复合汽相沉积膜的生产方法,其使用的材料及其生产方法

    公开(公告)号:CN1239732C

    公开(公告)日:2006-02-01

    申请号:CN01125911.6

    申请日:2001-06-26

    Inventor: 古市真治

    Abstract: 本发明公开了一种制备适用于沉积在彩色电视显象管等的荧光屏上的复合汽相沉积膜的制备方法,在该膜中,一侧有高光反射率,而另一侧有吸收热射线的性能,本发明还公开一种适用于真空汽相沉积形成该复合汽相沉积膜的复合汽相沉积材料。该复合汽相沉积材料具有铝套,其中心区中有低蒸气压金属/准金属化合物粉末。要求低蒸气压金属/准金属化合物粉末分散和夹持在中心区中的铝中。用该复合汽相沉积材料进行真空汽相沉积,在汽相沉积的第一阶段生成铝组成几乎是100%的层,随后生成含有低蒸气压金属/准金属化合物的层,即使对膜进行热处理,低蒸气压金属/准金属化合物也不会从该层中扩散到在汽相沉积的开始阶段形成的铝层中。因此,能够保持一个有高光反射率的反射层。

    加速度传感器
    13.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1598596A

    公开(公告)日:2005-03-23

    申请号:CN200410079742.4

    申请日:2004-09-16

    CPC classification number: G01P15/18 G01P15/0802 G01P15/123 G01P2015/0842

    Abstract: 一种加速度传感器包括:加速度传感器元件,该加速度传感器元件有位于中心的块部分、环绕该块部分的厚框架、以及桥接该块部分和厚框架的多个弹性支承臂;以及上部调节板,该上部调节板覆盖加速度传感器元件,并通过粘接剂固定在厚框架上。块部分的上表面有:连接部分,该连接部分使块部分与各弹性支承臂连接;布线区域,在该布线区域上有引线;以及非布线区域。非布线区域为块部分的上表面的主要区域,并低于布线区域。上部调节板有与布线区域之间的第一间隙以及与非布线区域之间的第二间隙,该第二间隙的长度比第一间隙的长度、导线厚度以及0.1μm(优选是1.0μm)的总和更长。即使当污染物粘附在块部分上表面上时,也很可能在蚀刻非布线区域时使该污染物从上表面上除去,从而不会由于它们而减小块部分的振幅。

    加速度传感器
    14.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100373161C

    公开(公告)日:2008-03-05

    申请号:CN200410079742.4

    申请日:2004-09-16

    CPC classification number: G01P15/18 G01P15/0802 G01P15/123 G01P2015/0842

    Abstract: 一种加速度传感器包括:加速度传感器元件,该加速度传感器元件有位于中心的块部分、环绕该块部分的厚框架、以及桥接该块部分和厚框架的多个弹性支承臂;以及上部调节板,该上部调节板覆盖加速度传感器元件,并通过粘接剂固定在厚框架上。块部分的上表面有:连接部分,该连接部分使块部分与各弹性支承臂连接;布线区域,在该布线区域上有引线;以及非布线区域。非布线区域为块部分的上表面的主要区域,并低于布线区域。上部调节板有与布线区域之间的第一间隙以及与非布线区域之间的第二间隙,该第二间隙的长度比第一间隙的长度、导线厚度以及0.1μm(优选是1.0μm)的总和更长。即使当污染物粘附在块部分上表面上时,也很可能在蚀刻非布线区域时使该污染物从上表面上除去,从而不会由于它们而减小块部分的振幅。

    包含多个机械光学开关的光学开关装置

    公开(公告)号:CN1242282C

    公开(公告)日:2006-02-15

    申请号:CN02121771.8

    申请日:2002-05-31

    CPC classification number: G02B6/3582 G02B6/3502 G02B6/3544 G02B6/3572

    Abstract: 一种光学开关装置,它包括多件机械光学开关构件,每一机械光学开关构件具有安装在壳体中的1至若干条可移动光导纤维和1至若干条固定光导纤维,在壳体中充满着折射率匹配油,用以浸没构件。每一构件具有电磁致动器,用以相对固定光导纤维的开口端往复运动可移动光导纤维的开口端,以便连接/断开光路。与可移动光导纤维和固定光导纤维的开口端相对的端部通过位于壳体上的口而引出,从而被引出的光导纤维中一定数量的光导纤维用作输入光导纤维,而被引出的其余光导纤维中的一定数量的光导纤维用作输出光导纤维,用以构成m×n类型的光学开关装置,其中m是输入光路数,而n是输出光路数,从而形成一个小尺寸的、具有可变的输入/输出光路数的光学开关装置。

    加速度传感器
    16.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1514251A

    公开(公告)日:2004-07-21

    申请号:CN200310118816.6

    申请日:2003-11-28

    Abstract: 一种加速度传感器,其中,调节板通过粘接剂固定在传感器的传感器芯片的支承框架上,以便将传感器芯片的块部分的运动限制在预定间隙范围内。在加速度传感器中,粘接剂的粘接面积控制为预定值,以防止灵敏度由于粘接面积的变化而变化。该传感器芯片包括:块部分;框架,该厚框架包围块部分,并在该框架的上表面上有多个凹口,以便装入粘接剂;弹性支承臂,这些弹性支承臂桥接块部分和框架;以及应变仪,该应变仪形成于弹性支承臂上。调节板通过浆糊固定在该框架上。且与该块部分的上表面之间有预定间隙。该浆糊包含与粘接剂混合的硬塑料球,该硬塑料球的直径大于该预定间隙。该粘接剂优选是硅橡胶树脂。

    加速度传感器
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1447120A

    公开(公告)日:2003-10-08

    申请号:CN03108214.9

    申请日:2003-03-25

    CPC classification number: G01P15/123 G01P15/18 G01P2015/084

    Abstract: 本发明提供了一种具有很高灵敏度的超微半导体加速度传感器。该加速度传感器有:块状部分,该块状部分在硅半导体基体的中心部分;框架,该框架形成于基体的边缘部分上;薄弹性支承臂,该薄弹性支承臂在该块状部分和框架的顶表面上,并连接该块状部分和框架;以及应变仪,该应变仪由形成于弹性支承臂的顶表面上的多对压敏电阻器构成。在弹性支承臂顶表面上的一对Z轴方向应变仪之间的距离比一对X轴方向应变仪之间的距离长0.4L至1.2L,或者短1.0L至1.8L,从而使Z轴方向应变仪的输出与X轴方向应变仪的输出为相同水平。也可选择,由Z轴方向应变仪与X轴方向所形成的角度为10至30度或65至90度,因此,Z轴方向应变仪的输出与X轴方向应变仪的输出为相同水平。

    复合汽相沉积膜的生产方法,其使用的材料及其生产方法

    公开(公告)号:CN1341772A

    公开(公告)日:2002-03-27

    申请号:CN01125911.6

    申请日:2001-06-26

    Inventor: 古市真治

    Abstract: 本发明公开了一种制备适用于沉积在彩色电视显象管等的荧光屏上的复合汽相沉积膜的制备方法,在该膜中,一侧有高光反射率,而另一侧有吸收热射线的性能,本发明还公开一种适用于真空汽相沉积形成该复合汽相沉积膜的复合汽相沉积材料。该复合汽相沉积材料具有铝套,其中心区中有低蒸气压金属/准金属化合物粉末。要求低蒸气压金属/准金属化合物粉末分散和夹持在中心区中的铝中。用该复合汽相沉积材料进行真空汽相沉积,在汽相沉积的第一阶段生成铝组成几乎是100%的层,随后生成含有低蒸气压金属/准金属化合物的层,即使对膜进行热处理,低蒸气压金属/准金属化合物也不会从该层中扩散到在汽相沉积的开始阶段形成的铝层中。因此,能够保持一个有高光反射率的反射层。

    辐射探测器及其制造方法
    19.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101248371A

    公开(公告)日:2008-08-20

    申请号:CN200680031189.4

    申请日:2006-03-13

    CPC classification number: G01T1/2018 G01T1/2002

    Abstract: 本发明提供一种能够提供高清晰度和高分辨率CT光图像的多通道阵列辐射探测器。辐射探测器具有在长度方向和宽度方向安排成点阵的半导体光探测元件和与它们一对一地安排的闪烁器元件。该闪烁器元件具有在闪烁器元件的侧表面形成的薄的金属光反射材料层、和由混合了充填在邻接的金属光反射材料层之间的重金属元素粒子的树脂组成的辐射屏蔽层。

    光功率监视器及其制造方法

    公开(公告)号:CN101107552A

    公开(公告)日:2008-01-16

    申请号:CN200580047185.0

    申请日:2005-12-08

    Abstract: 光功率监视器具有尾缆和GRIN透镜,该尾缆和GRIN透镜具有隔着间隙相向并关于轴倾斜的端面(倾斜面),该光功率监视器反射损失低、容易组装。尾缆和GRIN透镜分别固定于具有相互粘接固定着的轴向端面的套筒内。尾缆和GRIN透镜的至少一方在倾斜面前端具有轴向的圆弧状端面,圆弧状端面处于与该一方套筒的轴向端面相同的平面上,该一方的轴保持与该一方的套筒的轴向端面垂直。由于可防止其中另一方的轴向前端进入到上述一方的套筒内而与上述一方的套筒内壁接触,所以,可减少其相对位置的调整所花费的组装工时,同时,可提高组装合格率。

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