频率信号放大;和反馈部,其包括反馈用的电容元件,使在所述放大部被放大后的频率信号反馈至所述谐振部,与所述放大部及谐振部一起构成振荡环路,所述放大部设置于集成电路芯片中,所述谐振部及反馈用的电容元件作为不形成于所述集成电路芯片中的另外的电路部件被构成。根据振荡频率选择所述电路部件。
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公开(公告)号:CN102035465B
公开(公告)日:2014-10-08
申请号:CN201010500816.2
申请日:2010-09-30
Applicant: 日本电波工业株式会社
IPC: H03B5/04
CPC classification number: H03B5/1243 , H03B5/1203 , H03B2200/0008
Abstract: 本发明提供一种电压控制振荡器和电子部件,其为小型且在宽的频率的调节幅度内得到低相位噪音特性。作为石英基板(10),使用与在现有技术中作为谐振部(1)的基板被使用的氟树脂、LTCC等相比具有更良好的特性(损耗因数:tanδ)、且能够利用光刻法形成微细的金属膜的图形的石英,在该石英基板(10)上形成导电线路,构成谐振部(1)的电感元件(11)。由此,能够构成Q值高的谐振部(1),因此能够得到小型且在宽的频带为低损失的电压控制振荡器。
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公开(公告)号:CN102035469B
公开(公告)日:2014-05-14
申请号:CN201010500788.4
申请日:2010-09-30
Applicant: 日本电波工业株式会社
IPC: H03B5/32
CPC classification number: H03B5/1847 , H03B5/1203 , H03B5/1231 , H03B5/1243 , H03B5/1293
Abstract: 本发明提供一种电压控制振荡器,该电压控制振荡器可作为集总常数电路对待,小型且能够获得高频带域的振荡频率。电压控制振荡器中的谐振部(1)包括:静电容量根据从外部输入的频率控制用的控制电压而变化的可变电容元件(13、14)和电感元件(11),放大部(21)将来自该谐振部(1)的频率信号放大,并且反馈部(2)包括反馈用的电容元件(22、23),将由所述放大部(21)放大后的频率信号反馈至所述谐振部(1),与所述放大部(21)及谐振部(1)一起构成振荡环路。而且,所述谐振部(1)及反馈部(2)设置在水晶基板(5)上。
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公开(公告)号:CN102739180A
公开(公告)日:2012-10-17
申请号:CN201210071744.3
申请日:2012-03-16
Applicant: 日本电波工业株式会社
Inventor: 津田稔正
CPC classification number: H03H3/10 , H03H9/1092
Abstract: 本发明提供一种不会使在外部连接端子的形成工序中的压电器件的特性劣化和成品率下降、且实现了外部连接端子的通用性的制造方法,以及利用该方法制造的压电器件。在将压电器件(1)与顶层(18A)一起密封并进行封装之前,在搭载该元件中枢部分(14A)的基板(2A)上,预先设置成为外部连接端子(7A)的电极构造,在元件中枢部分(14A)形成后,与顶层(18A)一起密封并进行封装。在基板的主面上设置再配线层,能够使本发明的压电器件与3D构造相对应。
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