公开(公告)号：CN101990737A

公开(公告)日：2011-03-23

申请号：CN200880128512.9

申请日：2008-12-04

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： T·皮尔克 ,  S·平特 ,  J·穆霍 ,  J·弗里茨

IPC: H02N1/00

CPC classification number: H02N1/008

Abstract: 本发明涉及一种用于微机械构件的电极梳(82)，该电极梳具有至少一个电极指，对于所述至少一个电极指可定义具有第一中心纵轴线(88a，90a)的第一电极指子单元(88，90)和具有第二中心纵轴线(88a，90a)的第二电极指子单元(88，90)，其中，所述第二中心纵轴线(88a，90a)相对于所述第一中心纵轴线(88a，90a)以不等于0°且不等于180°的弯折角(δ)倾斜，本发明还涉及设有这种电极梳(82)的微机械构件。本发明同样涉及微机械构件。本发明此外涉及用于电极梳(82)的制造方法和用于微机械构件的制造方法。

公开(公告)号：CN116868037A

公开(公告)日：2023-10-10

申请号：CN202180091363.9

申请日：2021-12-23

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： S·W·吴 ,  A·C·阮 ,  T·皮尔克 ,  V·帕尔德哈萨拉迪

IPC: G01L3/10

Abstract: 用于制造扭矩传感器(19)的方法包括下述方法步骤。提供无定形的金属的玻璃带(10)。对所述玻璃带(10)进行热处理。使经热处理的玻璃带(10)磁化。将经磁化的玻璃带(10)紧固在转动部件(14)上。

公开(公告)号：CN114222868A

公开(公告)日：2022-03-22

申请号：CN202080054301.6

申请日：2020-07-24

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： T·布克 ,  S·德尔菲尼 ,  W·普洛伊格 ,  G·沙英 ,  T·皮尔克 ,  J·勒布莱因

IPC: F16B13/06 ,  G01D21/02

Abstract: 本发明涉及一种用于紧固装置的测量装置，其包括：基体；传感器单元，其构造为用于感测至少一个紧固参量；接口，其与传感器单元连接并且构造为用于给外部读取装置提供该至少一个紧固参量。在此提出，接口能够与无线通信单元电连接或者能够直接与外部读取装置连接。

公开(公告)号：CN112513476A

公开(公告)日：2021-03-16

申请号：CN201980050565.1

申请日：2019-07-15

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： M·凯德雷尔 ,  U·沃斯特拉道斯基 ,  T·皮尔克 ,  F·普尔科 ,  R·艾伦普福特 ,  W·普洛伊格 ,  M·丘尔契奇

IPC: F16B13/00

Abstract: 本发明涉及一种锚定设备，特别是螺栓锚定器或膨胀锚固件，包括通信接口，通过该通信接口可提供至少一个信息给外部设备。在此设置，通信接口具有至少一个用于产生声学表面波的表面波单元。

公开(公告)号：CN104272483B

公开(公告)日：2018-11-20

申请号：CN201280067941.6

申请日：2012-12-10

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： T·皮尔克 ,  T·聚纳 ,  M·埃卡特 ,  R·勒尔弗 ,  F·赫南德斯纪廉

IPC: H01L49/02 ,  H01L29/12 ,  H01G4/002

CPC classification number: H01G4/08 ,  B82Y10/00 ,  H01G4/10 ,  H01G4/1272 ,  H01G4/33 ,  H01L28/40 ,  H01L29/0665 ,  H01L29/127 ,  H01L29/1608 ,  H01L29/2003 ,  H01L29/51 ,  Y02T10/7022

Abstract: 本发明涉及一种用于在电储能器(10)中使用的介电材料，其包括至少两个纳米结构(18，20，22，24)，所述纳米结构分别嵌入电绝缘基质(28)中，该电绝缘基质由具有比纳米结构(18，20，22，24)的材料更大的带隙的材料构成。提出了，与能从外部应用的电场的方向(16)平行地调整载流子在两个纳米结构(18，20，22，24)之间隧穿的、不等于零的概率。

公开(公告)号：CN102217183B

公开(公告)日：2014-11-26

申请号：CN200980146261.1

申请日：2009-09-24

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： T·皮尔克 ,  S·平特 ,  J·弗里茨 ,  C·弗里泽

IPC: H02N1/00

CPC classification number: H02N2/14 ,  G02B6/3512 ,  G02B26/0841 ,  H02N1/006

Abstract: 本发明涉及一种用于运行静电驱动装置的方法，该静电驱动装置具有定子电极(50)和致动器电极(52)，它们由多层电极构成，其中该致动器电极(52)在其无电压的初始位置中在定子电极子单元(50b，50c)与致动器电极子单元(52b，52c)之间没有施加电压的情况下这样相对于定子电极(50)设置，使得第一致动器电极子单元(52b)比第二致动器电极子单元(52c)具有更小的至第一定子电极子单元(50b)的距离，具有步骤：通过将第一电位(∏1)施加到第一定子电极子单元(50b)上并且将与第一电位(∏1)不同的第二电位(∏2)施加到第一致动器电极子单元(52b)上，并且将不同于第一电位(∏1)和第二电位(∏2)的第三电位(∏3)施加到第二定子电极子单元(50c)和第二致动器电极子单元(52c)上，使致动器电极(52)相对于定子电极(50)从其无电压的初始位置预偏移到第一终端位置。

公开(公告)号：CN102119118B

公开(公告)日：2014-06-11

申请号：CN200980131329.9

申请日：2009-07-06

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： S·芬克拜纳 ,  T·皮尔克 ,  C·弗里泽

IPC: B81C1/00

CPC classification number: B81C1/00166 ,  B81B2201/033 ,  B81C2201/014

Abstract: 本发明涉及一种用于微机械部件(100)的制造方法，包括以下步骤：在基本衬底上形成第一蚀刻停止层，第一蚀刻停止层被这样地构造，使得它具有穿透的留空的第一图案；在第一蚀刻停止层上形成第一电极材料层；在第一电极材料层上形成第二蚀刻停止层，第二蚀刻停止层被这样地构造，使得它具有穿透的留空的与第一图案不同的第二图案；在第二蚀刻停止层上形成第二电极材料层；在第二电极材料层上形成结构化的掩膜；和在第一方向上执行第一蚀刻步骤并且在与第一方向相反指向的第二方向上执行第二蚀刻步骤，以便由第一电极材料层蚀刻出至少一个第一电极单元及由第二电极材料层蚀刻出至少一个第二电极单元。本发明还涉及微机械部件(100)。

公开(公告)号：CN102119118A

公开(公告)日：2011-07-06

申请号：CN200980131329.9

申请日：2009-07-06

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： S·芬克拜纳 ,  T·皮尔克 ,  C·弗里泽

IPC: B81C1/00

CPC classification number: B81C1/00166 ,  B81B2201/033 ,  B81C2201/014

Abstract: 本发明涉及一种用于微机械部件(100)的制造方法，包括以下步骤：在基本衬底上形成第一蚀刻停止层，第一蚀刻停止层被这样地构造，使得它具有穿透的留空的第一图案；在第一蚀刻停止层上形成第一电极材料层；在第一电极材料层上形成第二蚀刻停止层，第二蚀刻停止层被这样地构造，使得它具有穿透的留空的与第一图案不同的第二图案；在第二蚀刻停止层上形成第二电极材料层；在第二电极材料层上形成结构化的掩膜；和在第一方向上执行第一蚀刻步骤并且在与第一方向相反指向的第二方向上执行第二蚀刻步骤，以便由第一电极材料层蚀刻出至少一个第一电极单元及由第二电极材料层蚀刻出至少一个第二电极单元。本发明还涉及微机械部件(100)。

公开(公告)号：CN101842313A

公开(公告)日：2010-09-22

申请号：CN200880113985.1

申请日：2008-10-01

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： T·皮尔克 ,  A·弗兰克 ,  K·克尔

IPC: B81B7/00

CPC classification number: G01P15/0802 ,  B81B7/0012 ,  G01P15/08

Abstract: 本发明涉及一种微机械系统(1)，其包括基板(100)、悬挂装置(130)、基底(140)和微机械传感器(150)，该悬挂装置(130)将该基底(140)可运动地支承在该基板(100)上方，并且，该微机械传感器(150)被设置在该基底(140)上。