超纯水供应装置、衬底处理系统和衬底处理方法

    公开(公告)号:CN116693081A

    公开(公告)日:2023-09-05

    申请号:CN202310072127.3

    申请日:2023-01-13

    Abstract: 一种超纯水供应装置可以包括:活性炭过滤设备;离子交换树脂设备,连接到活性炭过滤设备;反渗透膜设备,连接到离子交换树脂设备;中空纤维膜设备,连接到反渗透膜设备;第一流体驱动部,在反渗透膜设备和中空纤维膜设备之间;以及控制单元,被配置为控制第一流体驱动部。第一流体驱动部可以包括:第一泵、第二泵和第三泵,与反渗透膜设备并行连接;以及压力传感器,位于第一泵和中空纤维膜设备之间。控制单元可以被配置为基于从压力传感器发送的信号来控制第一泵、第二泵和第三泵中的每一个泵。

    可变电阻存储器件
    23.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113054100A

    公开(公告)日:2021-06-29

    申请号:CN202011549772.2

    申请日:2020-12-24

    Abstract: 公开可变电阻存储器件。可变电阻存储器件包括可变电阻层、第一导电元件和第二导电元件。可变电阻层包括包含第一金属氧化物材料的第一层和在第一层上的第二层,且第二层包括第二金属氧化物材料。第二金属氧化物材料具有与第一金属氧化物材料的金属化合价不同的金属化合价。第一导电元件和第二导电元件在可变电阻层上并且彼此分开以在可变电阻层中在与第一层和第二层堆叠的方向垂直的方向上形成电流路径。

    非易失性存储器件及其操作方法
    25.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112309472A

    公开(公告)日:2021-02-02

    申请号:CN202010348380.3

    申请日:2020-04-28

    Abstract: 提供了一种非易失性存储器件及其操作方法。该非易失性存储器件包括具有垂直堆叠结构的存储单元阵列、用于将编程电压施加到存储单元阵列的位线以及控制逻辑。存储单元阵列包括存储单元,每个存储单元包括半导体层的对应部分和电阻层的对应部分。存储单元包括未被选择的存储单元、补偿存储单元和被选择的存储单元。控制逻辑被配置为基于将第一电压施加到补偿存储单元、将第二电压施加到被选择的存储单元以及将第三电压施加到未被选择的存储单元,将调节后的编程电压施加到被选择的存储单元。由于补偿存储单元,与编程电压相比,调节后的编程电压可以下降。

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