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公开(公告)号:CN102770382A
公开(公告)日:2012-11-07
申请号:CN201180010441.4
申请日:2011-02-17
申请人: 株式会社日立制作所 , 日立化成工业株式会社
IPC分类号: C03C8/18 , H01B1/22 , H01L21/28 , H01L21/288 , H01L31/04
CPC分类号: H01L31/1804 , C03C8/00 , H01B1/22 , H01L31/022425 , Y02E10/547 , Y02P70/521
摘要: 本发明提供一种铝电极配线用玻璃组合物。该玻璃组合物由功函数比铝小的元素的氧化物构成。该氧化物由钒(V)的氧化物、碱土类金属的氧化物和碱金属的氧化物构成,作为碱土类金属为至少包括钡在内的钙(Ca)、锶(Sr)以及钡(Ba)元素中的一种以上的元素,作为碱金属的元素为钠(Na)、钾(K)、铷(Rb)以及铯(Cs)元素中的至少一种以上的元素。在以五氧化二钒(V2O5)的形式而含有钒元素的情况下,含五氧化二钒40~70重量%,不含铅,作为电极配线的表观的功函数比铝(Al)的功函数小。
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公开(公告)号:CN102470438A
公开(公告)日:2012-05-23
申请号:CN201080034392.3
申请日:2010-08-02
申请人: 日立化成工业株式会社
IPC分类号: B22F1/02 , H01B1/22 , H01B5/00 , H01J11/20 , H01L21/28 , H01L21/288 , H01L21/3205 , H01L23/52 , H01L31/04 , H05K1/09
CPC分类号: H01L23/49883 , B22F1/0055 , B22F1/0074 , B22F1/02 , C22C1/0425 , C22C1/05 , H01B1/026 , H01J11/12 , H01J11/22 , H01J2211/225 , H01L21/4867 , H01L31/022425 , H01L2924/0002 , H01L2924/09701 , H05K1/092 , H05K3/4629 , H05K2201/0224 , H05K2203/0315 , Y02E10/50 , H01L2924/00
摘要: 本发明提供:在布线或电极从糊膏焙烧、制造的电子部件,以及具有与玻璃或玻璃陶瓷构件接合的布线的电子部件中,可以抑制氧化所致的电阻增大,可以抑制玻璃或玻璃陶瓷的气泡发生,耐迁移性优良的采用Cu系布线材料的电子部件。本发明涉及的Cu-Al合金粉末,其包含Cu与优选50重量%以下的Al的Cu-Al合金粉末,其特征在于,上述Cu-Al合金粉末的表面以厚度80nm以下的Al氧化被膜被覆。该粉末与玻璃或玻璃陶瓷材料进行配合,制成糊膏,用于形成布线、电极及/或接点构件。
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