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公开(公告)号：CN111211068A
公开(公告)日：2020-05-29
申请号：CN201910863396.5
申请日：2019-09-12
Applicant: 株式会社荏原制作所
Inventor： 宫本松太郎
IPC: H01L21/67 , H01L21/687
Abstract: 本发明提供一种以相对小的力锁定基板保持器的方法。根据一个实施方式，提供一种使基板保持器保持基板的方法，所述方法中，所述基板保持器包括：前框架；后框架；夹持器，用于夹持所述前框架及所述后框架；以及密封件，构成为在所述前框架及所述后框架被夹持时，所述前框架与所述后框架中的一者与基板接触，所述方法包括：将所述前框架与所述后框架中的至少一者向另一者按压，将所述密封件压于基板并进行压缩的步骤；以及在所述密封件被压缩的状态下，利用所述夹持器夹持所述前框架及所述后框架的步骤，在压缩所述密封件的步骤中，对所述前框架与所述后框架中的至少一者施加力的部位是比所述密封件更靠近所述夹持器的位置。
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公开(公告)号：CN109689944A
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201780054837.6
申请日：2017-09-07
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明的基板保持架具备用于将基板夹持固定的第一保持部件及第二保持部件，所述第一保持部件具有第一保持部件主体和夹具，该夹具设于所述第一保持部件主体上，能够绕着与所述第一保持部件主体的面平行的轴旋转或者能够在与所述第一保持部件主体的面交叉的方向上往复移动，所述第二保持部件具有第二保持部件主体，所述夹具构成为能够在所述第一保持部件主体及所述第二保持部件主体彼此抵接的状态下与所述第二保持部件卡合，而将所述第二保持部件固定于所述第一保持部件。
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公开(公告)号：CN111593395B
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202010102286.X
申请日：2020-02-19
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明涉及基板保持件以及具备该基板保持件的镀敷装置。用于防止由于密封唇向内侧倾倒而导致基板挠曲或者产生对基板的损伤。作为一个实施方式，公开一种基板保持件，其为具有开口的基板保持件，基板保持件具备：密封件；以及密封件支承部，其具有密封件支承面且设置于开口的外侧周围，密封件具备密封主体和密封唇，密封件支承面的至少一部分具有使密封件支承面的内侧端部接近基板应处的平面那样的倾斜角，密封件支承面的内侧端部位于比密封唇靠内侧。
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公开(公告)号：CN109689944B
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN201780054837.6
申请日：2017-09-07
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明的基板保持架具备用于将基板夹持固定的第一保持部件及第二保持部件，所述第一保持部件具有第一保持部件主体和夹具，该夹具设于所述第一保持部件主体上，能够绕着与所述第一保持部件主体的面平行的轴旋转或者能够在与所述第一保持部件主体的面交叉的方向上往复移动，所述第二保持部件具有第二保持部件主体，所述夹具构成为能够在所述第一保持部件主体及所述第二保持部件主体彼此抵接的状态下与所述第二保持部件卡合，而将所述第二保持部件固定于所述第一保持部件。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112981505A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202011440219.5
申请日：2020-12-11
Applicant: 株式会社荏原制作所
Inventor： 宫本松太郎
Abstract: 本发明提供基板支架，在基板支架中在抑制对基板的负荷的同时按压密封件。基板支架具备：接点组件；第一板，在与上述接点组件之间夹持基板；至少一个第一销，固定于上述接点组件，在上述基板的外侧朝向上述第一板侧延伸，且具有被卡定部；卡定部件，相对于上述第一板配置在与上述接点组件相反侧，能够位移至相对于上述第一销的上述被卡定部的卡定状态和非卡定状态；以及至少一个第一施压部件，沿着上述基板的外周部，设置在上述卡定部件与上述第一板之间以使上述卡定部件与上述第一板相互分离，在上述卡定状态下在上述卡定部件与上述第一板之间被压缩，朝向上述接点组件侧对上述第一板进行施压。
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公开(公告)号：CN111593395A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010102286.X
申请日：2020-02-19
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明涉及基板保持件以及具备该基板保持件的镀敷装置。用于防止由于密封唇向内侧倾倒而导致基板挠曲或者产生对基板的损伤。作为一个实施方式，公开一种基板保持件，其为具有开口的基板保持件，基板保持件具备：密封件；以及密封件支承部，其具有密封件支承面且设置于开口的外侧周围，密封件具备密封主体和密封唇，密封件支承面的至少一部分具有使密封件支承面的内侧端部接近基板应处的平面那样的倾斜角，密封件支承面的内侧端部位于比密封唇靠内侧。
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公开(公告)号：CN107622968A
公开(公告)日：2018-01-23
申请号：CN201710557676.4
申请日：2017-07-10
Applicant: 株式会社荏原制作所
Inventor： 宫本松太郎
CPC classification number: C25D17/06 , C25D7/12 , C25D7/123 , C25D17/001 , H01L21/6723 , H01L21/68728
Abstract: 本发明提供一种不使用板簧而具有新的定位构造的基板保持器及使用该基板保持器的镀覆装置。该基板保持器具有：具有构成为与基板接触的第一面的第一保持构件；及与第一保持构件一起夹着基板而对其保持的第二保持构件。第一保持构件具有将接触于第一面的基板定位于第一面的规定位置的定位构件。定位构件构成为在与基板的周缘部接触并将基板定位于第一面的规定位置的第一位置、以及不与基板接触的第二位置之间移动。第二保持构件具有以第一保持构件与第二保持构件保持基板时，使定位构件位于第一位置而构成的驱动构件。
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公开(公告)号：CN116469816A
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202211580272.4
申请日：2022-12-09
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H01L21/677 , H01L21/67
Abstract: 本发明提供一种可防止在基板的表面发生光腐蚀的基板搬送方法、基板处理装置、及记录介质。基板搬送方法是将基板搬入至接收单元，检测出从光传感器(302)照射的光被搬送至接收单元的基板遮断，来确认基板存在于接收单元，并且在将基板从接收单元搬出之前停止来自光传感器(302)的光的照射。
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公开(公告)号：CN114318477A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202110961477.6
申请日：2021-08-20
Applicant: 株式会社荏原制作所
Inventor： 宫本松太郎
Abstract: 本发明提供接点结构、基板支架、电镀装置以及向基板供电的方法。改善抑制电镀液与基板接点的接触的结构。接点结构具备：基板接点，具有与基板接触的前端侧的第一接点部分和比上述第一接点部分靠基端侧的第二接点部分；密封部件，覆盖上述基板接点的周围，并具有与上述基板接触以密封上述基板接点的密封面；第一按压部分，对上述基板接点弹性地施加对上述基板的接触压力；以及第二按压部分，与上述密封部件接触，与上述第一按压部分独立地对上述密封部件施加对上述基板的接触压力，上述第一接点部分粘合于上述密封部件，上述第二接点部分以能够相对于上述密封部件相对位移的方式嵌合于上述密封部件。
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