热分析方法和装置
    12.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1672107B

    公开(公告)日:2012-03-21

    申请号:CN03817665.3

    申请日:2003-07-30

    CPC classification number: G05D23/1951 H05K3/3494

    Abstract: 通过使用在目标测量点测量的温度(Tint和Ts)以及加热炉的测量位置处的加热温度(Ta)和加热时间(t),把在加热炉的任何测量位置处的目标的任何测量点的加热特性值确定为单个不变量。不用使用目标的物理特性就可以计算加热特性值(m值)。通过使用m值,在短时间期间内可模拟修改后加热条件下的被加热目标的温度曲线,而不需以很高的精度实际加热和测量目标的温度。通过使用这种模拟,可以容易确定用于根据所需加热条件加热目标的合适加热条件。

    等离子处理设备及监视等离子处理设备中的放电状态的方法

    公开(公告)号:CN102106193A

    公开(公告)日:2011-06-22

    申请号:CN200980129344.X

    申请日:2009-06-29

    Inventor: 野野村胜

    CPC classification number: H01J37/32935 H01J2237/0206

    Abstract: 提供了一种能够适当地监视等离子放电状态并检测异常放电的预兆的等离子处理设备、以及监视等离子处理设备中的放电状态的方法。在通过由信号分析部分(30)检测响应于处理腔中的等离子放电改变而由放电检测传感器(23)感生并记录在信号记录器(20)中的电势改变信号而执行的用于监视放电状态的分析处理中,基于通过由第一检测器(33)检测在电极部分和要处理的对象之间产生的异常放电(第一电弧放电)信号而获得的计数值N3、和通过由第二检测器(35)检测由于处理腔中杂质沉积问题产生的微电弧放电(第二电弧放电)信号而获得的计数值N4,异常放电确定器(39)发现差(N3-N4),并将该差与用于确定的阈值a2进行比较,并且确定存在还是不存在在处理腔中产生异常放电的可能性。

    等离子处理设备及监视等离子处理设备中的放电状态的方法

    公开(公告)号:CN102106193B

    公开(公告)日:2013-10-09

    申请号:CN200980129344.X

    申请日:2009-06-29

    Inventor: 野野村胜

    CPC classification number: H01J37/32935 H01J2237/0206

    Abstract: 提供了一种能够适当地监视等离子放电状态并检测异常放电的预兆的等离子处理设备、以及监视等离子处理设备中的放电状态的方法。在通过由信号分析部分(30)检测响应于处理腔中的等离子放电改变而由放电检测传感器(23)感生并记录在信号记录器(20)中的电势改变信号而执行的用于监视放电状态的分析处理中,基于通过由第一检测器(33)检测在电极部分和要处理的对象之间产生的异常放电(第一电弧放电)信号而获得的计数值N3、和通过由第二检测器(35)检测由于处理腔中杂质沉积问题产生的微电弧放电(第二电弧放电)信号而获得的计数值N4,异常放电确定器(39)发现差(N3-N4),并将该差与用于确定的阈值a2进行比较,并且确定存在还是不存在在处理腔中产生异常放电的可能性。

    LED封装制造系统
    18.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102812567A

    公开(公告)日:2012-12-05

    申请号:CN201180013571.3

    申请日:2011-05-09

    Inventor: 野野村胜

    Abstract: 本发明的目标是提供一种LED封装制造系统,甚至在个别LED元件的发光波长存在变化时,也使LED封装的发光特性均匀,因此能提高产率。准备元件特性信息(12)和树脂涂镀信息(14),元件特性信息(12)通过事先分别测量多个LED元件的发光特性获得,树脂涂镀信息(14)相关于要施加树脂的适当量以获得显示规定发光特性的LED封装和元件特性信息(12)。地图准备处理段(74)为每个板子准备地图数据(18),其相关于显示LED元件由部件安装装置M1安装在板子上的位置的安装位置信息(71a)和元件特性信息(12)。作为涂镀有树脂的完成产品由发光特性检查装置(M7)检查的结果,根据反馈到树脂涂镀装置(M4)的检查结果,更新树脂涂镀信息(14)。

    LED封装件制造系统中的树脂涂覆装置

    公开(公告)号:CN102782890A

    公开(公告)日:2012-11-14

    申请号:CN201180011456.2

    申请日:2011-05-09

    Inventor: 野野村胜

    Abstract: 本发明的目的是提供一种LED封装件制造系统的树脂涂覆装置,即使个体LED元件的发光波长波动,也能够使LED封装件的发光特性一致,并能够提高产量。预先制定元件特性信息(12)和树脂涂覆信息(14),元件特性信息(12)通过单独地预先测量多个LED元件的发光特性而获得,树脂涂覆信息(14)包括与元件特性信息相关联的用于获得具有规定的发光特性的LED封装件的合适树脂涂覆量。地图制定处理单元(74)为每个基板制定地图数据(18),在地图数据(18)中,元件特性信息(12)与表示元件安装装置(M1)在基板上安装LED元件的位置的安装位置信息(71a)相关联。基于地图数据(18)和树脂涂覆信息(14),树脂涂覆装置(M4)向安装在基板上的LED元件涂覆合适涂覆量的树脂。

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