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公开(公告)号:CN109581820A
公开(公告)日:2019-04-05
申请号:CN201811105201.2
申请日:2018-09-21
申请人: 株式会社ORC制作所
IPC分类号: G03F7/20
CPC分类号: G03F7/201 , G03F7/70008 , G03F7/70058 , G03F7/70091 , G03F7/70191
摘要: 本发明提供一种曝光装置。在具有放电灯的曝光装置中,在不损害分辨率的前提下,通过期望的光谱分布的光,对掩膜、光调制元件阵列等进行照明。在具有设置了放电灯(20D)和椭圆镜(20M)的光源部(20)以及照明光学系统(11)的曝光装置(1)中,照明光学系统(11)由光学滤波器(13A~13C)、会聚透镜(14)、杆状透镜(15)、以及中继光学系统(16)构成,并且光学滤波器(13A~13C)、会聚透镜(14)、杆状透镜(15)、以及中继光学系统(16)是从光源部侧起依次配置的。
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公开(公告)号:CN109031896A
公开(公告)日:2018-12-18
申请号:CN201810993362.3
申请日:2018-08-29
申请人: 江苏联坤电子科技有限公司
发明人: 崔金虎
IPC分类号: G03F7/20
CPC分类号: G03F7/70008
摘要: 本发明涉及一种适用于PCB曝光机的LED设备,包括有安装架,安装架设置在机架上,安装架上设置有两根相互平行且间隔设置在的横杆,横杆之间设置有曝光机构,曝光机构包括主安装板和若干辅助安装板,主安装板呈正方形结构设置,且其两边或四边上开设有卡槽,辅助安装板呈“口”字型结构设置,在其内侧设置有匹配于卡槽的卡条,与主安装板呈无缝卡接设置,辅助安装板的外侧的两边或四边上开设有卡槽,辅助安装板和辅助安装板之间也呈无缝卡接设置,以所述主安装板为中心向外无缝卡接的辅助安装板呈依次放大设置,主安装板和辅助安装板上开设有若干个排列均匀的灯孔,LED灯珠装嵌在灯孔内。可以实现针对不同PCB板的尺寸照射,达到降低成本的目的。
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公开(公告)号:CN108873623A
公开(公告)日:2018-11-23
申请号:CN201810873364.9
申请日:2014-06-17
申请人: ASML荷兰有限公司
IPC分类号: G03F7/20
CPC分类号: G03F7/70033 , G01J1/0407 , G01J1/0418 , G01J1/26 , G01J1/429 , G02B1/06 , G02B5/205 , G02B26/023 , G03F7/70008 , G03F7/7055 , G03F7/70558 , G03F7/7085 , G21K1/10 , H01S3/005 , H01S3/0085 , H01S3/0903 , H05H7/04
摘要: 一种图案化光刻衬底的方法,该方法包括使用自由电子激光器(FEL)以产生EUV辐射并且输送EUV辐射至将EUV辐射投影至光刻衬底上的光刻设备(LA),其中该方法进一步包括通过使用基于反馈的控制回路(CT)以监测自由电子激光器并相应地调整自由电子激光器的操作从而减少输送至光刻衬底的EUV辐射功率的波动。
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公开(公告)号:CN107678250A
公开(公告)日:2018-02-09
申请号:CN201711043220.2
申请日:2017-10-31
申请人: 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 , 张家港奇点光电科技有限公司
IPC分类号: G03F7/20
CPC分类号: G03F7/20 , G03F7/70008 , G03F7/7015
摘要: 本发明公开了一种油墨固化用紫外LED光源系统,包括LED电源控制箱、紫外LED光源出光头,紫外LED光源出光头包括球面固定板,球面固定板的内侧面上固定有紫外LED阵列,紫外LED阵列包括多个发射不同波长的紫外光的LED灯珠组件,各LED灯珠组件在球面固定板上交替排列,LED灯珠组件均包括基板和LED灯珠,该基板上固定有准直透镜,该准直透镜覆盖所述LED灯珠,准直透镜的出光面为圆形且排列有多个微透镜,该微透镜与准直透镜一体成型,各微透镜之间紧密相邻,电源控制箱控制各LED灯珠按照不同的输出功率输出。该光源系统能够利用紫外LED照明满足油墨的固化要求,使目标面边缘处的光线均匀性提高。
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公开(公告)号:CN107450283A
公开(公告)日:2017-12-08
申请号:CN201710877729.0
申请日:2017-09-25
申请人: 北京京圳永达科技有限公司
IPC分类号: G03F7/20
CPC分类号: G03F7/70008 , G03F7/70091 , G03F7/7015
摘要: 本发明提供了一种LED的光线聚合装置及平行曝光机,涉及曝光机技术领域,LED的光线聚合装置包括LED光源、第一透镜、第二透镜和第三透镜;第一透镜、第二透镜和第三透镜依次排列且位于同一中心轴线上,LED光源朝向第一透镜,使LED光源发出的散射光依次穿过第一透镜、第二透镜和第三透镜后成为均匀的平行光。缓解了现有技术中的LED发出的光线散乱导致无法应用于曝光机的技术问题。
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公开(公告)号:CN107145043A
公开(公告)日:2017-09-08
申请号:CN201710561689.9
申请日:2017-07-11
申请人: 上海镭慎光电科技有限公司
CPC分类号: G03F7/70008 , G03F7/70141 , G03F7/70541 , G03F9/7088
摘要: 一种硅片对准标记的曝光装置和曝光方法,曝光装置由光源模块、照明模块、能量监测模块、成像模块、安装主框架、硅片高度传感器、掩模台、硅片台和控制模块组成,本发明包含两个以上的照明‑成像单元,可在硅片表面同时进行两个或两个以上对准标记的曝光。节省了硅片对准标记的曝光时间,从而提高了IC生产线的生产效率,节省了IC生产成本。
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公开(公告)号:CN106855682A
公开(公告)日:2017-06-16
申请号:CN201611052613.5
申请日:2016-11-25
申请人: 上海锅炉厂有限公司
IPC分类号: G03F7/20
CPC分类号: G03F7/70008 , G03F7/70516 , G03F7/7055
摘要: 本发明提供了一种射线照片打标机及打标方法,包括用于将高压交流电转换为低压直流电的变压器,变压器两端分别连接电源和微动开关;微动开关连接时间继电器,时间继电器连接调光器,调光器连接LED曝光灯与信号灯;曝光屏与LED曝光灯相对设置,曝光屏一侧设有用于定位打标范围同时触发微动开关的弹簧压板。本发明还提供了一种射线照片打标方法,将射线检测进行过曝光的照片用可见光进行二次曝光,从而将标识打入照片;照片被射线曝光后仍剩余未反应离子;曝光屏发出文字形状光线,光线照射照片片基促使未反应离子结合成像,完成照片的打标程序。本发明结构简单,安装和维护方便,造价低,提高了射线检测生产效率和探伤自动化水平。
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公开(公告)号:CN106678609A
公开(公告)日:2017-05-17
申请号:CN201510764971.8
申请日:2015-11-11
申请人: 上海嘉捷通电路科技股份有限公司
IPC分类号: F21S8/00 , F21V19/00 , F21V17/12 , F21V17/16 , F21V21/00 , F21V29/83 , G03F7/20 , F21Y115/10
CPC分类号: F21S8/00 , F21V17/12 , F21V17/164 , F21V19/001 , F21V21/00 , G03F7/70008
摘要: 本发明涉及一种用于PCB板曝光的LED冷光源,包括基座以及分别安装在基座上的至少两排LED灯球,所述的基座上设有电路板,该电路板分别与每个LED灯球连接,所述的相邻两排LED灯球平行设置。与现有技术相比,本发明具有用电少、节约时间、提升品质等优点。
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公开(公告)号:CN103777812B
公开(公告)日:2017-03-29
申请号:CN201310670303.X
申请日:2013-09-06
申请人: 苹果公司
CPC分类号: B32B38/0008 , G01B11/14 , G01N33/00 , G03F7/70008 , G06F3/0412 , G06F2203/04103
摘要: 本文描述了使用液态光学透明粘合剂(LOCA)的方法和设备。描述了一种检测第一基材和第二基材之间未固化LOCA的方法。另外,描述了一种在第一基材和第二基材之间含有LOCA的层叠堆件的改进固化方法。该方法包括一种涉及不同LOCA照射的预固化方法。另外,描述了一种用于在预固化过程中进行层叠堆件紫外(UV)光照射的改进发光二极管(LED)单元组件。描述了一种在预固化过程前检测LED单元组件的方法。
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公开(公告)号:CN105359038A
公开(公告)日:2016-02-24
申请号:CN201480034718.0
申请日:2014-06-17
申请人: ASML荷兰有限公司
发明人: A·尼基佩洛维 , O·弗里吉恩斯 , G·德弗里斯 , E·鲁普斯特拉 , V·巴尼内 , P·德加格 , R·唐克 , H-K·尼恩海斯 , B·克瑞金加 , W·恩格伦 , O·鲁伊藤 , J·艾科曼斯 , L·格里敏克 , V·里特维南科
IPC分类号: G03F7/20
CPC分类号: G03F7/70033 , G01J1/0407 , G01J1/0418 , G01J1/26 , G01J1/429 , G02B1/06 , G02B5/205 , G02B26/023 , G03F7/70008 , G03F7/7055 , G03F7/70558 , G03F7/7085 , G21K1/10 , H01S3/005 , H01S3/0085 , H01S3/0903 , H05H7/04 , G03F7/2004
摘要: 一种图案化光刻衬底的方法,该方法包括使用自由电子激光器(FEL)以产生EUV辐射并且输送EUV辐射至将EUV辐射投影至光刻衬底上的光刻设备(LA),其中该方法进一步包括通过使用基于反馈的控制回路(CT)以监测自由电子激光器并相应地调整自由电子激光器的操作从而减少输送至光刻衬底的EUV辐射功率的波动。
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