13族元素氮化物结晶基板及功能元件

    公开(公告)号:CN108291329B

    公开(公告)日:2019-03-01

    申请号:CN201680068330.1

    申请日:2016-08-29

    Abstract: 结晶基板1包括:由13族元素氮化物结晶形成、具有第一主面2a和第二主面2b的基底层2、以及、设置在基底层的第一主面上的由13族元素氮化物形成的厚膜3。基底层2包含:在第一主面2a与第二主面2b之间贯穿的低载流子浓度区域5和高载流子浓度区域4,低载流子浓度区域5的载流子浓度为1017/cm3以下,低载流子浓度区域5的缺陷密度为107/cm2以下,高载流子浓度区域4的载流子浓度为1019/cm3以上,高载流子浓度区域4的缺陷密度为108/cm2以上。厚膜3的载流子浓度为1018/cm3~1019/cm3,厚膜3的缺陷密度为107/cm2以下。

    外部谐振器型发光装置
    17.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105453352B

    公开(公告)日:2019-01-25

    申请号:CN201480043674.8

    申请日:2014-06-04

    Abstract: 外部谐振器型发光装置具备使半导体激光振荡的光源、及与该光源构成外部谐振器的光栅元件。光源具备使半导体激光振荡的活性层。光栅元件具备:光波导路,其具有射入半导体激光的入射面和射出所需波长的出射光的出射面;布拉格光栅,其在光波导路内形成;及传播部,其设置在入射面和布拉格光栅之间。该外部谐振器型发光装置满足式(1)~式(4)的关系。

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