多层结构部件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1331375C

    公开(公告)日:2007-08-08

    申请号:CN200310100701.4

    申请日:2003-10-08

    Abstract: 一种多层结构部件及其制造方法,在绝缘体的基板(2)上交错层压形成导体图形(3)与绝缘层(4),并按预定的时间、或在通过由绝缘体基板(2)、导体图形(3)及绝缘层(4)构成的层压体(5)的形成工序时的探测器而检测到层压体(5)成为预定的翘曲情形时,将绝缘层(4)的构成材料变更为能矫正层压体(5)的翘曲的其他的绝缘材料、形成绝缘层(4)。据此,能够高精度地矫正层压体(5)的翘曲。

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