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公开(公告)号：CN105637115A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201580001967.4
申请日：2015-09-14
Applicant: 株式会社爱发科
Inventor： 佐藤诚一
Abstract: 本发明的XY工作台具有：底座(11)；框状的工作台(12，12)；和支撑驱动部(13，14，15，16)，位于底座(11)与工作台(12)之间，并将工作台(12)沿XY方向驱动。支撑驱动部(13，14，15，16)具备多个支撑部，所述支撑部具备：直线状的第一导向部件，被配设在底座(11)上；第一板部件，被载置于第一导向部件并在工作台(12)的面内方向上能够沿第一引导方向移动，所述第一引导方向为第一导向部件所延伸的方向；第二导向部件，被载置于第一板部件上并沿第二引导方向延伸，所述第二引导方向为工作台(12)的与第一引导方向正交的面内方向；和第二连接部，被载置于第二导向部件并被固定设置成与工作台(12)一体，从而能够沿第二引导方向移动。在多个支撑部中，一对第一支撑部(13，14)以在作为第一导向方向的X方向上相对的方式放置并被设置于工作台(12)的边缘部，一对第二支撑部(15，16)以在作为第一导向方向的Y方向上相对的方式放置并被设置于工作台(12)的边缘部。支撑驱动部(13，14，15，16)具备驱动装置(13f，15f)，该驱动装置(13f，15f)被设置于一对第一支撑部(13，14)中的至少一个支撑部以及一对第二支撑部(15，16)中的至少一个支撑部，驱动装置(13f，15f)与第一板部件和第二板部件连接，并能将第一板部件和第二板部件沿第二引导方向相对驱动。
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公开(公告)号：CN101933155B
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN200980103617.3
申请日：2009-03-27
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: H01L31/208 , H01L31/046 , H02S50/10 , Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 一种太阳能电池的制造方法，形成包含多个分区单元(21、21s)、彼此相邻的所述分区单元(21、21s)之间被电连接的光电转换体(12)，确定所述光电转换体(12)之中具有结构缺陷的分区单元(21s)，根据在彼此相邻的分区单元(21、21s)之间测量多个位置的电阻值而获得的电阻值的分布，来确定缺陷部位，从而限定在所述分区单元(21s)内存在所述结构缺陷(R、A1、A2、A3)的部位，对存在所述结构缺陷(R、A1、A2、A3)的部位施加偏置电压来去除所述结构缺陷(R、A1、A2、A3)。
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公开(公告)号：CN102057477A
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：CN200980120845.1
申请日：2009-06-03
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: H01L21/683 , B23Q1/01 , B65G49/06 , B65G49/07 , H01L21/304 , H01L21/68 , B05C13/00
CPC classification number: H01L21/68785 , B65G49/061 , B65G49/065 , B65G49/067 , B65G2249/045 , H01L21/68 , H01L21/6838
Abstract: 本发明提供一种具有定位功能的载物台，该载物台即使在处理对象物重量大的情况下，也能够高精度并且容易地进行特别是θ方向的定位，且成本低。该具有定位功能的载物台具有暴露基板(S)处理面并保持基板(S)的载物台本体(4a)，还包括可自由地吸附在与所述的基板处理面相对的另外一面上的吸附装置(8)、向所述吸附装置上吸附位置以外的区域供给气体的气体供给装置(9)和向所述吸附装置施加旋转力使基板以所述吸附装置为旋转中心在同一平面内旋转的驱动装置(10)。
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公开(公告)号：CN101933155A
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：CN200980103617.3
申请日：2009-03-27
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: H01L31/208 , H01L31/046 , H02S50/10 , Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 一种太阳能电池的制造方法，形成包含多个分区单元(21、21s)、彼此相邻的所述分区单元(21、21s)之间被电连接的光电转换体(12)，确定所述光电转换体(12)之中具有结构缺陷的分区单元(21s)，根据在彼此相邻的分区单元(21、21s)之间测量多个位置的电阻值而获得的电阻值的分布，来确定缺陷部位，从而限定在所述分区单元(21s)内存在所述结构缺陷(R、A1、A2、A3)的部位，对存在所述结构缺陷(R、A1、A2、A3)的部位施加偏置电压来去除所述结构缺陷(R、A1、A2、A3)。
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公开(公告)号：CN102639956A
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN201180004622.6
申请日：2011-11-10
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: G01B5/008 , G01B21/045
Abstract: 本发明提供一种触针式测定装置，其使触针支承在Y轴台上，该Y轴台（4）借助于直线导承件支承在相对于被测物向X轴方向相对移动自如的门型框体上端的横梁（32）上，可防止直线导承件磨损造成的测定精度恶化。直线导承件包括：固定于横梁（32）的下表面上的一对导轨（51、52）；以及移动自如地与相对于各导轨（51、52）的铅垂面倾斜的导承面（51a、52a）相接触的一对直动轴承（53、54）。一个直动轴承（54）相对于Y轴台（4）在X轴方向以及上下方向移动自如。在Y轴台（4）上，设置有对直动轴承（54）向X轴方向施力以将其按压到导轨（52）的导承面（52a）上的施力机构（55），并且在横梁（32）侧设置有对直动轴承（54）向下方施力的第二施力机构（56），使两施力机构（55、56）的作用力合力的矢量方向与导承面（52a）的法线方向一致。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101933154B
公开(公告)日：2012-06-20
申请号：CN200980103616.9
申请日：2009-03-27
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: H01L31/208 , H01L31/0463 , H02S50/10 , Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 一种太阳能电池的制造方法，形成包含多个分区单元(21、21s)、彼此相邻的所述分区单元(21、21s)之间被电连接的光电转换体(12)，确定所述光电转换体(12)之中具有结构缺陷(R、A1、A2、A3)的第一分区单元(21s)，根据在彼此相邻的所述分区单元(21、21s)之间测量多个位置的电阻值而获得的电阻值的分布，来确定缺陷部位，从而限定在所述第一分区单元(21s)内存在结构缺陷(R、A1、A2、A3)的部位，以横穿所述第一分区单元(21s)和与所述第一分区单元(21s)相邻的第二分区单元(21)之间的边界部(19)的方式，对所述第一分区单元(21s)和所述第二分区单元(21)照射激光光线，去除或分离所述结构缺陷(R、A1、A2、A3)，其中，所述第一分区单元(21s)包含存在所述结构缺陷(R、A1、A2、A3)的部位。
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公开(公告)号：CN101541472A
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200880000662.1
申请日：2008-04-22
Applicant: 株式会社爱发科
Inventor： 佐藤诚一
CPC classification number: B23Q1/601 , Y10T74/18576
Abstract: 一种能够高精度地将移动体移动的粗微移动装置以及具有该装置的液体供给装置。第一和第二移动体(28，33)设置成可沿着引导件(26)移动。连接件(56)以相对可移动的方式连接所述第一和第二移动体。第一驱动机构(38)将所述第一移动体粗移第一行程。第二驱动机构(49)设置在所述第一移动体和第二移动体之间，并且相对所述第一移动体将所述第二移动体微移第二行程。所述第二驱动机构设置在所述第一和第二移动体其中之一上，并包括具有接触器(52)的致动器(50)。所述接触器具有第一接触面(52a)。所述第一和第二移动体中的另一个包括与所述接触器的所述第一接触面接触的第二接触面(53a)。所述第一接触面或第二接触面中的至少一个为球形。
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公开(公告)号：CN101801646B
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN200880108048.7
申请日：2008-11-05
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: B29C65/00 , B30B15/00 , B65G49/06 , G02F1/13 , G02F1/1339 , G09F9/00 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67092 , B32B37/10 , B65G49/061 , B65G49/064 , B65G2249/02 , B65G2249/045
Abstract: 本发明公开了一种粘合基板制造装置，通过对上基板与下基板进行位置对准并粘合来制造粘合基板，其特征在于，包括：载置所述下基板的基底部；竖立设置在该基底部上的支撑棒；和能够沿该支撑棒上下移动并能够保持所述上基板的上加压部件，通过使所述上加压部件下降，将保持在所述上加压部件上的所述上基板与载置在所述基底部上的所述下基板粘合。
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公开(公告)号：CN101801645B
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN200880107159.6
申请日：2008-11-12
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: G02F1/13
CPC classification number: B65G49/064 , B32B37/1018 , B32B38/1833 , B32B2038/1891 , B32B2457/202 , B65G49/061 , B65G2249/02 , B65G2249/045 , H01L21/67092
Abstract: 本发明公开了一种粘合基板制造装置，通过对上基板与下基板进行位置对准并粘合来制造粘合基板，其特征在于，该粘合基板制造装置包括：支撑所述下基板的基底部；从所述基底部竖立设置的第一支撑棒；能够沿所述第一支撑棒上下移动并能够保持所述上基板的上加压部件；和包含能够独立于所述上加压部件上下移动的上部室部件和下部室部件的粘合处理室，通过移动所述上加压部件，能够在所述粘合处理室的内部粘合所述上基板与所述下基板，所述上部室部件和所述下部室部件能够同时沿相互抵接的方向或相互分离的方向移动。
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公开(公告)号：CN101933154A
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：CN200980103616.9
申请日：2009-03-27
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: H01L31/208 , H01L31/0463 , H02S50/10 , Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 一种太阳能电池的制造方法，形成包含多个分区单元(21、21s)、彼此相邻的所述分区单元(21、21s)之间被电连接的光电转换体(12)，确定所述光电转换体(12)之中具有结构缺陷(R、A1、A2、A3)的第一分区单元(21s)，根据在彼此相邻的所述分区单元(21、21s)之间测量多个位置的电阻值而获得的电阻值的分布，来确定缺陷部位，从而限定在所述第一分区单元(21s)内存在结构缺陷(R、A1、A2、A3)的部位，以横穿所述第一分区单元(21s)和与所述第一分区单元(21s)相邻的第二分区单元(21)之间的边界部(19)的方式，对所述第一分区单元(21s)和所述第二分区单元(21)照射激光光线，去除或分离所述结构缺陷(R、A1、A2、A3)，其中，所述第一分区单元(21s)包含存在所述结构缺陷(R、A1、A2、A3)的部位。
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