-
公开(公告)号：CN103270453B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201180061905.4
申请日：2011-12-07
申请人： 密克罗尼克麦达塔公司
发明人： T·桑德史托姆
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70583 , G03F7/70291 , G03F7/70358 , G03F7/70383 , G03F7/704 , G03F7/70425 , G03F7/70466
摘要： 一般来说，所描述的技术的一个方面可以体现于包括以下操作的方法中：应用写入机构，所述写入机构具有由在扫描方向和交叉扫描方向上的不同程度的相干相互作用所产生的各向异性写入性质；使用所述写入机构在工件上写入图像图案两次，所述写入机构在第一写入与第二写入之间相对于在所述工件上写入的所述图像图案来旋转，借此用所述旋转的写入机构进行写入使所述各向异性性质得以平均化。将工件与写入机构之间的第一相对运动方向与第二相对运动方向分开的较小夹角在本文所描述的条件下可以是20度或更大，或略微较小。
-
公开(公告)号：CN103270453A
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：CN201180061905.4
申请日：2011-12-07
申请人： 密克罗尼克麦达塔公司
发明人： T·桑德史托姆
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70583 , G03F7/70291 , G03F7/70358 , G03F7/70383 , G03F7/704 , G03F7/70425 , G03F7/70466
摘要： 一般来说，所描述的技术的一个方面可以体现于包括以下操作的方法中：应用写入机构，所述写入机构具有由在扫描方向和交叉扫描方向上的不同程度的相干相互作用所产生的各向异性写入性质；使用所述写入机构在工件上写入图像图案两次，所述写入机构在第一写入与第二写入之间相对于在所述工件上写入的所述图像图案来旋转，借此用所述旋转的写入机构进行写入使所述各向异性性质得以平均化。将工件与写入机构之间的第一相对运动方向与第二相对运动方向分开的较小夹角在本文所描述的条件下可以是20度或更大，或略微较小。
-
公开(公告)号：CN101105638B
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN200710109897.1
申请日：2007-06-05
申请人： ASML荷兰有限公司
发明人： J·J·M·巴塞尔曼斯 , K·尤雅马
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/70583 , G02B27/48
摘要： 一种系统和方法用于从相干射束中形成不相干射束。系统包括辐射源和反射环路系统。辐射源产生相干或部分相干射束。反射环路系统接收该部分相干射束，并通过环路或备选通过不重叠环路反射该部分相干射束，以形成不相干射束。
-
公开(公告)号：CN101010638A
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：CN200580029295.4
申请日：2005-08-25
申请人： 皇家飞利浦电子股份有限公司
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： H04N5/74 , G02B3/14 , G02B26/005 , G02B26/06 , G02B27/48 , G03F7/70583 , H04N9/3129
摘要： 本发明涉及激光投影系统(1)，其具有用于减少所生成的激光束(3)的相干性以减少由该系统生成的图像中烦人的斑点假象的出现的装置。通过使激光束(3)经过包括具有不同折射率的第一(A)和第二(B)不混溶流体的透明单元(6)来减少相干性。这些流体优选地利用电润湿技术在该单元中被位移。该单元(6)因此可以实现为电润湿透镜，其利用伪随机驱动信号来驱动。
-
公开(公告)号：CN1883030A
公开(公告)日：2006-12-20
申请号：CN200480034408.5
申请日：2004-11-19
申请人： 麦克罗尼克激光系统公司
发明人： 托布乔恩·桑德斯特罗姆
IPC分类号： H01L21/027 , G02B26/00 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70558 , G03F7/70583 , G03F7/70625
摘要： 本发明的一个方面包括一种利用部分相干电磁辐射源以改进的CD均匀度对工件制作图案的方法。所述方法包括动作：对于所述工件上的多个层，确定作为曝光闪光数函数的CD均匀度，对于所述工件上的多个层，确定作为曝光闪光数函数的制作图案的成本，以及在一逐层基础上选择曝光闪光数，其给出对应于优选成本的预定CD均匀度。本发明的其它方面在具体的描述、附图和权利要求书中得到反映。
-
公开(公告)号：CN104246617A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201380021048.4
申请日：2013-03-04
申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC分类号： G03F7/7015 , G02B5/0891 , G02B5/09 , G02B27/0927 , G02B27/0933 , G02B27/0977 , G02B27/48 , G03F7/70075 , G03F7/70583 , H05G2/008
摘要： 一种EUV投射光刻的照明光学系统(26)，用于将照明光(16)引导至照明场(5)，该照明场中可布置光刻掩模(7)。具有多个分面(25)的分面反射镜(19)用于将照明光(16)引导至照明场(5)。分面(25)中的每一个指定相应照明通道(27)，其引导照明光子束。正好一个照明通道(27)通过各个分面(25)引导。照明光学系统(26)设计为使得在照明光学系统(26)运行期间，在照明场(5)的每一个点处的每一个时刻，利用不同照明通道(27)引导的任意对照明光子束在时差(Δt)大于照明光(16)的相干时间τx的入射时刻照在照明场点上。结果，照明光学系统的照明场的照明质量得到改善。
-
公开(公告)号：CN102985879A
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201180022494.8
申请日：2011-03-04
申请人： 麦克罗尼克迈达塔有限责任公司
发明人： T.桑德斯特洛姆
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70291 , G02B26/0808 , G03F7/70583
摘要： 本发明涉及一种改进的微光刻书写器，其在工件的表面上扫描调制图案。公开的SLM采用连续或准连续的辐射源工作在衍射模式中。微光刻书写器使用长且窄的SLM，并利用沿着SLM的窄轴的衍射效应来改进沿着该轴的书写特性。
-
公开(公告)号：CN101782723B
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN200910266086.1
申请日：2009-12-31
申请人： ASML控股股份有限公司 , ASML荷兰有限公司
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70583 , G02B27/144 , G02B27/145 , H01S3/0057
摘要： 本发明提供一种具有可调集光率的脉冲改变装置。束修正单元设置在光刻设备的照射系统中以增大照射束的暂时脉冲长度和集光率。脉冲修正单元接收输入脉冲辐射且发出一个或更多个相应输出脉冲辐射，脉冲修正单元包括将入射脉冲分成第一和第二脉冲部分的分束器，分束器沿第二光学路径引导第一脉冲部分，第二部分被引导在第一光学路径上作为输出束的一部分。第二光学路径包括发散光学元件，发散光学元件角度可在不减小束尺寸的情况下增大束的发散而增大集光率。第一和第二反射镜每一个具有曲率半径，以预定间隔彼此面对，接收第二脉冲部分并且重新引导第二部分使第二部分通过脉冲修正装置的光学路径比第一部分的长。
-
公开(公告)号：CN102317868A
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：CN201080008062.7
申请日：2010-02-04
申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
发明人： 迈克尔.帕特拉
CPC分类号： G03F7/70583 , G02B27/48 , G03F7/70025 , G03F7/70041 , G03F7/70575 , H01S3/08009 , H01S3/225
摘要： 对于一投射照明方法，该方法利用在投射物镜的面区域中的掩模图案的至少一个像，照明布置在投射物镜的屏幕区域中的辐射敏感基底，使用具有依赖于角频率ω的频谱强度分布I(ω)的激光辐射。激光辐射能够由根据(I)的像差参数α和根据(II)的相干时间τ表征。将激光辐射引入到照明系统中，用于产生引导到掩模上的照明辐射，并且借助于投射物镜将所述图案成像到基底上。将所述频谱强度分布设置为使得：对于线形参数ατ2，适用条件ατ2≤0.3。结果，与传统方法相比，可以降低随时间变化的斑纹对成像的影响，而不增大色差对成像的影响。
-
公开(公告)号：CN101782723A
公开(公告)日：2010-07-21
申请号：CN200910266086.1
申请日：2009-12-31
申请人： ASML控股股份有限公司 , ASML荷兰有限公司
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70583 , G02B27/144 , G02B27/145 , H01S3/0057
摘要： 本发明提供一种具有可调集光率的脉冲改变装置。束修正单元设置在光刻设备的照射系统中以增大照射束的暂时脉冲长度和集光率。脉冲修正单元接收输入脉冲辐射且发出一个或更多个相应输出脉冲辐射，脉冲修正单元包括将入射脉冲分成第一和第二脉冲部分的分束器，分束器沿第二光学路径引导第一脉冲部分，第二部分被引导在第一光学路径上作为输出束的一部分。第二光学路径包括发散光学元件，发散光学元件角度可在不减小束尺寸的情况下增大束的发散而增大集光率。第一和第二反射镜每一个具有曲率半径，以预定间隔彼此面对，接收第二脉冲部分并且重新引导第二部分使第二部分通过脉冲修正装置的光学路径比第一部分的长。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
32 条记录 (耗时 0.017 秒)
