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公开(公告)号:CN118263354A
公开(公告)日:2024-06-28
申请号:CN202410509451.1
申请日:2024-04-25
申请人: 北京光智元科技有限公司
IPC分类号: H01L31/105 , H01L31/0352 , H01L31/028 , H01L31/18
摘要: 本发明的实施例公开了一种光电探测器及光电探测器的制造方法、芯片,其中,上述光电探测器的制造方法包括:提供衬底,所述衬底包括第一硅层,利用所述第一硅层形成第一导电类型区;在所述第一硅层上生长第一锗层,利用所述第一锗层形成本征区;在所述第一锗层和所述第一硅层上生长第二硅层,利用所述第二硅层形成第二导电类型区。优化了光电探测器的性能,此外,提出了垂直型的Si/Ge/Si结构光电探测器,优化了光电探测器的电接触,进而优化了光电探测器的性能。此外,通过设置锗层的合适厚度、宽度,优化了光电探测器的带宽及响应度。
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公开(公告)号:CN118263342A
公开(公告)日:2024-06-28
申请号:CN202311717978.5
申请日:2023-12-13
申请人: 宁波大学 , 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 南方科技大学
IPC分类号: H01L31/028 , H01L31/0288 , H01L31/0352 , H01L31/102 , H01L31/18 , G01J5/10 , C23C16/50 , C23C16/26
摘要: 本发明提供了一种红外探测薄膜、制备方法及探测器,包括衬底层、三维石墨烯层和N掺杂三维石墨烯层,三维石墨烯层和N掺杂三维石墨烯层层叠于所述衬底层上。三维石墨烯层不仅电学性能优异,其独特的形貌使其具有极强的捕光效应,促进了其在近红外区域的光吸收,保证了其形成的光生载流子被有效激发,实现了光电子的快速输运。N掺杂三维石墨烯层中氮将三维石墨烯调制成n型,氮原子提供的电子将石墨烯费米能级转移到价带,提供n型非本征电导率。通过提高石墨烯与Si基底界面势垒,有效减低暗电流,潜在地提升光电探测器的探测率。
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公开(公告)号:CN114823950B
公开(公告)日:2024-06-07
申请号:CN202210505701.5
申请日:2022-05-10
申请人: 云南师范大学
IPC分类号: H01L31/0352 , H01L31/028 , H01L31/09 , G01J1/42
摘要: 本发明涉及光电探测领域,具体提供了一种基于碳量子点和贵金属纳米颗粒的光电探测器。该光电探测器包括包括基底、石墨烯层、贵金属纳米颗粒、碳量子点、电极,基底的一侧固定设置有石墨烯层,石墨烯层远离基底的一侧的两端分别固定设置有一个电极,石墨烯层远离基底的一侧的两个电极之间固定铺设有贵金属纳米颗粒,贵金属纳米颗粒远离石墨烯层的一侧固定铺设有碳量子点。探测过程中,碳量子点和贵金属纳米颗粒均既参与“吸收”过程还参与“分离”过程,使得“吸收”过程产生更多的载流子,提升探测的准确度,使得“分离”过程更快,提升探测器的响应速度,即灵敏度更高。
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公开(公告)号:CN118116995A
公开(公告)日:2024-05-31
申请号:CN202410229013.X
申请日:2024-02-29
申请人: 华南师范大学
IPC分类号: H01L31/109 , H01L31/028 , H01L31/032 , H01L27/144 , G06V10/12 , G06V10/82 , G06N3/04 , G06N3/08
摘要: 本发明涉及一种可编程逻辑运算的人工视觉传感器、逻辑器件和传感器阵列,包括,衬底,位于衬底上的石墨烯层,位于石墨烯层两端的第一电极和第二电极,位于石墨烯层上、第一电极和第二电极之间的TiO2沟道层,第一电极为供能电极,第二电极为输出电极,第一电极和第二电极之间施加恒定的偏压;该人工视觉传感器在可见光波段照射下呈现正光电响应,在紫外光波段照射下呈现负光电响应;该视觉传感器实现了兴奋、抑制和恢复等突触功能,同时还能完成图像识别、图像记忆以及逻辑门等高级应用,为未来多功能传感器的设计与制备提供了坚实的理论和实验基础。
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公开(公告)号:CN117976739A
公开(公告)日:2024-05-03
申请号:CN202211306418.6
申请日:2022-10-24
申请人: 中国科学院半导体研究所
IPC分类号: H01L31/0352 , H01L31/0224 , H01L31/028 , H01L31/032 , H01L31/107 , H01L31/18
摘要: 本公开提供了一种雪崩光电二极管及其制备方法,雪崩光电二极管包括:衬底层,依次叠设于衬底层的雪崩倍增层、电荷控制层、吸收层和欧姆接触层;衬底层的材质采用高掺杂P型金刚石,雪崩倍增层的材质采用低掺杂P型金刚石,电荷控制层的材质采用高掺杂N型氧化镓,吸收层的材质采用低掺杂N型氧化镓,欧姆接触层的材质采用高掺杂N型氧化镓;其中,衬底层的底部和欧姆接触层的表面分别沉积有阴极接触金属和阳极接触金属;阳极接触金属表面被刻蚀形成阳极电极图形。该雪崩光电二极管可通过负载一定的电压实现高的雪崩增益,从而获得高的响应度,同时采用异质结结构,具有暗电流低、响应速度快的优点。
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公开(公告)号:CN117038759B
公开(公告)日:2024-04-19
申请号:CN202311234040.8
申请日:2023-09-23
申请人: 河北大学
IPC分类号: H01L31/028 , H01L31/18 , H01L31/0256
摘要: 本发明涉及晶硅太阳能电池技术领域,提出了一种以炭黑导电薄膜作为空穴传输层的晶硅太阳能电池。其中空穴传输层包括炭黑和磺酸基化合物;所述磺酸基化合物包括双三氟甲烷磺酰亚胺、全氟磺酸、PS‑b‑PERB中的一种或几种;所述的一种以炭黑导电薄膜作为空穴传输层的晶硅太阳能电池的制备方法,包括:A1、对制绒后的硅片进行磷扩散制结;A2、在所述制结后的硅片正面先沉积氧化硅和氮化硅叠层薄膜,再印刷银浆;A3、在所述制结后的硅片背面制备炭黑导电薄膜,在所述炭黑导电薄膜上印刷银浆,得到晶硅太阳能电池。通过上述技术方案,解决了相关技术中的空穴传输层传输空穴能力和阻挡电子能力差,且载流子复合严重的问题。
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公开(公告)号:CN117894870A
公开(公告)日:2024-04-16
申请号:CN202311735586.1
申请日:2023-12-15
申请人: 中国科学院微电子研究所
IPC分类号: H01L31/105 , H01L31/107 , H01L31/028 , H01L31/18
摘要: 本发明涉及一种水平沟槽型锗硅红外探测器及其制备方法。本发明的水平沟槽型锗硅红外探测器采用锗材料作为硅衬底的外延吸收层,提高了对红外波段的吸收。此外,本发明探测器的光子或粒子入射方向与载流子收集方向不同,实现了光子或粒子入射方向与载流子收集方向的解耦,同时还实现了耗尽区宽度与入射深度的解耦。
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公开(公告)号:CN114005895B
公开(公告)日:2024-04-09
申请号:CN202111247579.8
申请日:2021-10-26
申请人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC分类号: H01L31/028 , H01L31/0304 , H01L31/109 , H01L31/18
摘要: 提供了一种光电探测器及其制作方法,所述光电探测器包括由MXene材料层和AlGaN材料层形成的MXene/AlGaN范德瓦尔斯异质结。与传统的异质结相比,MXene材料具有较高的透光率、金属导电性以及可调的功函数,所形成的范德瓦尔斯异质结不受晶格匹配的限制,缺陷极少,能够极大地提升界面质量,因此,基于所述MXene/AlGaN范德瓦尔斯异质结形成的光电探测器,不仅有利于提高光电探测器的光吸收效率和光生电流的传输效率,提高光响应度,还能有效地降低光电探测器的制造成本,为光电探测器的规模化应用提供新的契机。此外,所述光电探测器的制作方法缩减了工艺步骤,制作方法简单。
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公开(公告)号:CN117558783A
公开(公告)日:2024-02-13
申请号:CN202310872152.X
申请日:2023-07-14
申请人: 泰州隆基乐叶光伏科技有限公司
IPC分类号: H01L31/0368 , H01L31/028 , H01L31/18 , H01L31/04
摘要: 本发明提供了晶硅膜层及其制备方法、太阳能电池及其制备方法,涉及光伏技术领域。晶硅膜层包括:至少一个第一多晶硅部分;第一多晶硅部分的晶化率为50%至60%;第一多晶硅部分中氢含量为1%至20%;第一多晶硅部分的孔隙率为0.1%至10%。第一多晶硅部分的晶化率较为合适,氢含量也较为合适,且第一多晶硅部分的孔隙率较为合适,第一多晶硅部分的膜层质量较优,利于提升光伏器件的光电转换效率。且,在湿法刻蚀的过程中,上述质量较优的第一多晶硅部分在碱性湿法刻蚀剂、酸性湿法刻蚀试剂中,刻蚀速率均很慢,对其的刻蚀均基本可以忽略不计,不用在第一多晶硅部分设置掩膜层,减少了步骤,简化了湿法刻蚀工艺,提升了生产效率。
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公开(公告)号:CN117423768A
公开(公告)日:2024-01-19
申请号:CN202311258975.X
申请日:2023-09-27
申请人: 中国石油大学(华东)
IPC分类号: H01L31/109 , H01L31/0392 , H01L31/0336 , H01L31/032 , H01L31/028 , H01L31/18 , B82Y15/00 , B82Y30/00 , B82Y40/00
摘要: 本发明属于光探测技术领域,具体涉及一种基于Sb2O3纳米棒/Si异质结的深紫外自驱动光电探测器及其制备方法,该自驱动光电探测器,由上至下依次包括金属In点电极、金属Pd前电极、PdTe2修饰制备Sb2O3纳米棒薄膜层、Si单晶基底和金属In背电极。PdTe2修饰制备Sb2O3纳米棒薄膜层是利用磁控溅射、化学气相沉积等方法制备的。测试结果显示,所制备薄膜器件在深紫外光照下表现出良好的自驱动光探测性能,具有性能稳定等优点。
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