化合物材料晶片的制造方法

    公开(公告)号:CN101221895A

    公开(公告)日:2008-07-16

    申请号:CN200810002207.7

    申请日:2005-11-08

    摘要: 本发明涉及包括以下步骤的化合物材料晶片的制造方法:提供初始施体基材(1),在初始施体基材(1)内形成预定的分离区(4),将初始施体基材(1)附着在操作基材(2)上,和在预定的分离区(4)对施体基材(1)进行拆分,从而将施体基材(1)的层(6)转移至操作基材(2)上以形成化合物材料晶片(10)。为改善该方法的成本效率,该方法还包括在拆分步骤之后将层(12)沉积在施体基材的残余部分(9)上以至少部分地恢复所述初始施体基材(1)的厚度和再次使用具有沉积层(12)的施体基材(1)作为步骤a)中的初始施体基材(1)。本发明还涉及至少包括根据所述方法制造的化合物材料晶片部件的电子学、光电子学或光学元件。

    氮化镓基半导体发光元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1132253C

    公开(公告)日:2003-12-24

    申请号:CN96191004.6

    申请日:1996-08-30

    IPC分类号: H01L33/00

    摘要: 一种通过较少步骤的工艺过程制造氮化镓型蓝色发光器件的方法。该器件包括这样一个多层结构,它包含一个用第一导电类型杂质掺杂的第一氮化镓半导体层、一个实质上本征的氮化镓半导体活性层和一个用与第一导电类型相反的第二导电类型杂质掺杂的第二氮化镓半导体层。在该器件的制造中,第一和第二氮化镓半导体层及氮化镓半导体活性层是通过高温CVD形成的,并且随后被留在一种惰性气体中以便自然冷却。